电子工业专用设备期刊
出版文献量(篇)
3731
总下载数(次)
31
总被引数(次)
10002

电子工业专用设备

Equipment for Electronic Products Manufacturing

影响因子 0.2109
本刊为国内外公开发行的技术性刊物,以报道半导体设备及半导体产业链技术与材料为主要方向,以“公布新的科技成就,传播科技信息,交流学术思想,促进科技成果的商品化、产业化,为建设社会主义精神文明与物质文明服务”为本刊的为刊方针。发挥传媒优势,全方位服务于微电子行业的广大科技工作者。
主办单位:
中国电子科技集团公司第四十五研究所
期刊荣誉:
2001~2002年度标准化规范化部级奖  获2003~2004年度出版质量部级奖 
ISSN:
1004-4507
CN:
62-1077/TN
出版周期:
双月刊
邮编:
100029
地址:
北京市朝阳区安贞里三区26号浙江大厦913室
出版文献量(篇)
3731
总下载数(次)
31
总被引数(次)
10002
文章浏览
目录
  • 作者: 刘国敬 王家鹏 贺东葛
    发表期刊: 2018年3期
    页码:  1-3
    摘要: 介绍了碳化硅材料的特性及优势,分析了未来碳化硅材料在半导体行业的主导地位及市场前景.
  • 作者: 上海新创达智能科技有限公司
    发表期刊: 2018年3期
    页码:  4-6
    摘要: 阐述了AMHS技术在集成电路制造产业的发展历程,并结合AMHS系统的优势和国内外技术现状,通过分析国内集成电路产业的发展趋势,认为开发适用于国内集成电路生产厂家的AMHS系统是未来AMHS系...
  • 作者: 云娜 庞炳远
    发表期刊: 2018年3期
    页码:  7-9,31
    摘要: 针对区熔法高阻硅单晶的生长过程描述和基本特征,以晶体生长基本原理为基础,从生长机理与模型建立热传导模型(晶体内的热量传输模型和固液界面处的热量传输模型)、热对流模型(晶体表面与氩气之间的对流...
  • 作者: 泛林集团
    发表期刊: 2018年3期
    页码:  10-12
    摘要:
  • 作者: 吴学宾 赵雷
    发表期刊: 2018年3期
    页码:  13-19
    摘要: DW技术(Diamond Wire,金刚线切割技术)是一种新兴的、高效率的硅片生产技术,通过对传统砂浆切割技术与新兴DW切割技术的切削微观原理的对比分析以及两种切割技术下硅片的表面质量差异、...
  • 作者: 于丽君 崔国瑞 白杨丰
    发表期刊: 2018年3期
    页码:  20-23
    摘要: 在金刚线多晶切片过程,控制好金刚线的质量对整个切片质量有着至关重要的作用.通过对金刚线表面金刚砂分布均匀性的研究,分析了在相同加工工艺技术条件下,金刚石表面金刚砂的分布均匀性对金刚线多晶切片...
  • 作者: 张乾 张永昌 谭立杰 邓胜强
    发表期刊: 2018年3期
    页码:  24-27,63
    摘要: 针对激光划片机的自动化生产需求,通过图像识别与模板匹配策略,在底部对准的激光划片机上实现GPP晶圆的自动旋转对位,并通过建立网格节点的方式计算划片轨迹,实现晶圆正面图形的自动识别与划片.
  • 作者: 梁津 王家鹏 衣忠波 赵岁花
    发表期刊: 2018年3期
    页码:  28-31
    摘要: 介绍了碳化硅(SiC)材料的结构和特性,分析了SiC材料的应用领域及发展趋势,研究了其单晶衬底精密加工技术,该研究对提高SiC单晶衬底加工表面质量具有指导意义.
  • 作者: 冯玢 王添依
    发表期刊: 2018年3期
    页码:  32-34
    摘要: 研究了激光的功率、标刻速度、频率等对打标深度的影响,通过多组实验,观察不同参数下,打标效果的变化.确定了激光功率为50%,标刻速度为100 m m/s,频率为20 kH z,脉冲宽度为10μ...
  • 作者: 岳腾 张丛 李红赛
    发表期刊: 2018年3期
    页码:  35-39
    摘要: 展示了一种应用于低能大束流离子注入机的消除能量污染的减速偏转模块的设计及仿真计算结果,重点介绍了设计思路和对一些关键因素相关的仿真计算结果的分析.仿真计算结果表明所设计的减速偏转模块具有足够...
  • 作者: 刘文峰 周小荣 明亮 段金刚 邱昊 陈国红
    发表期刊: 2018年3期
    页码:  40-43
    摘要: 从改善砂浆切割性能出发,研究了砂浆物理性质、剖方后小方棒尺寸及线痕比例随着切割刀数的变化趋势,分析了相关原因,最终得到多晶硅锭剖方的工艺方法,即:砂浆更换方式采用整缸更换,并且切割工艺采用变...
  • 作者: 张媛 张泽义 田志峰
    发表期刊: 2018年3期
    页码:  44-46,72
    摘要: 针对平行缝焊机手动对位存在的缺陷,经过工艺试实验验证,自动对位很好地解决了这些缺陷.对位机构的设计提高了产品的生产效率和质量.
  • 作者: 周金成 张易勒 李习周 郭昌宏
    发表期刊: 2018年3期
    页码:  47-51
    摘要: 论述了集成电路(IC)中静电的产生机理及其放电形式,分析了静电对集成电路器件的危害,在此基础上阐述了集成电路生产中预防静电的相关措施.
  • 作者: 侯一雪 张媛 张泽义 曹国斌 杨凯骏 郝耀武
    发表期刊: 2018年3期
    页码:  52-54
    摘要: 为了解决LD芯片贴片机顶针机构的顶针容易断裂以及调试难度较大的问题,通过对原顶针机构工作原理的分析,阐述了原顶针结构存在问题的原因;为了进一步提高设备的稳定性,对原机构进行了改进设计.通过客...
  • 作者: 刘正龙
    发表期刊: 2018年3期
    页码:  55-58
    摘要: 介绍了贴片式LED支架包脚成型技术;分析了LED支架包脚成型的设计要点,指出了冲切成形工艺下可能产生的缺陷,并提出了解决方法.通过多次弯角的方式实现支架的包脚成型,可以有效减小料片与成形零件...
  • 作者: 张易勒 李习周 李琦 郭昌宏
    发表期刊: 2018年3期
    页码:  59-63
    摘要: 在集成电路生产测试中,往往会采取多工位测试方法,该方法会显著提高测试的效率,提高产出量;但是,多工位测试方法存在一定的生产隐患,有时会带来严重的生产事故,导致大量的产品返工.为解决这一问题,...
  • 作者: 王倩
    发表期刊: 2018年3期
    页码:  64-66
    摘要: 论述了用四探针法测量半导体片电阻率的基本原理及优缺点.在常规四探针法的缺点是:所使用的探针头的探针间距应相等,对探针的游移率要求严格;材料的几何尺寸与探针间距相比应满足半无穷大.当上述条件不...
  • 作者: 刘又清 季惠明 曹勇全 王栋 谢贵久 龚杰洪
    发表期刊: 2018年3期
    页码:  67-72
    摘要: 针对传统在线油色谱系统复杂、价格昂贵、体积大的缺点,基于薄膜氢气传感器技术设计了一套成本低、体积小、可靠性高的油浸式变压器单氢健康监测系统,该系统主要由薄膜氢气传感器、处理电路、数据传输三部...
  • 作者: 刘建功 张鹏
    发表期刊: 2018年3期
    页码:  73-75
    摘要: 通过结合工业液晶行业中邦定机对电气比例阀的应用,结合邦定机的压力控制系统对电气比例阀的特性展开对稳态性、精准性以及时效性的分析
  • 作者: 上海新创达智能科技有限公司
    发表期刊: 2018年3期
    页码:  76-78
    摘要: 天车系统作为一种稳定可靠的物料搬运系统,广泛应用于集成电路产业的自动物料搬运系统.介绍了天车系统的关键技术,包括吊运车技术、吊运车轨道技术、供电技术、精密运动控制技术和污染颗粒的防护技术.
  • 作者:
    发表期刊: 2018年3期
    页码:  79-85
    摘要:

电子工业专用设备基本信息

刊名 电子工业专用设备 主编 赵璋
曾用名
主办单位 中国电子科技集团公司第四十五研究所  主管单位 中国电子科技集团
出版周期 双月刊 语种
chi
ISSN 1004-4507 CN 62-1077/TN
邮编 100029 电子邮箱 faith_epe@sohu.net
电话 010-64443110,64655251 网址 www.chinaepe.com.cn
地址 北京市朝阳区安贞里三区26号浙江大厦913室

电子工业专用设备评价信息

期刊荣誉
1. 2001~2002年度标准化规范化部级奖
2. 获2003~2004年度出版质量部级奖

电子工业专用设备统计分析

被引趋势
(/次)
(/年)
学科分布
研究主题
推荐期刊