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19905

真空科学与技术学报

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Chinese Journal of Vacuum Science and Technology

曾用名：真空科学与技术

CA CSCD JST CSTPCD

影响因子 0.3586

本刊是全国中文核心期刊，长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录，已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅，有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿，已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。

主办单位：

中国真空学会

ISSN：

1672-7126

CN：

11-5177/TB

出版周期：

月刊

邮编：

100022

地址：

北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室

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热门刊内文献

年度刊次

1. 新型透明导电ZnO:Mo薄膜

作者：张群杨锡良沈杰王三坡章壮健

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2008年1期

页码: 1-5

摘要：采用直流磁控反应溅射技术成功制备了新型ZnO:Mo(ZMO)透明导电薄膜.研究了钼掺杂量和基片温度等参数对ZMO薄膜结构和光电性能的影响.结果表明,薄膜的结构和光电性能与钼含量以及基片温度有...
2. 螺旋线行波管慢波组件散热性能的研究

作者：丁耀根于艳春刘濮鲲刘燕文刘胜英杨建中王晓艳王立新王自成王莉缪国兴赵丽赵郁竹闰莹陆玉新韩勇

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2008年1期

页码: 6-10

摘要：提出了慢波组件散热性能的评价方法--电阻温度系数法,利用此方法对冷弹压法、缠钼带热挤压法、石墨热挤压法及新型的无变形热挤压法制备的慢波组件散热性能进行了实验研究,结果表明无变形热挤压方法比冷...
3. 纯镁强流脉冲电子束表面改性及合金化研究

作者：涂赣峰田小梅董闯赵铁钧郝胜智高波

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2008年1期

页码: 11-15

摘要：强流脉冲电子束是一门新兴的表面处理技术.本文利用强流脉冲电子束对纯镁进行表面改性,并尝试表面合金化铝处理.利用光学显微镜、扫描电镜和透射电镜对表面处理层形貌和组织结构进行了分析,同时也进行了...
4. 连续快速常压化学气相沉积法制备TiO2自清洁镀膜玻璃

作者：刘军波宋晨路应益明翁伟浩翁文剑韩高荣

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2008年1期

页码: 16-20

摘要：以四异丙醇钛(TTIP)为先驱体,采用常压化学气相沉积(APCVD)法模拟镀膜工艺过程,制备出了TiO2自清洁镀膜玻璃.通过扫描电镜(SEM)、X射线衍射(XRD)、紫外-可见透射光谱(UV...
5. 高真空直排大气干泵的最新进展

作者：刘坤巴德纯常学森李涛杨乃恒陈瑶

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2008年1期

页码: 21-25

摘要：为了降低半导体设备中的真空系统的成本、实现高真空获得设备的清洁化、简单化和微型化,人们一直在寻求能达到高真空并且直排大气的干式真空泵.近几年,国外已经出现了仅用一台泵就可以实现从高真空到大气...
6. 彩色等离子体显示器寻址功耗等效电路模型

作者：刘纯亮屠震涛张军张小宁梁志虎

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2008年1期

页码: 26-31

摘要：彩色等离子体显示器中引起的容性电流构成了寻址IC中MOS管开关电流的主体,以此为基础建立了寻址功耗等效电路模型,得到寻址功耗计算公式.典型图案寻址功耗的实验结果表明,寻址功耗和各子场图像数据...
7. 介质阻挡放电特性的仿真与实验研究

作者：方志章程赵龙章邱毓昌

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2008年1期

页码: 32-36

摘要：基于用电压控制电流源(CCS)模拟微放电过程的DBD等效电路模型,建立了DBD的动态仿真模型来对空气中平板电极结构DBD的放电过程进行仿真,计算得到了放电的电压、电流波形及Lissajous...
8. PET基纳米Ag薄膜导电及电磁屏蔽性能研究

作者：王鸿博高卫东魏取福

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2008年1期

页码: 37-41

摘要：为了研究纳米Ag薄膜厚度对导电及电磁屏蔽性能的影响,采用磁控溅射法在PET非织造布上制备了不同厚度的纳米结构Ag薄膜,用原子力显微镜(ARM)分析不同厚度纳米结构Ag薄膜形貌及粒径的变化;研...
9. CIG前驱膜叠层方式对CIGS膜成分和结构的影响

作者：宋军庄大明张弓李春雷李秋芳

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2008年1期

页码: 42-46

摘要：采用中频交流磁控溅射方法制备了三种不同叠层方式的CuInGa(CIG)前驱膜.采用固态法硒化,获得了GIGS吸收层.采用SEM和XRD观察和分析了薄膜的成分、组织结构和表面形貌.着重分析不同...
10. CrCO-Ti保护薄膜的制备、结构及机械性能

作者：胡作启

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2008年1期

页码: 47-50

摘要：用非平衡脉冲直流磁控溅射技术制备出了CrCO-Ti薄膜,其结构、耐磨性和表面能分别用XRD(Philips X-pert)、Pinon-Disc摩擦磨损测试仪(Tribometer Wear...
11. Si基片上Au膜真空紫外反射特性研究

作者：付绍军刘颍周洪军干蜀毅徐向东洪义麟霍同林

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2008年1期

页码: 51-54

摘要：对Si片上Au膜在真空紫外波段的反射特性进行了系统的研究.采用离子束溅射,选择不同的镀膜参数,在经不同前期清洗方法处理过的Si片上,镀制了各种厚度的Au膜.利用科大国家同步辐射实验室的反射率...
12. 直流反应磁控溅射相关工艺条件对TiO2薄膜反射率性质的影响

作者：巴德纯沈辉王贺权闻立时

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2008年1期

页码: 55-58

摘要：应用直流反应磁控溅射设备在硅基底上制备TiO2薄膜,利用n&k仪对薄膜的反射率进行检测,结果表明TiO2薄膜可以作为太阳电池减反射薄膜应用,并且通过改变工艺条件可以调控薄膜的反射低谷.当总压...
13. 氧化锌铝(ZAO)陶瓷靶材制备及其薄膜性能

作者：侯亚奇庄大明张弓杨伟方梁展鸿

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2008年1期

页码: 59-63

摘要：溶胶-凝胶方法制备的ZnO和Al2O3混合粉末经冷压预成型加真空低压烧结,制备了高致密度(相对密度99%)、低成本的ZAO陶瓷靶材.研究了ZAO靶材与无氧铜的粘接性能.用中频交流磁控溅射ZA...
14. 沉积参数对含氢非晶碳膜结构及性能的影响

作者：巴德纯张艳李明王凤蔺增

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2008年1期

页码: 64-66

摘要：本文利用射频等离子体增强化学气相沉积(RF-PECVD)技术,以CH4、H2为气源,Ar为稀释气体,通过增加过渡层和改变输入功率和气体成分比例(CH4/H2),在不锈钢基底上制备了含氢非晶碳...
15. 偏压对磁控溅射沉积铌膜表面性能的影响

作者：崔江涛杨士勤田修波

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2008年1期

页码: 67-71

摘要：利用直流磁控溅射在钢基体上沉积了铌薄膜,分别采用扫描电镜、原子力显微镜、X射线衍射仪和电化学分析仪研究了不同偏压下铌膜表面形貌、相结构以及耐蚀性.实验结果表明:在低于300 V偏压下,偏压的...
16. 纳米TiO2薄膜的制备与表面形貌研究

作者：周明飞孙兆奇孟凡明蔡琪

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2008年1期

页码: 72-77

摘要：研究退火温度对薄膜相结构、表面化学组成及形貌的影响.采用射频磁控溅射法在单晶硅片上淀积TIO2薄膜,通过X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)和X光电子能谱(XPS)对其进行表征.结果...
17. 双层预制膜对CIGS薄膜结构和形貌的影响

作者：元金石庄大明张弓李春雷韩东麟

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2008年1期

页码: 78-82

摘要：采用中频交流磁控溅射方法,在玻璃基底上依次沉积了Mo、CuIn、CuGa薄膜,制备了CuInGa(CIG)层预制膜,采用固态硒化法制备获得了Cu(In1-xGax)Se2(CIGS)吸收层薄...
18. 基于单根氧化锌纳米线的场效应管的光电特性研究

作者：孙大林李静雷沈浩（辶壬页）邢晓艳郑凯波陈国荣

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2008年1期

页码: 83-86

摘要：本文介绍了一种基于单根氧化锌纳米线场效应管的制备方法,用XRD和SEM分析了样品的结构和形貌,测试了它的输出特性曲线和转移特性曲线.当Vds=2 V时,测得场效应管的开启电压Vgt=-16....
19. 氮化锌空心粉末的制备和表征

作者：王书运

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2008年1期

页码: 87-89

摘要：报道了氮化锌空心粉末的制备和表征.将纯Zn粉置于流量为500 mL/min的NH3气流中,在600℃温度下氮化150 min,制备出Zn3N2空心粉末.用X射线衍射(XRD)和扫描电子显微镜...
20. 静态膨胀法真空系统

作者：于红燕王池葛楚鑫赵士燕

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2008年1期

页码: 90-93

摘要：本文介绍了中国计量院新建立的一套静态膨胀法真空系统,其测量范围:5×10-4Pa～1×105 Pa,扩展不确定度:0.19%～0.02%(k=2).用参考体积法确定了系统体积比,并用增量法和...
21. 《真空科学与技术学报》征稿说明

作者：

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2008年1期

页码: 94

摘要：
22. 高迁移率IWO透明导电氧化物薄膜制备及其退火处理研究

作者：张群李喜峰李桂锋王颖华

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2008年2期

页码: 95-98

摘要：采用直流磁控溅射法在清洁玻璃基片上制备了掺钨氧化铟(IWO)透明导电氧化物薄膜.研究了氧分压及其退火处理对IWO薄膜光电性能的影响.实验发现薄膜的光电性能对氧分压非常敏感,退火郸理有助于改善...
23. 锰硅化物在Si(111)-7×7表面的制备及其STM研究

作者：孙静静王丹邹志强

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2008年2期

页码: 99-102

摘要：利用超高真空扫描隧道显微镜研究了室温至610℃的条件下锰在Si(111)-7×7表面的反应生长情况,制备出了锰纳米团簇和几种锰硅化物.实验结果表明:温度低于260℃时,生成了占据在衬底7×7...
24. 插接式真空灭弧室电弧形态的试验研究

作者：于力何广丽刘志远王季梅王荃苑舜

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2008年2期

页码: 103-107

摘要：为了解决传统对接式真空负荷开关在大容量发电机出口负荷开关开发过程中存在无法满足大负荷电流的瓶颈问题,基于插接式触头结构的真空灭弧室具有承载大负荷电流的优势,使其成为发电机出口端真空负荷开关设...
25. GaAs(331)A面InAs自组织纳米结构形貌演化

作者：任正伟牛智红贺振宏

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2008年2期

页码: 108-111

摘要：采用分子束外延方法在CaAs(331)A高指数衬底上制备自对齐InAs纳米线(QWRs)或者三维(3D)岛状结构.InAs纳米线(QWRs)选择性生长在CaAs层的台阶边缘.通过原子力显微镜...
26. 磁控溅射制备Ag/PEO-like生物功能材料及其性能研究

作者：付亚波周美丽岳蕾翁静陈强

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2008年2期

页码: 112-115

摘要：以乙二醇二甲基醚为单体,采用磁控溅射的方法制备Ag/PEO-like复合薄膜,探讨使用等离子体技术同时完成PEO-like聚合与Ag溅射的可行性,研究了溅射靶与基材的距离、单体与工作气体流量...
27. 沉积在液体基底表面铁薄膜的矫顽力与温度关系研究

作者：周小莉

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2008年2期

页码: 116-119

摘要：研究了沉积在液体基底表面铁薄膜的矫顽力与温度的依赖关系.实验发现:矫顽力Hc和交换偏置He分别在临界温度Tcrit=10 K～15 K和4 K呈现一个极大峰值.研究结果表明,该奇异的矫顽力特...
28. 钛酸钡陶瓷中居里点移动规律与机理研究进展

作者：周晓华唐斌张树人袁颖

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2008年2期

页码: 120-125

摘要：钛酸钡是研究最多、应用最广泛的钙钛矿型铁电材料.钛酸钡陶瓷中的居里点是其最重要的性能之一,受到人们的广泛关注.本文综述了使钛酸钡陶瓷居里点移动的相关要素,指出钛酸钡陶瓷的居里点会受到掺杂、尺...
29. ZnO上肖特基接触的研究进展

作者：吴芳孔春阳张文婷张淑芳彭丽萍方亮董建新

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2008年2期

页码: 126-132

摘要：由于ZnO存在本征施主缺陷(锌间隙和氧空位),使得表面存在较高浓度的施主能级,难以获得肖特基接触.本文回顾了近年来在n型ZnO上制备肖特基接触的研究进展,对n型ZnO上制备肖特基接触的Au、...
30. 复合背接触层与背电极的匹配对CdTe太阳电池性能的影响

作者：冯良桓宋慧瑾张静全李卫武莉莉郑家贵鄢强雷智黎兵

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2008年2期

页码: 133-137

摘要：本文研究Ni和Au两种背电极在有、无ZnTe/ZnTe:Cu背接触层时对碲化镉太阳电池性能的影响及其机理.试验结果表明,在没有ZnTe/ZrTe:Cu复合背接触层时,Ni和Au相比,输入特性...

真空科学与技术学报基本信息

刊名	真空科学与技术学报	主编	吴锦雷
曾用名	真空科学与技术
主办单位	中国真空学会	主管单位	中国科学技术协会
出版周期	月刊	语种	chi
ISSN	1672-7126	CN	11-5177/TB
邮编	100022	电子邮箱	vst@chinesevacuum.com
电话	010-58206280	网址
地址	北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室