三明治结构微机械静电伺服加速度计稳定性研究

• 作者: 文贵印 陈宇晓
• 来源期刊: 中国惯性技术学报
• 学科: 交通运输
• 关键词: 微机械加速度计 稳定性 四梁中心悬臂式结构 吸附效应
• 年，卷（期）: 2003,（1）
• 所属期刊栏目: 仪表研究与设计
• 页码范围: 53-57
• 页数: 5页
• 分类号: U666.1
• 字数: 2664字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-6734.2003.01.012

摘要

对影响微加速度计稳定性的主要因素(外置偏压和横向加速度干扰)进行了详细分析,给出了最小临界偏压和最大可承受横向加速度的计算公式,提出一种具有良好稳定性的四梁中心悬臂式结构.根据Matlab仿真结果,在大量程微加速度计典型结构参数下,惯性敏感单元可承受的最大横向加速度达2 000g以上,远远满足实际需求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈宇晓	中国工程物理研究院电子工程研究所	32	161	7.0	10.0
2	文贵印	中国工程物理研究院电子工程研究所	16	70	5.0	8.0