真空科学与技术学报期刊
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真空科学与技术学报

Chinese Journal of Vacuum Science and Technology
曾用名: 真空科学与技术

CACSCDJSTCSTPCD

影响因子 0.3586
本刊是全国中文核心期刊,长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录,已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅,有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿,已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。
主办单位:
中国真空学会
ISSN:
1672-7126
CN:
11-5177/TB
出版周期:
月刊
邮编:
100022
地址:
北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室
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  • 作者: 严学俭 华中一 叶钢锋 吉小松 张群 潘钢 章壮健
    发表期刊: 2002年2期
    页码:  123-126
    摘要: 用STM针尖对有机络合物电双稳薄膜材料施加强电场作用,可在材料表面产生纳米线度的导电几何图形.实验证明:对针尖本身的几何构形、施加在针尖上的脉冲幅度、周期和占空比都必须进行细致的选择.用Ag...
  • 作者: 吕反修 唐伟忠 夏立芳 宋建华 张恒大 田晶泽
    发表期刊: 2002年2期
    页码:  127-130
    摘要: 采用自行研制的磁增强活性反应离子镀系统,在脉冲偏压条件下成功地合成了高品质立方氮化硼(c-BN)薄膜.用傅立叶变换红外谱(FTIR)分析沉积膜的相结构,用透射电镜(TEM)及高分辨率透射电镜...
  • 作者: 刘佳宏 吴彦 唐书凯 徐勇 杨学锋 王文春
    发表期刊: 2002年2期
    页码:  131-134
    摘要: 利用具有三级差分抽气系统的分子束质谱仪为检测手段,对N2,O2混合气体的线板式高压脉冲电晕放电等离子体阴极板区的正离子成分进行了诊断研究.实验结果表明:在放电反应室N2,O2混合气体压力13...
  • 作者: 李德杰 杜秉初 袁璟
    发表期刊: 2002年2期
    页码:  135-138
    摘要: 在场发射显示器(FED)中使用消气剂,是维持FED内部真空度的最主要的手段,对延长FED的工作寿命起着重要作用.本文首先从抽气平衡方程推导得到了检验FED漏率是否合格的判别公式,并从此判别公...
  • 作者: 何玉平 史守华 吴桂芳 孙兆奇 王磊 陈良
    发表期刊: 2002年2期
    页码:  139-142
    摘要: 采用光学相移法,对Si基片上Cu膜应力随退火温度的变化进行了研究.研究表明:随退火温度的升高,Cu膜应力减小,200 ℃时平均应力减小为-0.261×108 Pa,且应力分布均匀,在选区范围...
  • 作者: 汪建华 王升高
    发表期刊: 2002年2期
    页码:  143-145
    摘要: 以正硅酸乙酯和硝酸钴等为原料,利用溶胶-凝胶法合成了含钴物质均匀分散的SiO2凝胶.在适当的条件下利用微波等离子体还原,获得了结构比较疏松的SiO2载体材料,其上负载的金属钴颗粒具有较规则的...
  • 作者: 万媛 李德杰
    发表期刊: 2002年2期
    页码:  146-148
    摘要: 研究了真空退火对玻璃衬底上热蒸发沉积的LiF和CaF2薄膜的结晶性能的影响.X射线衍射分析结果表明,在420 ℃温度下,随着退火时间的增长,LiF薄膜的结晶状况明显改善;在460 ℃温度下,...
  • 作者: 季秉厚 宋淑芳 李健
    发表期刊: 2002年2期
    页码:  149-152
    摘要: 用真空蒸发法在玻璃和单晶硅片(100)上制备Zn薄膜,然后对Zn薄膜进行氧化、热处理获得纳米ZnO薄膜.对在硅片上制备的Zn薄膜一次性进行高温掺杂、氧化获得纳米ZnO∶P和ZnO∶B薄膜.研...
  • 作者: 孙殿照 杨冰 蒲以康
    发表期刊: 2002年2期
    页码:  153-156
    摘要: 研究了射频等离子体辅助分子束外延生长GaN晶膜中氮等离子体的发射光谱.用非接触式测量方法--光谱法测定了等离子体特性.讨论了分子束外延生长系统参数的变化与等离子体发光光谱变化之间的联系,薄膜...
  • 作者: 丁秉钧 张程煜 王立彬
    发表期刊: 2002年2期
    页码:  157-159,162
    摘要: 研究了坩埚材料、真空度和合金元素Al对真空感应熔炼CuCr25合金氧含量的影响.结果表明:使用碱性氧化物MgO坩埚制得的CuCr25合金的氧含量非常高,达到千分之几,同时可以引起Cr的偏析....
  • 作者: 周清 商伯涵 常禄 李岚 梁翠果 熊光楠 谢宝森 赵守珍
    发表期刊: 2002年2期
    页码:  160-162
    摘要: 为克服场发射电子源在平板显示屏中存在的不稳定性和不均匀性问题,研制了以光电发射源替代场致发射源的光电平板显示屏.本文介绍了光电平板显示屏的结构,并对显示屏的组成部分进行了分析讨论.
  • 作者: 吴华夏 洪光烈
    发表期刊: 2002年3期
    页码:  163-166
    摘要: 用高能电子束作泵浦源,去激励半导体晶体屏,可以产生激光,实现高亮度高清晰显示.
  • 作者: 殷立新 蒋迪奎 陈丽萍
    发表期刊: 2002年3期
    页码:  167-172
    摘要: 用于SSRF的水平和垂直两种光子吸收器已研制成功.光子吸收器既要吸收高功率负载和高功率密度的废弃的同步辐射,又要准直引出的光束,并受到严重的空间限制.设计仔细考虑了吸收器的结构形状、吸收面上...
  • 作者: 余增亮 卢超 詹福如
    发表期刊: 2002年3期
    页码:  173-177,201
    摘要: 高频离子源管道式引出电极的几何参数对束流引出具有重要影响.本文通过建立束流最佳引出数学模型,对引出电极的几何参数进行了离子光学计算,确定了适合引出H+,N+,Ar+等多种束流的引出电极合适的...
  • 作者: 孙鉴 胡文波
    发表期刊: 2002年3期
    页码:  178-181
    摘要: 为了提高彩色AC-PDP的性能,以放电间隙和显示电极宽度对表面放电型AC-PDP光电特性的影响进行实验研究和理论分析.结果表明,表面放电型AC-PDP显示电极间的放电不符合巴邢定律,即着火电...
  • 作者: 刘焕明 季振国 朱玲 汪茫 王家为 郭伟民 阙端麟
    发表期刊: 2002年3期
    页码:  182-185
    摘要: 本文通过真空共蒸发制备了酞菁铜-酞菁铅复合膜.光电子谱测试发现真空共蒸发制备的复合膜中同时具有铜和铅的成分,相对含量与源中酞菁铜与酞菁铅的含量有关.光吸收谱分析表明复合膜的吸收带(Q带)明显...
  • 作者: 董元昌
    发表期刊: 2002年3期
    页码:  185
    摘要:
  • 作者: 李德杰 黄静华
    发表期刊: 2002年3期
    页码:  186-188,192
    摘要: 氧化锌(ZnO)具有较宽的带隙(3.1 eV)和较低的亲合势(3.0 eV),有可能用作薄膜场发射阴极中的电子传输层材料.本文主要研究了用射频磁控溅射法制备ZnO薄膜时,衬底温度和溅射气氛对...
  • 作者: 刘风琴 吴太权 吴悦 庄友谊 张建华 徐亚伯 易·奎热西 李宏年 李海洋 钱海杰 陈晓 鲍世宁
    发表期刊: 2002年3期
    页码:  189-192
    摘要: 通过控制蒸发源电流、源和样品间距及扩散时间,室温下在C60单晶(111)解理面上制备出Rb3C60.用低温同步辐射角分辨光电子谱测量了样品的能带结构.观察到的能带色散表明样品为单晶薄膜.用X...
  • 作者: 叶高翔 杨波 焦正宽 金进生
    发表期刊: 2002年3期
    页码:  193-197
    摘要: 研究了沉积在液体基底表面的Ag原子团簇的扩散、合并和粗化机制.对薄膜生长过程的原位观察结果表明:沉积在硅油表面的Ag原子首先凝聚成具有网状结构的薄膜;然后薄膜破裂成分枝状的碎片,并逐渐凝聚成...
  • 作者: 何枫 姚朝晖 陈远
    发表期刊: 2002年3期
    页码:  198-201
    摘要: 真空发生器是一种重要的真空发生装置,广泛地应用于自动化生成领域.本文的目的是确定真空发生器系统的吸附响应时间以实现过程的精密控制.文中根据瞬变流理论和真空发生器的流量特性,建立了用于计算真空...
  • 作者: 成建波 李军建 祁康成
    发表期刊: 2002年3期
    页码:  202-204
    摘要: 在钇铝石榴石单晶基片上用射频溅射法制取了Y2O2S∶Eu红色发光薄膜.利用正交试验法,对溅射气体(Ar+H2S)中H2S浓度、退火气氛中SO2与H2的比例、退火温度和退火时间等工艺条件进行了...
  • 作者: 张军 李德杰 杜秉初 袁王景
    发表期刊: 2002年3期
    页码:  205-208
    摘要: 计算了几种不同材料支撑墙在不同承压和允许倾斜角度范围内的应力和形变分布.计算结果表明,采用热压氮化硅或氧化锆陶瓷制作的支撑墙具有足够高的机械强度,是支撑墙材料的较好选择.
  • 作者: 刘海林 汤五丰 熊锐 石兢 金明桥
    发表期刊: 2002年3期
    页码:  209-212,220
    摘要: 采用射频磁控溅射法制备了非晶TbFeCo薄膜及其保护层AlN薄膜,并研究保护层对薄膜的磁和磁光特性的影响.结果表明,AlN薄膜可以增强薄膜磁光效应,同时,AlN薄膜对TbFeCo磁光薄膜的矫...
  • 作者: 刘诗逸 成建波 李军建 赵纯经
    发表期刊: 2002年3期
    页码:  213-216
    摘要: 介绍了尿素-溶胶法制备粒径为100~200 nm的超细Y2O3∶Eu荧光粉的实验.对荧光粉的粒径和形貌进行了SEM分析,测量和分析了荧光粉的XRD谱图以及微观晶体结构,测量了8 kV电压下荧...
  • 作者: 崔益民 武松涛 潘皖江
    发表期刊: 2002年3期
    页码:  217-220
    摘要: 主要通过模拟匝间流动试验、短样试验和长样试验等,探求低温超导托卡马克HT-7U中纵场磁体线圈的绝缘层真空压力浸渍的工艺参数,确定工艺流程,并以模型线圈试验的电性能和液氦温度下的力学性能来验证...
  • 作者: 刘小平 屈菊兰 谢二庆 贺德衍 邵乐喜 陈光华
    发表期刊: 2002年3期
    页码:  221-223,233
    摘要: 以氮气为杂质源,采用微波等离子体化学气相沉积技术进行了金刚石薄膜的原位掺杂,研究了氮掺杂对CVD金刚石薄膜的形貌结构和生长行为的影响.运用SEM,Raman,XRD和FTIR等手段对样品进行...
  • 作者: 林国强
    发表期刊: 2002年3期
    页码:  224-227
    摘要: 电弧离子镀设备若具有必要的功能条件,就可用纯金属分离靶弧流控制技术来制取多元硬质梯度薄膜,本工作明确合成梯度薄膜的工艺原则,并以TiAl多层合金梯度薄膜和(Ti,M)N(M为Zr,Nb等元素...
  • 作者: 聂世琦
    发表期刊: 2002年3期
    页码:  228-230
    摘要: 在图像增强管和图像数字化结合方案的基础上,讨论了如何使用数字算法来消除和补偿图像增强管中由于电子光学系统的像差对图像所产生的影响,使图像清晰化.
  • 作者: 张锐 温晓辉 詹如娟
    发表期刊: 2002年3期
    页码:  231-233
    摘要: 对电子回旋共振等离子体中使用的电子能量分析器实验曲线偏离理想情况的几种现象进行了讨论,并提出了相应的修正和拟合的方法

真空科学与技术学报基本信息

刊名 真空科学与技术学报 主编 吴锦雷
曾用名 真空科学与技术
主办单位 中国真空学会  主管单位 中国科学技术协会
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1672-7126 CN 11-5177/TB
邮编 100022 电子邮箱 vst@chinesevacuum.com
电话 010-58206280 网址
地址 北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室

真空科学与技术学报统计分析

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