升温速率对Bi0.98La0.02FeO3-PbTiO3薄膜结构性能的影响

• 作者: 周圆苑 朱建国 李海敏 田云飞 肖定全
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: BLFPT薄膜 sol-gel法 快速退火
• 年，卷（期）: 2010,（4）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 1-4
• 页数: 4页
• 分类号: TM27
• 字数: 2700字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2010.04.001

摘要

采用sol-gel法在SiO2/Si(100)衬底上制备了0.68(Bi0.98La0.02)FeO3-0.32PbTiO3(BLFPT)薄膜.采用快速退火技术,以2～40 ℃/s速率升温、在700 ℃下保温100 s对BLFPT薄膜进行了后续处理.研究了升温速率对BLFPT薄膜结构性能的影响.XRD测试结果显示BLFPT薄膜为赝立方结构.SEM和AFM结果表明,当升温速率为2 ℃/s时,BLFPT薄膜表面晶粒更为均匀致密,粗糙度最小.XPS分析显示,Bi、Fe和Ti分别主要以化合态Bi2O3、Fe2O3和TiO2的形式存在.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周圆苑	四川大学材料科学与工程学院	2	4	2.0	2.0
2	肖定全	四川大学材料科学与工程学院	178	2267	24.0	42.0
3	朱建国	四川大学材料科学与工程学院	124	1424	17.0	35.0
4	田云飞	四川大学材料科学与工程学院	17	145	5.0	11.0
5	李海敏	四川大学材料科学与工程学院	4	14	2.0	3.0