论文降重
免费查重- 钛学术文献服务平台 \
- 学术期刊 \
- 工业技术期刊 \
- 无线电电子学与电信技术期刊 \
- 电子工业专用设备期刊 >
电子工业专用设备2020年第1期出版文献
出版文献量（篇）
3731
总下载数（次）
31
总被引数（次）
10002
电子工业专用设备
分享
投稿
Equipment for Electronic Products Manufacturing
影响因子
0.2109
本刊为国内外公开发行的技术性刊物，以报道半导体设备及半导体产业链技术与材料为主要方向，以“公布新的科技成就，传播科技信息，交流学术思想，促进科技成果的商品化、产业化，为建设社会主义精神文明与物质文明服务”为本刊的为刊方针。发挥传媒优势，全方位服务于微电子行业的广大科技工作者。
主办单位：
中国电子科技集团公司第四十五研究所
期刊荣誉：
2001~2002年度标准化规范化部级奖
获2003~2004年度出版质量部级奖
ISSN：
1004-4507
CN：
62-1077/TN
出版周期：
双月刊
邮编：
100029
地址：
出版文献量（篇）
3731
总下载数（次）
31
总被引数（次）
10002
分享
文章浏览
目录
-
刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2020年1期页码:摘要： 论述了传统的集成电路装片工艺面临的挑战以及现有用DAF膜(Die Attachment Film,装片胶膜)技术进行装片的局限性;介绍了一种先进的、通过喷雾结合旋转的涂胶模式制备晶圆背面涂覆...
-
刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2020年1期页码:摘要： 相对于传统金线键合,铜线键合设备焊接过程工艺窗口更小,对焊接的一致性要求更高.通过对铜线键合工艺窗口的影响因素进行分析,探索了设备焊接过程的影响和提升办法,为铜线键合技术的推广应用提供技术指...
-
刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2020年1期页码:摘要： 针对扫描投影光刻机电气安全互锁与智能诊断需求,设计了一套数据采集与监视控制系统.该系统以安全处理盒作为主要电气硬件结构,以倍福嵌入式工业PC作为主站,PLC I/O模块配置从站,采用GENE...
-
刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2020年1期页码:摘要： 针对陶瓷器件电路刻蚀加工中多种规格器件的定位要求,设计了相应的安装夹具,一次可实现多个器件装夹,采用合理的定位算法,达到快速准确定位的效果.
-
刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2020年1期页码:摘要： 针对半导体封装设备精确识别晶圆对位标记的需求,研究了两类基于机器视觉的模板匹配算法,包括基于区域相关和基于特征的匹配算法.实验对这两类模板匹配算法进行了比较和分析,并得出了各类算法的使用条件...
-
刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2020年1期页码:摘要： 干燥的目的是去除晶片表面的液体,保证晶片的洁净度.干燥技术作为湿法清洗最后的步骤,最终决定了晶片清洗的表面质量.分别探讨了离心甩千干燥单元、IR干燥、Marangoni干燥等技术,同时介绍了...
-
7. 碳化硅晶圆划片技术研究刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2020年1期页码:摘要： 碳化硅(SiC)材料具有禁带宽度大、导热性好、载流子迁移率高等优点,是第三代半导体材料的代表之一.因其莫氏硬度大,致使划片难度增大,严重制约了碳化硅器件的规模化发展;通过分析碳化硅的材料特性...
-
8. 超薄晶圆减薄工艺研究刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2020年1期页码:摘要： 主要研究了超薄晶圆减薄工艺和设备.从设备结构、晶圆传输、晶圆加工工艺、晶圆测量等方面,介绍了先进封装用减薄机如何解决超薄晶圆易碎问题,以及设备的国内外现状.
-
刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2020年1期页码:摘要： 介绍了抛光工艺及其在硅材料中的应用,重点分析了直径300 mm、厚度50μm±2.5μm的晶圆在抛光加工过程中抛光液的浓度、抛光压力和抛光垫等因素对晶圆表面粗糙度及表面平整性的影响,通过试验...
-
刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2020年1期页码:摘要： 研究了不同切割工艺对多线切割200 mm(8英寸)硅单晶几何参数的影响,并通过碱腐蚀对200 mm硅切片损伤层进行了分析.结果 表明:切割过程中硅片的温度变化及切割线横向振动对几何参数影响较...
-
11. ICP工艺原理与故障分析刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2020年1期页码:摘要： 介绍了ICP工艺的特点、工艺原理,以及设备的基本结构.根据多年的设备维护经验,分析了ICP设备的常见故障及其起因,提出了处理措施;分析总结了影响ICP工艺质量的主要因素.
-
12. 温水等静压机的原理与故障分析刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2020年1期页码:摘要： 介绍了温水等静压机的基本原理和结构.根据多年维修经验,分析总结了等静压机常见故障及相应的处理方法.
-
刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2020年1期页码:摘要： 真空镀膜设备是半导体工艺重要工艺设备,蒸发源是镀膜设备的核心部件,以e型电子枪蒸发源为例,介绍了该电子枪的定义、结构、工作原理、使用方法、以及日常维护.从维修的角度,重点总结了e型电子枪的各...
-
刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2020年1期页码:摘要： 介绍了实时工业以太网的发展历程;对EtherCAT和TwinCAT在硬件拓扑及底层逻辑应用方面进行了分析研究;在硬件上根据接口特性设计了拓扑结构,在软件方面设计了底层逻辑程序模块,并根据底层...
-
15. 信息动态刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2020年1期页码:摘要：
电子工业专用设备基本信息
| 刊名 | 电子工业专用设备 | 主编 | 赵璋 |
| 曾用名 | |||
| 主办单位 | 中国电子科技集团公司第四十五研究所 | 主管单位 | 中国电子科技集团 |
| 出版周期 | 双月刊 | 语种 |
chi
|
| ISSN | 1004-4507 | CN | 62-1077/TN |
| 邮编 | 100029 | 电子邮箱 | faith＿epe@sohu.net |
| 电话 | 010-64443110，64655251 | 网址 | www.chinaepe.com.cn |
| 地址 | 北京市朝阳区安贞里三区26号浙江大厦913室 |
电子工业专用设备评价信息
期刊荣誉
| 1. | 2001~2002年度标准化规范化部级奖 |
| 2. | 获2003~2004年度出版质量部级奖 |
电子工业专用设备统计分析
被引趋势
(/次)
(/年)
学科分布
研究主题
推荐期刊
- 期刊分类
- 最新期刊
- 期刊推荐
- 相关期刊
一般工业技术
交通运输
军事科技
冶金工业
动力工程
化学工业
原子能技术
大学学报
建筑科学
无线电电子学与电信技术
机械与仪表工业
水利工程
环境科学与安全科学
电工技术
石油与天然气工业
矿业工程
自动化技术与计算机技术
航空航天
轻工业与手工业
金属学与金属工艺
安徽电子信息职业技术学院学报
半导体光电
半导体光子学与技术(英文版)
半导体技术
半导体学报(英文版)
北京电子
电信建设
北京通信之窗
吉林大学学报(信息科学版)
重庆邮电大学学报(自然科学版)
湖南邮电职业技术学院学报
磁性材料及器件
电波科学学报
电声技术
电讯技术
电子学报
电子学报(英文)
电力电子
电力系统通信
电路与系统学报
电气电子教学学报
电视技术
影视制作
电信工程技术与标准化
电信交换
