一种用于电子装备的硅片传输机械手

• 作者: 张世强 杨志
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 机械手 电子装备 硅片传输 直线电机
• 年，卷（期）: 2012,（9）
• 所属期刊栏目: 光伏制造与设备
• 页码范围: 21-23,53
• 页数: 4页
• 分类号: TN305
• 字数: 2551字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2012.09.006

摘要

机械手替代人工完成硅片传输可以大幅提高生产效率,传输精度和降低碎片率,机械手的使用是现代电子装备自动化的重要标志。介绍了适用于硅片传输的具有x、y、z、θ向运动功能的机械手及技术指标,重点从总体效率要求及负载对电机的受力进行详细计算,并对x、y向底座的设计做了详细描述;该机械手已应用于生产线的设备上,满足设计要求。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张世强	中国电子科技集团公司第四十五研究所	4	8	2.0	2.0
2	杨志	中国电子科技集团公司第四十五研究所	11	34	3.0	5.0