图像处理在双面光刻机中的应用

• 作者: 尚志伟 李久芳
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 底面对准 图像处理 边缘检测
• 年，卷（期）: 2006,（12）
• 所属期刊栏目: IC制造设备
• 页码范围: 57-60
• 页数: 4页
• 分类号: TN3
• 字数: 3070字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2006.12.012

摘要

讨论了双面对准光刻机的底部对准原理,并着重介绍了图像处理在高精度光刻机中的应用.通过对采集到的标记图形进行图像分割和边缘定位,使标记的边缘精确定位在亚像素级.从实验的结果来看,这种方法能够对对准标记达到很好的边缘定位,提高了对准精度.