不同衬底上低温生长的ZnO晶体薄膜的结构及光学性质比较

• 作者: 吴惠桢 徐晓玲 邱东江 金进生
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 电子束反应蒸发 单晶ZnO薄膜 结构及光学特性
• 年，卷（期）: 2001,（1）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 5-8
• 页数: 4页
• 分类号: O484.1
• 字数: 3649字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2001.01.002

摘要

采用电子束反应蒸发方法，在单晶Si(001)及玻璃衬底上低温外延生长了沿c轴高度取向的单晶ZnO薄膜,并对沉积的ZnO晶体薄膜的结构和光学性质进行了分析比较。通过对ZnO薄膜的X射线衍射(XRD)分析及光致荧光激发谱(PLE)测量，研究了衬底材料结构特性、生长温度及反应气氛中充O2对ZnO薄膜的晶体结构和晶体光学吸收特性的影响。结果表明：①衬底温度对沉积的ZnO薄膜的晶体结构影响显著，玻璃衬底上生长ZnO薄膜的最佳温度比Si(001)衬底上生长的最佳温度要高70 ℃；②虽在最佳生长条件下获得的ZnO薄膜的XRD结果(半高宽和衍射强度)相近，但光学吸收特性有较大差异，Si(001)衬底上生长的ZnO薄膜优于玻璃衬底上生长的ZnO薄膜；③反应气氛中的O2分压对XRD结构影响不大，但对PLE谱影响显著，充O2后能明显改善吸收边特性。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴惠桢	浙江大学物理系	37	219	9.0	12.0
2	邱东江	浙江大学物理系	22	144	8.0	11.0
3	金进生	浙江大学物理系	18	114	6.0	10.0
4	徐晓玲	浙江大学物理系	11	170	8.0	11.0