MEMS传感器的真空密封技术

• 作者: 刘建华 曾大富 罗驰
• 来源期刊: 微电子学
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 传感器 谐振梁 压力传感器 真空密封
• 年，卷（期）: 2005,（3）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 268-269,274
• 页数: 3页
• 分类号: TN305.94
• 字数: 1901字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-3365.2005.03.012

摘要

文章介绍了MEMS传感器的几种真空密封方法,提出了一种真空密封方法的设想.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曾大富		2	3	1.0	1.0
5	刘建华		1	2	1.0	1.0
9	罗驰		1	2	1.0	1.0