SOI器件及应用

• 作者: 罗浩平
• 来源期刊: 电子与封装
• 学科: 工学
• 关键词: SOI 器件结构 制作工艺
• 年，卷（期）: 2007,（7）
• 所属期刊栏目: 产品、应用与市场
• 页码范围: 41-45
• 页数: 5页
• 分类号: TN305.94
• 字数: 5928字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1681-1070.2007.07.011

摘要

文章介绍了各种SOI器件的结构及特点,指出了各种器件的优越性能.同时文中还介绍了在SOI结构上制作电路的工艺及需要开发的技术.在此基础上概括介绍了SOI器件的各种应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	罗浩平	中国电子科技集团公司第五十八研究所	5	30	3.0	5.0