一种新颖的光罩可制造性规则检查方法与系统

• 作者: 李峥 程秀兰 黄荣瑞
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 光罩可制造性规则检查 光罩缺陷检测 版图
• 年，卷（期）: 2007,（3）
• 所属期刊栏目: 工艺技术与材料
• 页码范围: 238-240
• 页数: 3页
• 分类号: TN3
• 字数: 2233字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.2007.03.015

摘要

介绍了一种较为先进的光罩可制造性规则检查的方法及其系统构成.实验结果表明,通过整合各种EDA工具,在光罩检验前就可发现这些可能给光罩检验造成困难的图形,为后续光罩检验步骤提供参考,显著提高了光罩检验的效率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	程秀兰	上海交通大学微电子学院	48	205	5.0	12.0
2	李峥	上海交通大学微电子学院	7	23	3.0	4.0
6	黄荣瑞		1	0	0.0	0.0