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真空
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本杂志是中国真空界主要杂志之一。自1994年真空杂志转换经营机制以来，由我国真空企业界实力雄厚的厂家与杂志社联办成立董事会，并由真空学术界著名学者组成编委会。社会效益与经济效益与日俱增，在国内真空界享有盛誉。自1989年公开发行以来，被美国、英国、德国、日本、意大利、韩国以及港澳地区越来越多的海外学者所关注。
主办单位：
中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所
期刊荣誉：
中国期刊网、光盘国家工程中心用刊
工程技术类核心期刊
ISSN：
1002-0322
CN：
21-1174/TB
出版周期：
双月刊
邮编：
110042
地址：
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刊名： 真空发表期刊： 2016年5期页码:摘要： 航天器在轨运行期间极可能发生泄漏事故,威胁航天员的生命安全,导致航天任务的失败,研究一种在轨检漏方法是有效保障航天器在轨安全的技术手段.利用高精度温度和压力传感器的压力变化检漏方法,分析在轨...
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刊名： 真空发表期刊： 2016年5期页码:摘要： 光电解吸气载是同步辐射光束线特有的解吸气载.经研究,光电解吸气载是光束线真空系统动态情况下的主要气载.在整个光电解吸过程中,光电子及二次电子对真空材料表面吸附气体的激发起主要作用.电子诱导脱...
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刊名： 真空发表期刊： 2016年5期页码:摘要： 真空断路器在大规模光伏发电系统中有着重要应用,本文简要阐述了真空断路器的瞬态响应在光伏发电系统中的影响,分析了断路器操作产生的动态响应对高压变压器造成的损害,并对LC滤波模块在真空断路器操作...
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94. 雾化炉的控制系统刊名： 真空发表期刊： 2016年5期页码:摘要： 介绍了真空雾化炉系统结构、功能.根据控制系统及操作工艺要求,设计采用基于分布式、模块化控制解决方案.详细论述了控制系统的硬件配置、软件设计,实现了生产设备工艺运行工况实时监测,以及被控量的在...
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95. 真空熔模铸造炉的进展刊名： 真空发表期刊： 2016年5期页码:摘要： 熔模铸造真空炉有多种结构及形式.本文描述了现代真空炉的各种结构及可选择的配置实施方案,并探讨了这些设备的特点.现代化的熔模铸造设备包括以下特点:自动工艺控制;高度重复性和可靠性的浇铸工艺;较...
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刊名： 真空发表期刊： 2016年5期页码:摘要： 试验研究了80kg真空感应炉冶炼GH3030氧、氮含量控制工艺.本文设计了三种不同的冶炼方案,研究了精炼参数、脱氧剂碳、返回料的种类及其添加比例等因素对GH3030液中氧、氮含量的影响.结果...
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97. 真空感应凝壳炉熔炼系统的设计刊名： 真空发表期刊： 2016年5期页码:摘要： 针对真空冷坩埚感应凝壳炉,提出了冷坩埚熔炼系统的水冷结构、感应器、磁场优化等方面的几种设计思路.并且分析了每种设计思路的特点与适用范围.
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98. 第十九讲真空溅射镀膜刊名： 真空发表期刊： 2016年5期页码:摘要：
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99. 分子泵转子多学科设计优化技术刊名： 真空发表期刊： 2016年6期页码:摘要： 转子是分子泵的关键部件，其结构参数的设计需要从抽气性能、转子动力学和强度等方面综合考虑，经过多次迭代才能满足要求，设计过程很复杂。本文采用多学科设计优化理念，基于优化总控软件平台，开发了应用...
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100. 分子泵动叶轮和芯轴的装配力计算刊名： 真空发表期刊： 2016年6期页码:摘要： 针对涡轮分子泵动叶轮和芯轴过盈装配问题，采用压力装配方法进行装配并对过程进行力学分析，建立了芯轴压装力和压入位移之间的函数关系，并利用ANSYS WORKBENCH软件，对装配过程压装力进行...
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101. 超高真空法兰金属密封方法刊名： 真空发表期刊： 2016年6期页码:摘要： 随着粒子加速器技术、航天技术的发展，对于真空的要求越来越高，进而发展而来了多种超高真空密封形式，以适应不同的工作环境。本文着重介绍当前主要应用于超高真空的金属密封方法。
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102. 一种单腔式微型隔膜泵的结构设计及流量分析刊名： 真空发表期刊： 2016年6期页码:摘要： 针对市场的实际需求，设计研制了一台流量为200mL/min 的单腔式微型隔膜泵，文章介绍了流量设计计算的基本原理和泵的结构组成，利用搭建的微型泵流量测试平台进行了测试。结果表明不同电压下隔膜...
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103. 真空玻璃内部残余气体热导计算刊名： 真空发表期刊： 2016年6期页码:摘要： 真空玻璃中心区域热导由辐射热导、支撑物热导及残余气体热导三部分构成，当Low-E玻璃、支撑物材料及间距确定后，真空玻璃热导主要受真空腔内部残余气体热导影响。根据稀薄气体导热理论，确定了真空玻...
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刊名： 真空发表期刊： 2016年6期页码:摘要： 针对真空泵抽速测量中广泛应用的普通滴管式气体流量测量装置与方法进行改进研究，提出一种基于称重原理的滴管式气体流量测量新方法。在贮液槽下安置电子称，以称量进入滴管中的油液的质量来代替测量液位上...
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105. 基于单片机的高压脉冲调制电源系统改进设计刊名： 真空发表期刊： 2016年6期页码:摘要： 在常规的高压脉冲调制电源系统设计中，信号生成部分采用分离原件电路搭建而成，存在可重复性差、信号同步性差、电路复杂、精度低等问题，本文提出了一套基于单片机与 CPLD 为主体的脉冲信号设计。实...
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刊名： 真空发表期刊： 2016年6期页码:摘要： 为确保磁偏转质谱计空间探测应用测量数据的准确性，设计了一套校准装置对磁偏转质谱计进行地面校准。本文介绍了装置的结构设计，并根据校准装置和磁偏转质谱计自身的特点，提出了二种校准方法，分别为：分...
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刊名： 真空发表期刊： 2016年6期页码:摘要： 本文对电推进航天器加注后氙气泄漏技术进行研究，给出基于气相色谱法泄漏检测技术方案。搭建实验平台，通过试验验证了气相色谱法检测电推进航天器泄漏的可行性。
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108. 模糊PID控制策略在真空热处理炉中的应用刊名： 真空发表期刊： 2016年6期页码:摘要： 本文阐述了真空热处理炉的温度控制策略，针对热处理炉炉温的控制常采用单一控制策略存在控温精度低、跟随性能差、系统超调高等缺点，提出了基于真空热处理炉温度控制器运行状态的分段式复合控制策略，并针...
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109. 直方图法在薄膜厚度测量上的适用性研究刊名： 真空发表期刊： 2016年6期页码:摘要： 薄膜厚度是薄膜测试领域中非常重要的参数。利用直方图法处理触针式轮廓仪测试数据（标准样品、制备样品）得到台阶高度，是获取薄膜厚度的方法之一。通过对样品的台阶高度、椭偏测试计算结果的对比分析，发...
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110. 基于微膨胀的容积测量数值模拟与实验研究刊名： 真空发表期刊： 2016年6期页码:摘要： 快速、准确地获取真空容器的容积，是准确评价各种与之相关物理参数的关键环节。介绍了基于微膨胀的容积测量方法基本原理，建立了容积微膨胀过程的热力学与传热学模型，运用 CFD软件对系统的弛豫时间进...
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111. 影响双碱光阴极量子效率的关键技术研究刊名： 真空发表期刊： 2016年6期页码:摘要： K2CsSb光阴极由于具备诸多优势而成为高亮度电子源的首选，应用于世界上许多大科学装置中。 K2CsSb光阴极的制备设备与制备工艺是世界上各大实验室的研究重点，本文系统研究了双碱光阴极制备过...
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112. 反应离子束刻蚀石英同质掩模制作小阶梯光栅刊名： 真空发表期刊： 2016年6期页码:摘要： 离子束刻蚀作为真空技术的一种重要应用，已广泛运用于现代微电子器件和微光学器件的制作工艺中。本文结合反应离子束刻蚀与全息光刻技术，针对线密度较低的小阶梯光栅，倾斜刻蚀石英同质掩模，制作了三种在...
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113. 基于多重分形谱的粗糙模拟表面分析刊名： 真空发表期刊： 2016年6期页码:摘要： 表面形貌对表面接触性能、摩擦磨损状态等有重要影响，对粗糙表面形态进行定量描述是表面形貌研究的难点，本文利用Matlab对粗糙表面形貌进行了模拟，并对其进行分析。结果显示多重分形谱能够很好的描...
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114. 炭黑型发烟剂在真空中的红外消光性能研究刊名： 真空发表期刊： 2016年6期页码:摘要： 实验研究了真空中炭黑型发烟剂的红外消光能力，并与常压下炭黑型发烟剂进行了比较。结果表明，炭黑型发烟剂在真空度0.03MPa的环境中具有极好的红外消光能力，但弱于常压下的消光能力。
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刊名： 真空发表期刊： 2016年6期页码:摘要： 采用多弧离子镀技术选取钛靶电流分别为60A、70A、80A 和基体偏压分别为-240V、-300V、-360V在高速钢基体上制备 TiN/TiAlN 多层薄膜。使用划痕仪、显微硬度计、摩擦磨...
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刊名： 真空发表期刊： 2016年6期页码:摘要： 采用多弧离子镀技术在 NiTi 合金根管锉表面制备 TiZrNO 膜层，考查了沉积偏压、氧气流量对膜层表面组织形貌、成分等方面的影响；通过模拟临床制备根管（备牙）试验，观察镀膜根管锉表面形貌...
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117. 大型铍材一次脱气真空炉的研制刊名： 真空发表期刊： 2016年6期页码:摘要： 介绍了真空脱气炉技术性能、设备结构及特点。该设备的研制成功对铍工业的进步和发展具有重要的现实意义。
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118. 第十九讲真空溅射镀膜刊名： 真空发表期刊： 2016年6期页码:摘要：
真空基本信息
| 刊名 | 真空 | 主编 | 陆国柱 |
| 曾用名 | 真空技术报导 | ||
| 主办单位 | 中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所 | 主管单位 | 机械工业部期刊管理办公室 中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所 |
| 出版周期 | 双月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1002-0322 | CN | 21-1174/TB |
| 邮编 | 110042 | 电子邮箱 | zkzk@chinajournal.net.cn |
| 电话 | 024-24134406 | 网址 | www.vacjour.cm |
| 地址 | 辽宁省沈阳市万柳塘路2号 |
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