一个集成电路工艺诊断实例

• 作者: 严利人 徐春林 李瑞伟
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: PCM(process control module) 工艺诊断 主成分分析
• 年，卷（期）: 2003,（12）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1340-1344
• 页数: 5页
• 分类号: TN407
• 字数: 4324字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2003.12.022

摘要

介绍了一种计算机自动PCM(process control module)工艺参数分析系统,可用于集成电路制造过程中的工艺诊断和分析.在具体处理上应用了主成分分析方法,能够从大量数据中提取其统计特征,根据这一特征可找出造成工艺波动的关键因素.从所给出的具体诊断实例来看,该方法能够得出一般人工诊断所不能得出的诊断结论,效果较好,是实施严格生产控制的有效工具.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	严利人	清华大学微电子学研究所	26	81	5.0	8.0
2	李瑞伟	清华大学微电子学研究所	10	79	4.0	8.0
3	徐春林	清华大学微电子学研究所	1	1	1.0	1.0