sol-gel法制备的ZnO:(Al, La)透明导电膜光电性能

• 作者: 战可涛 曾凡强
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 无机非金属材料 ZnO:(Al,La)薄膜 sol-gel法 光电性能
• 年，卷（期）: 2008,（7）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 47-49
• 页数: 3页
• 分类号: TQ132.41
• 字数: 2597字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2008.07.015

摘要

通过X射线衍射、紫外-可见分光光度计、扫描电镜和四探针仪分析等手段,考察了退火温度对ZnO:(Al, La)薄膜微观结构、光学和电学性能的影响,Al掺杂浓度对电阻率的影响.结果表明:随退火温度的升高,薄膜(002)晶面择优取向生长增强,平均晶粒尺寸增大,电阻率降低,透光率上升.在x(Al)为1%,退火温度550 ℃时,薄膜最低电阻率为1.78×10-3 Ω·cm,平均透光率超过85%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	战可涛	北京化工大学理学院	18	139	6.0	11.0
2	曾凡强	北京化工大学理学院	1	4	1.0	1.0