VOx薄膜的sol-gel法制备

• 作者: 吴帮军 姜胜林 曾亦可 邓传益
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 电子技术 VOx sol-gel 薄膜 R-t特性
• 年，卷（期）: 2007,（4）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 22-24
• 页数: 3页
• 分类号: TN304.05
• 字数: 2019字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2007.04.007

摘要

通过对工艺条件的研究,解决了钒有机溶胶与基片的亲水性问题,提出了成膜牢固的亲水处理方法,制备出了无裂纹、致密性好的VOx薄膜.测量结果表明,520 ℃热处理条件下的VOx薄膜样品的平均电阻温度系数达到了3.95 % K-1.而470 ℃热处理下的VOx薄膜样品,其升降温阻温特性一致性很好,可用作高灵敏度红外探测器敏感元材料.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曾亦可	华中科技大学电子科学与技术系	65	723	15.0	25.0
2	姜胜林	华中科技大学电子科学与技术系	101	727	15.0	21.0
3	邓传益	华中科技大学电子科学与技术系	14	94	4.0	9.0
4	吴帮军	华中科技大学电子科学与技术系	3	8	2.0	2.0