磁激活等离子体增强化学气相沉积设备的研制

• 作者: 刘欣杰 劳晓东 韩会民
• 来源期刊: 真空
• 学科: 物理学
• 关键词: 磁激活等离子体增强化学气相沉积 设备
• 年，卷（期）: 2007,（5）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 39-42
• 页数: 4页
• 分类号: O532.11
• 字数: 3625字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0322.2007.05.011

摘要

针对PECVD中等离子体的密度沿径向分布均匀性较差、空间气氛化学活性较差的问题,在PECVD的基础上加入电子发射源和正交电磁场以控制电子的运动,从而增强等离子场的强度和范围,使反应场的活力增加,以提高反应空间的活化能力,继而提高膜层质量.结果表明,该方法可以使等离子场的分布发生改变,使等离子体密度及范围做到可控制且可调整.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	韩会民	大连理工大学材料科学与工程学院	8	70	4.0	8.0
2	劳晓东	周口师范学院物理系	8	14	2.0	3.0
4	刘欣杰	大连理工大学材料科学与工程学院	4	4	1.0	2.0