2009～2014年全球光刻技术,光刻机及其他光刻系统展望

• 作者: ICON Group International
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 产业战略研究 光刻技术与设备 市场需求 产业前景 研究方法 数据分析
• 年，卷（期）: 2010,（3）
• 所属期刊栏目: 半导体制造工艺与设备
• 页码范围: 33-38
• 页数: 6页
• 分类号: TN305.7
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2010.03.010

摘要

根据潜在的市场需求和产业前景,进行了系统地研究,提出了科学的分类研究方法.通过对市场需求的数据分析,展望今后5年全球光刻技术与设备的产业前景.