玻璃磁控溅射镀膜生产线设计

• 作者: 田晓娟
• 来源期刊: 伺服控制
• 学科: 工学
• 关键词: 磁控溅射 镀膜 沉积速率 工作气体气压
• 年，卷（期）: znjqr_2012,（7）
• 页码范围: 81-83
• 页数: 3页
• 分类号: TS27

摘要

为实现用真空磁控溅射镀技术对玻璃进行连续式镀膜，设计了一条基于PLC的自动化生产线。在精确控制镀膜时间和靶电流，保持电压不变的条件下，通过闭环控制实现镀膜室的工作气体气压恒定控制，从而得到稳定的沉积速率，最终在实验中利用真空磁控溅射镀膜方法制备出分布均匀，附着性强和特定厚度的膜层。通过上位机软件对参数值进行最优控制．在提高沉积速率的同时实现了玻璃大批量深加工的目的。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	田晓娟	兰州交通大学光电技术与智能控制教育部重点实验室	2	0	0.0	0.0