电子工业专用设备期刊
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电子工业专用设备

Equipment for Electronic Products Manufacturing

影响因子 0.2109
本刊为国内外公开发行的技术性刊物,以报道半导体设备及半导体产业链技术与材料为主要方向,以“公布新的科技成就,传播科技信息,交流学术思想,促进科技成果的商品化、产业化,为建设社会主义精神文明与物质文明服务”为本刊的为刊方针。发挥传媒优势,全方位服务于微电子行业的广大科技工作者。
主办单位:
中国电子科技集团公司第四十五研究所
期刊荣誉:
2001~2002年度标准化规范化部级奖  获2003~2004年度出版质量部级奖 
ISSN:
1004-4507
CN:
62-1077/TN
出版周期:
双月刊
邮编:
100029
地址:
北京市朝阳区安贞里三区26号浙江大厦913室
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  • 作者: 李少鹏
    发表期刊: 2019年1期
    页码:  1-7,16
    摘要: 电动汽车是靠电能驱动的最理想的"清洁车辆", 是解决能源环境问题的有效途径.作为电动汽车驱动系统的核心IGBT模块, 对封装材料的可靠性提出了越来越高的要求.从目前国际最新的实用化IGBT模...
  • 作者: 吴志明 张威 张宝锋 赵志然
    发表期刊: 2019年1期
    页码:  8-10,62
    摘要: 对国内近十年来硼扩散技术的进展进行了介绍, 引用不同科研人员的研究成果说明以下结论:采用旋涂SiO2纳米浆料作为硼源, 能够改善太阳能电池片扩散区域方块电阻的均匀性, 粒径越小, 均匀性越好...
  • 作者: 王志 秦苏琼 谭伟
    发表期刊: 2019年1期
    页码:  11-16
    摘要: 介绍了电子胶粘剂及其涂覆工艺, 其所涉及的工艺有大量式点胶 (Mass Dispensing) , 接触式点胶 (Contact Dispensing) , 非接触式点胶, 总结了各种分配技...
  • 作者: 王兴亮
    发表期刊: 2019年1期
    页码:  17-23
    摘要: 对游离磨料多线切割 (Free abrasive multi-wire sawing, FAMS) 的砂浆中颗粒的微观机理进行了简单分析.通过分析多线切割基本切割机理, 进行微压痕实验, 归...
  • 作者: 于丽君 李亚明 白杨丰
    发表期刊: 2019年1期
    页码:  24-28
    摘要: 过程能力指数Cpk是衡量制造业生产过程产品满足标准要求程度的量值, Cpk值越大, 则意味着工序生产能力越稳定, 产品质量也越高;同时考虑到成本及技术能力, 通常将Cpk值控制在一个可以接受...
  • 作者: 吴燕林 周庆亚 李嘉浪
    发表期刊: 2019年1期
    页码:  29-32
    摘要: 根据Generic Model for Communications and Control of Manufacturing Equipment (简称GEM) 通讯协议的要求, 分析了子...
  • 作者: 唐代飞 林禾 毛自若 蔡颖岚 邓学文
    发表期刊: 2019年1期
    页码:  33-36,59
    摘要: 半导体工艺中的光刻是芯片制造中最关键的工艺.DFB半导体激光器的腔体结构与普通半导体激光器的腔体结构不同, 需要制作周期光栅, 光栅周期为亚微米数量级;鉴于亚微米光栅曝光系统在半导体激光器的...
  • 作者: 张文雅 赵英伟
    发表期刊: 2019年1期
    页码:  37-40
    摘要: 以某型投影光刻机为例介绍了调平调焦系统的基本原理和主要构成, 详细叙述了调平调焦系统的运行步骤, 并结合多年的投影光刻机维修经验总结了调平调焦系统的常见故障, 给出了处理故障的方法和步骤.
  • 作者: 王世援
    发表期刊: 2019年1期
    页码:  41-44
    摘要: 从常用MEMS器件用硅片对厚度测试要求的角度出发, 分析了厚度测试设备-晶片厚度测试系统在测试MEMS用超薄高精度硅片时引发测量不确定度的主要来源, 并对各来源引起的不确定度分量大小进行了计...
  • 作者: 于晓华 付纯鹤 王军帅 高荣荣
    发表期刊: 2019年1期
    页码:  45-48
    摘要: 为了准确地检测芯片的表面缺陷, 提出了一种基于反向传播神经网络 (BPNN) 的检测算法.首先, 中值滤波方法被用于滤除芯片表面图像的噪声;然后, 提取芯片表面缺陷的Hu不变矩特征和局部二值...
  • 作者: 李杰 莫贵涛 袁家军 陈秋
    发表期刊: 2019年1期
    页码:  49-53
    摘要: 对于微细导线, 早期采用手工或自动机械方式进行剥线切线, 随着产品对剥线质量、效率要求越来越高, 自动激光剥线设备开始出现, 并表现出了极大的优势.人们开展了不同结构、控制方式的激光剥线设备...
  • 作者: 孙小孟 崔晨 李勇滔 林亭廷 赵丽莉
    发表期刊: 2019年1期
    页码:  54-59
    摘要: 系统地研究了E类功率放大电路, 通过选择适当的器件, 设计出高效简单的放大电路;初步设计了PID的控制策略, 并且构建了基于E类功率放大电路的射频功率发生器.经实验测试, 本射频功率发生器具...
  • 作者: 唐强 李欢 郝禄
    发表期刊: 2019年1期
    页码:  60-62
    摘要: 通过有限元模拟的方法对线轮轴进行静力分析和模态分析, 求出线轮轴在工作状态下的挠度以及其振动模态.通过静力学分析表明, 线轮轴在工作状态下的挠度很小, 几乎可以忽略不计.由模态分析得知, 线...
  • 作者: 任晓庆 张武学
    发表期刊: 2019年1期
    页码:  63-65
    摘要: 介绍了链轮零件的分步设计方法, 从链轮外形到齿形进行了理论计算, 并进行了实体设计比较, 确定了合适的齿槽形状.通过实际应用, 证明这种设计方法高效实用.
  • 作者: 吴劭桓 郭世毅
    发表期刊: 2019年1期
    页码:  66-71
    摘要: 对图像中的二次曲线进行自动提取有着广泛的应用价值, 可用于相机参数的标定、机器人定位、增强现实等众多领域.目前已有的方法通常是对单个的二次曲线进行提取, 并且在单个二次曲线提取中, 当二次曲...
  • 作者:
    发表期刊: 2019年1期
    页码:  72-73
    摘要:
  • 作者:
    发表期刊: 2019年1期
    页码:  73
    摘要:
  • 作者:
    发表期刊: 2019年1期
    页码:  74-75
    摘要:
  • 作者:
    发表期刊: 2019年1期
    页码:  75
    摘要:
  • 作者: 彭华东
    发表期刊: 2019年2期
    页码:  1-3,23
    摘要: 介绍了声表面波器件金属膜剥离工艺及自动化设备,包括设备用途、功能和结构组成,能完成厚度在0.20~1.00 mm具有基准边的100~150 mm标准圆片金属膜剥离、冲洗和甩干工艺.与传统的槽...
  • 作者: 孙小孟 崔晨 张庆钊 李勇滔 林亭廷 武燕婷 赵丽莉
    发表期刊: 2019年2期
    页码:  4-7
    摘要: 射频功率发生器是半导体工艺设备的核心部件,功率检测装置的性能决定了射频功率发生器的功率输出特性.系统地研究了射频功率检测装置,通过选择适当的器件,设计出简单精确的射频功率检测电路:经试验分析...
  • 作者: 程秀全 谭立杰 陈国兴 高爱梅
    发表期刊: 2019年2期
    页码:  8-12
    摘要: 在微孔精密加工工艺中,常规的电机运动轨迹已经很难满足产品的工艺标准.通过运动控制系统搭建,采用直线缓冲与圆弧过渡两种主要方式,改变激光加工轨迹,以减少电机速度较慢时烧蚀严重所造成的孔径不规则...
  • 作者: 陈苏伟
    发表期刊: 2019年2期
    页码:  13-15,36
    摘要: 根据晶圆电镀原理,建立简化的晶圆双面电镀槽模型,分析了改变阴阳极间距对电流密度的影响,探索了各种镀层厚度不同图形双面电镀的可行性.
  • 作者: 张永昌 石艺楠 谭立杰 赵立华 黄卫国
    发表期刊: 2019年2期
    页码:  16-19
    摘要: 随着直线电机理论和产业的逐渐成熟,其在半导体设备中的应用也越来越广泛;两种典型结构直线电机,即U型电机、平板电机,具有结构简单、高响应特性和高精度等特点,从设计选型、抗干扰和精度控制等几方面...
  • 作者: 吴学宾 符瑶
    发表期刊: 2019年2期
    页码:  20-23
    摘要: 分析了金刚石多线切割机的排线原理,介绍了一种基于电子凸轮技术的多线切割机排线方法,该方法已在设备上进行了验证.探讨了该设计方法的通用性,并为其他线切割设备借鉴.
  • 作者: 李星辰 王婷婷 高爱梅
    发表期刊: 2019年2期
    页码:  24-27
    摘要: 基于远心镜头、显微镜头等成像镜头的光学系统在半导体装备上应用非常广泛.光学系统设计中需要规定对一定成像范围内的物点,以要求孔径角成像,这些对成像光束起到约束作用的孔径称为光阑;依据作用不同,...
  • 作者: 李健志 杨彬 禹庆荣 苏卫中 谢利华 陈特超
    发表期刊: 2019年2期
    页码:  28-30,54
    摘要: 根据太阳能PERC电池关键工艺设备——平板式PECVD设备的整体要求,介绍了其中工艺腔的加热系统设计,对加热功率进行了计算,控制方式进行了分析,通过优化设计,降低了设备的能耗,提高了温度均匀...
  • 作者: 杨彬 禹庆荣 苏卫中 陈国钦
    发表期刊: 2019年2期
    页码:  31-36
    摘要: 设计了大功率微波模式转换器,并采用两种工艺加工,分别利用低功率冷测和大功率热测实验对比了其性能.结果 表明,导电氧化的加工件性能要明显优于老化件,其低功率冷测传输效率可达99.9%,返回损耗...
  • 作者: 彭程 赵忠
    发表期刊: 2019年2期
    页码:  37-39
    摘要: 简述了晶体硅光伏模组的原理,讲述了光伏模组功率输出的影响因素,提出了提高功率输出效果的技术途径,并介绍了验证效果.
  • 作者: 周洪彪 沈征 王俊 王小浩 王栋
    发表期刊: 2019年2期
    页码:  40-44
    摘要: 利用IGBT器件作为DC-DC变换器的功率模块,设计了一套电压电流等级为330 V、30A的DC-DC变换器装置.为了提高其可靠性,采用由两台H桥变换器并联的双机热备份设计方案,并对变换器故...

电子工业专用设备基本信息

刊名 电子工业专用设备 主编 赵璋
曾用名
主办单位 中国电子科技集团公司第四十五研究所  主管单位 中国电子科技集团
出版周期 双月刊 语种
chi
ISSN 1004-4507 CN 62-1077/TN
邮编 100029 电子邮箱 faith_epe@sohu.net
电话 010-64443110,64655251 网址 www.chinaepe.com.cn
地址 北京市朝阳区安贞里三区26号浙江大厦913室

电子工业专用设备评价信息

期刊荣誉
1. 2001~2002年度标准化规范化部级奖
2. 获2003~2004年度出版质量部级奖

电子工业专用设备统计分析

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