故障树分析法在半导体设备故障诊断中的应用

• 作者: 姚刚
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 反应离子刻蚀 故障树 最小割集
• 年，卷（期）: 2007,（3）
• 所属期刊栏目: 技术专栏(半导体先进的加工设备)
• 页码范围: 205-207
• 页数: 3页
• 分类号: TN3
• 字数: 2271字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.2007.03.006

摘要

介绍了故障树分析法的原理.以反应离子刻蚀(RIE)设备的典型故障为例,建立故障树,通过求解最小实际故障来进行定性分析.尝试扩展故障树在故障判断和改进真空系统可靠性方面的应用,得出几个有针对性的结论.该方法能提高故障诊断的效率和准确性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	姚刚	中国电子科技集团公司第十三研究所	6	25	3.0	5.0