光刻设备中硅片预对准的算法模型分析

• 作者: 张鹏远 杨林
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 硅片传输 预对准 硅片 缺口
• 年，卷（期）: 2011,（9）
• 所属期刊栏目: 半导体制造工艺与设备
• 页码范围: 7-10,30
• 分类号: TN305.7
• 字数: 1799字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2011.09.002

摘要

分析了硅片预对准设备的工作原理、流程及计算方法,并在实验数据的基础上详细讨论了各种方法的优缺点。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张鹏远		1	1	1.0	1.0
2	杨林		1	1	1.0	1.0