157 nm光刻技术的进展

• 作者: 童志义 葛劢冲
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 157nm光刻 氟化钙材料,局部反射光斑、双折射 折反射光路 保护薄膜 污染控制 浸液式光刻
• 年，卷（期）: 2006,（2）
• 所属期刊栏目: 光刻技术与设备
• 页码范围: 13-17,52
• 页数: 6页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 5875字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2006.02.004

摘要

概述了作为下一代光刻技术之一的157 nm F2准分子激光光刻技术的进展及各公司157 nm曝光设备的开发现状.介绍了157nm光刻中各种制约因素,如CaF2材料的双折射现象、真空环境的排气及污染控制、保护薄膜的选择、折反射光学系统的选择与设计及新型抗蚀剂的开发等问题随着时间的推进已基本得到解决.最后讨论了15 7 nm光刻技术在45 nm及以下节点器件图形曝光引入的可能性和采用浸液式157 nm光刻进入32 nm技术节点器件图形曝光的潜力.