微机电系统( MEMS)硅压阻式压力传感器分析研究

• 作者: 李烨 石鑫
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS传感器 理论分析 芯片设计 仿真模拟
• 年，卷（期）: 2011,（6）
• 所属期刊栏目: 测量与控制
• 页码范围: 72-75
• 分类号: TP212.1
• 语种: 中文

摘要

本文对MEMS硅压阻式压力传感器进行了相应理论的分析,并对其优缺点进行了论述.通过对微压力传感器芯片的探索,提出了一种新型结构:四岛平膜结构.运用仿真软件对四岛平膜型微压力传感器芯片进行了静力学分析.通过分析应力和形变平面云图及沿特定的路径分布图,发现该结构在边缘四边中点位置处出现应力的极大值,同时在芯片的四个凸起中间部位应力出现了明显的应力集中效应.将电阻放置在应力集中的区域,使其构成一个惠斯通全桥,可获得最大的电压输出.形变极大值远远小于传感器有效膜片的厚度,本文设计的传感器芯片的线性度良好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	石鑫	镇江高等职业技术学校机电工程系	7	23	3.0	4.0
2	李烨	镇江高等职业技术学校机电工程系	4	10	2.0	3.0