喷雾热解法制备掺氟的氧化锡透明导电膜

• 作者: 姚燕燕 田晓珍 许启明 赵鹏 郝喜红
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 物理学
• 关键词: 无机非金属材料 掺氟二氧化锡薄膜 喷雾热分解 制备 导电性能 光学性能
• 年，卷（期）: 2005,（2）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 7-10
• 页数: 4页
• 分类号: O484
• 字数: 3589字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2005.02.003

摘要

采用喷雾热分解的方法,在片状日用玻璃基材和石英玻璃基材上制得了掺氟氧化锡透明导电薄膜.研究了F的掺杂量、成膜温度和沉积时间对薄膜方阻R□和在可见光范围内的平均透过率T的影响.实验结果表明,当NH4F的掺杂量为SnCl4·5H2O的32%(质量分数)、成膜温度为450℃、沉积时间为15 s时,可使所得薄膜的方阻R□最低,为10 Ω/□,可见光范围内的平均透过率为80%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	许启明	西安建筑科技大学材料科学与工程学院	100	725	13.0	20.0
2	赵鹏	西安建筑科技大学材料科学与工程学院	38	428	12.0	18.0
3	姚燕燕	西安建筑科技大学材料科学与工程学院	28	257	10.0	14.0
4	田晓珍	西安建筑科技大学材料科学与工程学院	23	227	8.0	14.0
5	郝喜红	西安建筑科技大学材料科学与工程学院	6	64	5.0	6.0