电子工业专用设备期刊
出版文献量(篇)
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电子工业专用设备

Equipment for Electronic Products Manufacturing

影响因子 0.2109
本刊为国内外公开发行的技术性刊物,以报道半导体设备及半导体产业链技术与材料为主要方向,以“公布新的科技成就,传播科技信息,交流学术思想,促进科技成果的商品化、产业化,为建设社会主义精神文明与物质文明服务”为本刊的为刊方针。发挥传媒优势,全方位服务于微电子行业的广大科技工作者。
主办单位:
中国电子科技集团公司第四十五研究所
期刊荣誉:
2001~2002年度标准化规范化部级奖  获2003~2004年度出版质量部级奖 
ISSN:
1004-4507
CN:
62-1077/TN
出版周期:
双月刊
邮编:
100029
地址:
北京市朝阳区安贞里三区26号浙江大厦913室
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  • 作者: 田陆屏
    发表期刊: 2006年1期
    页码:  1-7
    摘要: 随着集成电路在全球经济中扮演的角色日益重要,集成电路关键设备已成为集成电路发展过程中的战略焦点.本文通过对目前集成电路设备的国内外市场分析,在提醒相关产业部门注意集成电路设备的重要性之外,更...
  • 作者:
    发表期刊: 2006年1期
    页码:  7,12-24,69,71
    摘要:
  • 作者: 叶甜春 陈大鹏
    发表期刊: 2006年1期
    页码:  8-11
    摘要: 微系统市场发展的巨大潜力吸引了众多的制造公司和研发机构参与其中,虽然现阶段微系统仍然面临着从设计仿真,到代工制造和封装等的一系列行业标准的缺乏问题,可供微系统选择的商业发展模式也悬而未定,但...
  • 作者: 叶甜春 景玉鹏 李超波 欧毅 焦斌斌 申功 白宏磊 石莎莉 董立军 陈大鹏 黄钦文
    发表期刊: 2006年1期
    页码:  25-27,62
    摘要: 出现于20世纪80年代后期的微机械技术可以制作出微米尺度的传感器和执行器.这些微器件与信号调节和处理电路集成后,组成了可执行分布式实时控制的微电子机械系统(MEMS).这种性能为流动控制研究...
  • 作者: 张兴政 曾宪辉 赖启智 陈彦儒
    发表期刊: 2006年1期
    页码:  28-35
    摘要: 提出超音波微换能组件封装设计制作方法,并以微制程技术发展主动式防尘机制,提供组件屏蔽保护、操作可靠度与适当之讯号连接.针对超音波微换能组件进行封装设计,包含微封盖结构、晶粒黏着制程及防尘机制...
  • 作者: 叶甜春 张青川 李凯 欧毅 陈大鹏 黄钦文
    发表期刊: 2006年1期
    页码:  36-38
    摘要: 微悬臂梁是一种结构简单、易于进行微加工以及大量生产的传感器结构.当分子吸附在微悬臂梁表面之后,微悬臂来的弯曲以及振荡频率都会发生变化,这使微悬臂梁在化学和生物的实时探测方面非常具有吸引力.采...
  • 作者: 叶甜春 李超波 杨清华 欧毅 焦斌斌 石莎莉 董立军 陈大鹏 黄钦文
    发表期刊: 2006年1期
    页码:  39-42
    摘要: 追述了薄膜淀积技术的历史,按照制备手段对MEMS制造中使用的各种薄膜制造技术进行了大致的分类和对比,介绍了相应的理论研究概况,除了电镀技术之外,MEMS技术基本来自传统的IC制造工艺.
  • 作者: 叶甜春 景玉鹏 李超波 杨清华 欧毅 焦斌斌 石莎莉 董立军 陈大鹏 黄钦文
    发表期刊: 2006年1期
    页码:  43-45
    摘要: RF MEMS是射频表面微机械系统简称.射频表面微机械系统现在包括滤波器和微型电器元件,如开关,微可变电容和微可变电感.射频开关按驱动原理分有静电,压电,电磁以及热驱动.由于这一研究的高频化...
  • 作者:
    发表期刊: 2006年1期
    页码:  46-51
    摘要: Lab-on-chip或μ-TAS(micro-total analysi s systemS)结合流体处理、检测及数据分析,是一种便携式的低成本高效器件.在微流体应用中,聚合物具有比硅或玻...
  • 作者: 吴琼
    发表期刊: 2006年1期
    页码:  52-55
    摘要: 曝光机是图形转移中的重要设备.传统的迈拉晒架存在着需要赶气、效率低等缺点,已不能满足现代生产的需要.现今双玻璃晒架已在国外中、高档曝光机上普遍采用,但在国内各厂商还不具备生产能力.设计了散射...
  • 作者: 马永康
    发表期刊: 2006年1期
    页码:  56-58
    摘要: 介绍了J5706/ZF型硬质非金属材料精扩孔机扩孔的研磨机理、设计原理和应用.
  • 作者: 苏绍兴 董玲娇 颜晓河
    发表期刊: 2006年1期
    页码:  59-62
    摘要: 从简介光电传感器的基本原理入手,分析了国内外研究的现状和发展方向,并描述了光电传感器的应用前景.
  • 作者: 王立凤
    发表期刊: 2006年1期
    页码:  63-66
    摘要: 在介绍触摸屏的基本原理之后,分析基于微控制器的触摸屏系统.
  • 作者: 罗仁宇 舒斌
    发表期刊: 2006年1期
    页码:  67-69
    摘要: 介绍了调整扫描投影式光刻机畸变的几种方法.畸变是扫描投影式光刻机经常出现的问题,由此而带来的各机台间不能套刻,给生产造成相当的麻烦.简单分析问题的成因及调整方法.
  • 作者: 刘效祯 盛金龙
    发表期刊: 2006年1期
    页码:  70-71
    摘要:
  • 作者:
    发表期刊: 2006年1期
    页码:  72
    摘要:
  • 作者:
    发表期刊: 2006年1期
    页码:  73
    摘要:
  • 作者: 于燮康
    发表期刊: 2006年2期
    页码:  1-7,9
    摘要:
  • 作者: 莫大康
    发表期刊: 2006年2期
    页码:  8-9
    摘要:
  • 作者: 李珂
    发表期刊: 2006年2期
    页码:  10-12
    摘要:
  • 作者: 童志义 葛劢冲
    发表期刊: 2006年2期
    页码:  13-17,52
    摘要: 概述了作为下一代光刻技术之一的157 nm F2准分子激光光刻技术的进展及各公司157 nm曝光设备的开发现状.介绍了157nm光刻中各种制约因素,如CaF2材料的双折射现象、真空环境的排气...
  • 作者: 翁寿松
    发表期刊: 2006年2期
    页码:  18-20,48
    摘要: 介绍了65 nm工艺及其设备.它包括光刻工艺与193 nm Arf/浸入式光刻机、超浅结工艺与中电流/高电流离子注入机、铜互连工艺与PVD/ALD设备、CMP工艺与低应力CMP设备和清洗工艺...
  • 作者:
    发表期刊: 2006年2期
    页码:  21-26
    摘要:
  • 作者:
    发表期刊: 2006年2期
    页码:  26
    摘要:
  • 作者:
    发表期刊: 2006年2期
    页码:  27-34
    摘要:
  • 作者: 姚立新 张云
    发表期刊: 2006年2期
    页码:  35-38
    摘要: 介绍了MCM基板自动光学检测算法.该算法包括二值化处理,数学形态学中的开运算和闭运算、骨架化算法,以及特征提取和特征比对.该算法能够快速准确地抽取MCM基板电路中的主要特征,并且在有效放大短...
  • 作者: 张明铭
    发表期刊: 2006年2期
    页码:  39-42
    摘要: 近年来随着彩屏手机、PDA等移动终端的普及,液晶电视等平板显示器件的推广,液晶显示器已经逐渐取代CRT成为主流的显示器件.LCD Driver IC作为液晶显示器的重要部件,需求量也日益增大...
  • 作者: 袁池
    发表期刊: 2006年2期
    页码:  43-48
    摘要: 分析了存储器芯片自动测试设备的一般构架、存储器件MCP最终测试的需求和特点,研究了最终测试成本的影响因素,提出了存储器件最终测试解决方案应达到的标准,进而分析了VERSATEST应用于MCP...
  • 作者: 吴懿平 陈明辉
    发表期刊: 2006年2期
    页码:  49-52
    摘要: 介绍了电子制造、半导体制造、电子封装等的基本概念.广义的电子制造是指电子产品从市场分析、经营决策、工程设计、加工装配、质量控制、销售运输直至售后服务等活动的全过程,而狭义的电子制造则指的是电...
  • 作者: 何田
    发表期刊: 2006年2期
    页码:  53-57
    摘要: 以半导体生产设备为代表的现代高速精密机电设备中普遍采用主-从式计算机控制的模式,从机以嵌入方式包含在设备中而不便于其上所运行的运动控制算法实时状态的监测;运动控制算法本身复杂度的不断增加进一...

电子工业专用设备基本信息

刊名 电子工业专用设备 主编 赵璋
曾用名
主办单位 中国电子科技集团公司第四十五研究所  主管单位 中国电子科技集团
出版周期 双月刊 语种
chi
ISSN 1004-4507 CN 62-1077/TN
邮编 100029 电子邮箱 faith_epe@sohu.net
电话 010-64443110,64655251 网址 www.chinaepe.com.cn
地址 北京市朝阳区安贞里三区26号浙江大厦913室

电子工业专用设备评价信息

期刊荣誉
1. 2001~2002年度标准化规范化部级奖
2. 获2003~2004年度出版质量部级奖

电子工业专用设备统计分析

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