PECVD法制备类金刚石薄膜的结构和摩擦学性能研究

• 作者: 刘惠文 常海波 张治军 徐洮 李红轩
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: PECVD 类金刚石薄膜 结构 摩擦学性能
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 47-50
• 页数: 4页
• 分类号: TB43
• 字数: 2077字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0322.2006.01.014

摘要

采用射频-直流等离子体增强化学气相沉积技术在单晶硅衬底上沉积了类金刚石薄膜.用激光拉曼光谱仪和原子力显微镜对薄膜的结构和表面形貌进行了表征,并用纳米压痕仪测定了薄膜的硬度.用UMT微摩擦磨损试验机考察了薄膜在不同的滑行速度下薄膜的摩擦学性能.结果表明:所沉积的薄膜具有典型类金刚石薄膜的结构特征,薄膜表面光滑致密,硬度较高;薄膜与氧化铝陶瓷球对磨显示出良好的摩擦学性能,随着滑行速度的增加,薄膜的摩擦系数单调降低,但磨损寿命先增加后降低.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张治军	河南大学特种功能材料实验室	315	5372	34.0	55.0
2	刘惠文	中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家实验室	26	376	13.0	19.0
3	徐洮	中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家实验室	75	815	16.0	23.0
4	常海波	河南大学化学化工学院	28	79	5.0	7.0
5	李红轩	中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家实验室	23	269	11.0	16.0