基于六维机械手的硅片传输系统

• 作者: 李伟 柳滨 王伟 陈威
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: IC CMP 硅片传输系统 六维机械手
• 年，卷（期）: 2011,（10）
• 所属期刊栏目: 材料加工与设备
• 页码范围: 15-18
• 分类号: TP215
• 字数: 2947字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2011.10.005

摘要

详细介绍了如何选择满足CMP抛光机硅片传输系统要求的六维机械手,并基于所选择的六维机械手配合换枪盘、末端执行器构建了硅片干进湿出式传输系统,最终利用示教盒示教出一条无碰撞、姿态合理的运动路径。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王伟	中国电子科技集团公司第四十五研究所	102	238	8.0	12.0
2	李伟	中国电子科技集团公司第四十五研究所	71	74	5.0	5.0
3	陈威	中国电子科技集团公司第四十五研究所	7	7	1.0	2.0
4	柳滨	中国电子科技集团公司第四十五研究所	10	42	4.0	6.0