真空科学与技术学报期刊
出版文献量(篇)
4084
总下载数(次)
3
总被引数(次)
19905

真空科学与技术学报

Chinese Journal of Vacuum Science and Technology
曾用名: 真空科学与技术

CACSCDJSTCSTPCD

影响因子 0.3586
本刊是全国中文核心期刊,长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录,已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅,有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿,已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。
主办单位:
中国真空学会
ISSN:
1672-7126
CN:
11-5177/TB
出版周期:
月刊
邮编:
100022
地址:
北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室
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  • 作者: 单莉英 孙琦 戴传玮 顾昌鑫
    发表期刊: 2009年6期
    页码:  586-592
    摘要: 本文通过建立多尺度模型,结合模拟了磁控溅射中溅射原子的产生、溅射原子的碰撞传输、以及最终成膜的全过程,研究了基板温度、溅射速率、磁场分布和靶材-基板间距对薄膜生长过程与薄膜性能的影响.模拟结...
  • 作者: 刘贵昂 吕文辉 宋航 张军 张帅 薛书文 邵乐喜 金亿鑫
    发表期刊: 2009年6期
    页码:  593-596
    摘要: 采用数值模拟的方法对比性地研究了常闭和常开工作模式下平面栅极型碳纳米管场发射电子源.静电场的数值计算结果显示:常闭工作模式下该电子源中阴极电极的表面电场分布不均匀,边缘处的高电场易导致其上的...
  • 作者: 于金 屠彦 李巧芬
    发表期刊: 2009年6期
    页码:  597-603
    摘要: 基于密度泛函理论的第一原理赝势法,研究了PDP放电单元中MgO保护层在形成氧空缺后的电子结构的变化.通过对能带结构和态密度分布的计算,可以看到MgO形成氧空缺后在禁带中引入了能级.本文计算了...
  • 作者: 崔惠兵 张燕生 朱敏 罗积润 范俊杰 郭炜 黄云平
    发表期刊: 2009年6期
    页码:  604-608
    摘要: 本文基于理论分析和数值模拟,对一个X波段重叠模工作的三间隙耦合输出回路进行了分析计算.讨论了总间隙阻抗与群时延之间的关系以及回路的群时延对总间隙阻抗的影响.通过合理优化群时延曲线,该X波段三...
  • 作者: 刘濮鲲 李国超 肖刘 郝保良 黄明光
    发表期刊: 2009年6期
    页码:  609-613
    摘要: 采用考虑面电流分布的螺旋带模型计算行波管的冷测参数,基于三维场论模型,通过粒子模拟方法求解空间电荷场的数值解,开发出专业的行波管高频结构互作用代码,计算了一种动态渐变技术(DVT)的C波段超...
  • 作者: 赵静
    发表期刊: 2009年6期
    页码:  614-618
    摘要: 本文采用流体模型对纯Ne介质阻挡放电(DBD)中的丝状放电现象进行了研究.通过模拟获得了放电过程中电流、带电粒子等物理参数的时间空间分布及丝状放电的形成.结果表明,在pd值较低及方波驱动电压...
  • 作者: 刘军 宋先霖 张世伟 张志军 徐成海 鄂东梅
    发表期刊: 2009年6期
    页码:  619-623
    摘要: 简要介绍了液体物料真空蒸发冻结过程中出现的暴沸、过冷、冻结等实验现象.针对溶液由液相表面蒸发为汽相、由冻干室向冷阱室流动迁移、在冷凝器上凝结的全过程,从质量与能量守恒原理、热力学原理和气体动...
  • 作者: 马亚林
    发表期刊: 2009年6期
    页码:  624-636
    摘要: 本文中较全面地讨论了多级降压收集极的物理模型.通过分析3个工作频率点高频输出端的电子注特性来设计多级降压收集极:借助电子注层流性参量,对带有再聚焦磁场的散群聚区进行优化,得到磁场参量的初始值...
  • 作者: 冯乃祥 彭建平 武小雷 狄跃忠 胡文鑫 陈世栋
    发表期刊: 2009年6期
    页码:  637-640
    摘要: 本文对常压及真空条件下以碳化钙为还原剂制取金属镁的热力学分析,计算出平衡状态下镁蒸汽的露点,并进行真空热还原实验研究.结果表明:常压下临界反应温度为2095K;当系统压力降至10~3Pa和1...
  • 作者: 冯焱 卢耀文 徐婕 成永军 李得天 赵澜
    发表期刊: 2009年6期
    页码:  641-648
    摘要: 本文概述了在超高/极高真空校准方面的研究进展.介绍了采用分子束法、压力衰减法、流导调制法以及分流法校准超高/极高真空规的原理、校准系统的结构及性能,并分析了它们的优缺点.从中可以看出,近年来...
  • 作者: 仇展 方志 杨浩 解向前 赵龙章 邱毓昌
    发表期刊: 2009年6期
    页码:  649-658
    摘要: 介质阻挡放电(DBD)可以在大气压下产生低温等离子体,在工业领域具有广泛的应用前景.相对于低气压均匀DBD和大气压丝状DBD,大气压均匀DBD在节约生产成本、提高生产效率以及优化处理效果等方...
  • 作者: 张东平 李红奕 梁广兴 汝丽丽 范平 蔡兴民 郑壮豪
    发表期刊: 2009年6期
    页码:  659-663
    摘要: 利用离子束溅射沉积技术,设计三元复合靶,直接制备CuInSe_2(CIS)薄膜.通过X射线衍射仪(XRD)、原子力显微镜(AFM)和分光光度计检测在不同衬底温度和退火温度条件下制备的CIS薄...
  • 作者: 吴佩璇 吴臣国 沈杰 王三坡 马进
    发表期刊: 2009年6期
    页码:  664-668
    摘要: 等离子体轰击聚酰亚胺表面会提高挠性印制电路板中溅射铜膜与聚酰亚胺基板的附着力,同时聚酰亚胺表面亲水性随之改变.本文通过改变轰击等离子体种类、轰击电流、轰击时间和轰击气压等条件,研究这些工艺参...
  • 作者: 乔建良 常本康 张益军 杨智 熊雅娟 牛军 石峰 钱芸生 高频
    发表期刊: 2009年6期
    页码:  669-672
    摘要: 研制了一套基于计算机控制的GaAs光电阴极智能激活系统,该系统可在计算机控制下严格按照标准工艺对GaAs光电阴极进行智能激活,并可在线测量阴极的光谱响应曲线.利用该系统分别进行了智能激活和人...
  • 作者: 李朝阳 杨永军 赵俭 邢光建 陈强
    发表期刊: 2009年6期
    页码:  673-677
    摘要: 利用电子束蒸镀方法在单晶硅和石英玻璃上制备了掺不同Y_2O_3浓度的掺钇稳定ZrO_2薄膜(YSZ),用X射线衍射、原子力显微镜、扫描电子显微镜和透射光谱测定薄膜的结构、表面特性和光学性能,...
  • 作者: 何源 侯生军 张军辉 杨伟顺 杨晓天 胡振军 蒙峻 赵玉刚 郭迪周 马向利
    发表期刊: 2009年6期
    页码:  678-681
    摘要: 采用直流磁控反溅射法在不锈钢真空管道内表面均匀镀上一层TiZrV薄膜.该薄膜经过激活后具有抽气效应,能够使真空管道由原来的系统气载转变成为管道泵.该薄膜激活温度很低,最低激活温度为180℃....
  • 作者: 王晓冬 王维娜
    发表期刊: 2009年6期
    页码:  682-685
    摘要: 为研究RH真空脱气过程中的流动行为,建立了描述气泡驱动下的RH循环气-液两相流动的数学模型.基于欧拉-欧拉两流体模型,利用计算流体力学(CFD)商业软件FLUENT6.0,对不同充气量条件下...
  • 作者: 刘红飞 张志萍 程晓农
    发表期刊: 2009年6期
    页码:  686-689
    摘要: 采用化学共沉淀法合成26wt%ZrW_2O_8/ZrO_2近零膨胀复合陶瓷靶材,并以脉冲激光法在石英基片上沉积制备了ZrW_2O_8/ZrO_2复合薄膜.利用X射线衍射仪(XRD)、热膨胀仪...
  • 作者: 王军生 赵嘉学
    发表期刊: 2009年6期
    页码:  690-694
    摘要: 在一个孪生靶实验装置上进行了中频反应磁控溅射沉积TiO_2薄膜的工艺实验.得到了一组真实的反应溅射TiO_2薄膜的沉积速率和真空与反应气体流量之间关系的迟滞曲线(无等离子体发射监控系统Pla...
  • 作者: 何湘宁 张贵新 徐勇 方志 王长全
    发表期刊: 2009年6期
    页码:  695-699
    摘要: 鉴于介质阻挡放电(DBD)是工业上非常有前途的处理材料表面的环保技术,于是采用常压DBD产生的空气低温等离子体对聚苯乙烯(PS)薄膜进行了表面改性.通过接触角测量、原子力显微镜(AFM)观察...
  • 作者: 刘纯亮 梁志虎 王志国
    发表期刊: 2009年6期
    页码:  700-703
    摘要: 由于交流等离子体显示器(AC PDP)的显示特性是线性的,因此在显示接收到的视频信号前必须要进行反gamma校正.同时,为了提高显示器件的画质,必须要进行对比度增强.直方图均衡化是一种重要的...
  • 作者: 余小江 尉伟 王勇 王秋平 高兴宇
    发表期刊: 2009年6期
    页码:  704-706
    摘要: 同步辐射光束线的光学元件的碳污染问题.它导致光学系统的光通量下降,尤其是在碳吸收边情况更加严重.因此在光束线运行一定的时间后,必须对光学元件的碳污染进行清洗以便保证其正常使用. 为此我们开发...
  • 作者: 刘常升 张钧 赵时璐
    发表期刊: 2009年6期
    页码:  707-711
    摘要: 采用多弧离子镀技术,使用Ti Al Zr合金靶和Cr靶,在W18Cr4V高速钢基体上沉积(Ti,Al,Zr,Cr)N多组元氮化物膜.利用扫描电镜(SEM)、电子能谱仪(EDS)和X射线衍射(...
  • 144. 消息
    作者:
    发表期刊: 2009年6期
    页码:  后插页
    摘要:
  • 作者: 薛大同
    发表期刊: 2009年z1期
    页码:  1-8
    摘要: 以NASA大气模式MSISE-1990为依据,用实例验证的方式证明了关心大气成分的数密度时,玻耳兹曼能量分布律仅适用于几公里至几十公里高度以内的分子态气体.考虑重力加速度随高度变化时,用该分...
  • 作者: 何延春 吴春华 王洁冰 许旻 赵印中 邱家稳
    发表期刊: 2009年z1期
    页码:  98-100
    摘要: 采用直流磁控反应溅射工艺制备了WO3薄膜.WO3薄膜在原始状态和注入Li离子后的平均透射率分别为83%和6%,变化接近77%,表明该WO3薄膜具有很好的电致变色性能.根据薄膜的透射率和反射率...
  • 作者: 刘燕文 孟鸣凤 张洪来 徐振英 扬靖鑫 易红霞 田宏 韩勇
    发表期刊: 2009年z1期
    页码:  64-67
    摘要: 采用不同工艺制备了浸渍钡钨阴极用的铝酸盐(612),并对其发射性能进行了测试,结果表明,采用二氧化碳烧结的发射物质发射性能最好.利用飞行时间质谱(ToFMS)测试了真空本底、浸渍阴极蒸发物的...
  • 作者: 刘宏开 王多书 王济洲 罗崇泰 陈焘 马锋
    发表期刊: 2009年z1期
    页码:  55-58
    摘要: 在硅基底上用电子束蒸发方法制备了硫化锌薄膜.通过XRD和薄膜应力测试仪研究了离子束辅助沉积和真空退火对硫化锌薄膜应力的影响规律.结果表明,未采用离子辅助技术制备的硫化锌薄膜为压应力,平均应力...
  • 作者: 叶自煜 张佰森 王多书 盖志刚 陈焘 马锋
    发表期刊: 2009年z1期
    页码:  39-41
    摘要: 针对空间用宽截止长波红外带通滤光片具有通带内平均透射率高、抑制带截止深度深、波纹系数小,可适应复杂环境条件,具有高稳定性和高可靠性等特点,以10.03μm~12.50μm和10.6μm~11...
  • 作者: 张葆森 杜春林 田帅 许忠旭 谢吉慧
    发表期刊: 2009年z1期
    页码:  42-45
    摘要: 神舟七号飞船发射前,在地面对航天员出舱活动所穿的舱外航天服进行了模拟试验,即"人舱服"联合地面试验,以验证舱外航天服在真空环境下的工作状态.为防止试验过程中综合复压系统自动复压发生意外,本文...

真空科学与技术学报基本信息

刊名 真空科学与技术学报 主编 吴锦雷
曾用名 真空科学与技术
主办单位 中国真空学会  主管单位 中国科学技术协会
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1672-7126 CN 11-5177/TB
邮编 100022 电子邮箱 vst@chinesevacuum.com
电话 010-58206280 网址
地址 北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室

真空科学与技术学报统计分析

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