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Zn1-x MgxS薄膜的磁控溅射制备及其性能研究
Zn1-x MgxS薄膜的磁控溅射制备及其性能研究
作者:
孙汪典
朱祯
苗银萍
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
Zn1-xMgxS多晶薄膜
磁控溅射
晶体结构
紫外吸收
光致发光
摘要:
利用双靶磁控溅射法,在普通石英玻璃基底上成功制备出Ⅱ-Ⅵ族化合物固溶体半导体Zn1-xMgxS多晶薄膜,并用X射线能量色散谱仪(EDS)、原子力显微镜(AFM)、X射线衍射仪(XRD)、紫外-可见(UV-Vis)分光光度计、荧光分光光度计(PL)等测试手段表征了多晶薄膜的成份、表面形貌、晶体结构和光学性质.结果表明:磁控溅射法制备的Zn1-xMgxS多晶薄膜具有立方和六方相混晶相结构,晶粒生长均匀,薄膜在波长小于280nm的紫外区有强烈的吸收,在可见光区紫光范围有一个强的发光峰,而且随着Mg含量的增加,强度增加,吸收边和发光峰的蓝移也增加.蓝移说明了带隙的展宽,其禁带宽度大约从3.6eV增至4.4eV.较高的结晶质量和发光特性显示了它是一种制作短波光电器件和紫外探测器的理想材料.
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内容分析
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文献信息
篇名
Zn1-x MgxS薄膜的磁控溅射制备及其性能研究
来源期刊
人工晶体学报
学科
物理学
关键词
Zn1-xMgxS多晶薄膜
磁控溅射
晶体结构
紫外吸收
光致发光
年,卷(期)
2006,(1)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
123-126,118
页数
5页
分类号
O484.1
字数
2995字
语种
中文
DOI
10.3969/j.issn.1000-985X.2006.01.028
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
孙汪典
暨南大学物理学系
26
280
9.0
16.0
2
苗银萍
暨南大学物理学系
5
4
2.0
2.0
3
朱祯
暨南大学物理学系
1
0
0.0
0.0
传播情况
被引次数趋势
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引文网络
引文网络
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2000(1)
参考文献(1)
二级参考文献(0)
2001(1)
参考文献(1)
二级参考文献(0)
2006(0)
参考文献(0)
二级参考文献(0)
引证文献(0)
二级引证文献(0)
研究主题发展历程
节点文献
Zn1-xMgxS多晶薄膜
磁控溅射
晶体结构
紫外吸收
光致发光
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
人工晶体学报
主办单位:
中材人工晶体研究院有限公司
出版周期:
月刊
ISSN:
1000-985X
CN:
11-2637/O7
开本:
16开
出版地:
北京朝阳区红松园1号中材人工晶体研究院,北京733信箱
邮发代号:
创刊时间:
1972
语种:
chi
出版文献量(篇)
7423
总下载数(次)
16
总被引数(次)
38029
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