纳米技术与精密工程(英文)期刊
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纳米技术与精密工程(英文)

Nanotechnology and Precision Engineering
曾用名: 纳米技术与精密工程

CSTPCD

影响因子 0.4753
本刊是纳米技术与精密工程领域专业性学术期刊,主要刊登纳米技术、微机电系统、精密加工和精密测量方面用中、英文撰写的具有创造性的科学研究论文、研究报告以及重要学术问题讨论和综述等.办刊宗旨在于反映国内外该领域及相关领域的重要科学研究成果,促进学术交流和科学技术发展.读者对象为国内外理工科高等院校师生、科研人员和广大工程技术工作者.欢迎国内外作者踊跃投稿. 本刊为美国《工程索引》EI和中国科技论... 更多
主办单位:
天津大学 中国微米纳米技术学会
ISSN:
1672-6030
CN:
12-1458/03
出版周期:
季刊
邮编:
300072
地址:
天津市南开区卫津路92号
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  • 作者: AOKI J KIYONO S OCHI T SUGIMOTO T 高伟
    发表期刊: 2005年1期
    页码:  1-7
    摘要: 提出了一种高精度、大行程的原子力显微镜探针结构,可用于测量大面积的微观结构表面.该探针结构包括一个硅悬臂梁和一个环形的预压型电(PZT)执行器,执行器沿Z轴的行程为70μm,其内部集成了一个...
  • 作者: 曾攀
    发表期刊: 2005年1期
    页码:  8-12
    摘要: 碳纳米管中的结合键为C-C共价键,它有3个特征参数:键能、键长和键角.首先给出C-C键合关系的坐标描述,然后基于对势函数定义了相应的势能泛函,并建立了相应的计算模型,系统分析了不同手性矢量参...
  • 作者: 于晋龙 井文才 周革 张以谟 张红霞 李岩
    发表期刊: 2005年1期
    页码:  13-18
    摘要: 研究了相移干涉轮廓仪干涉图处理的相位提取算法和相位去包裹算法.提出区分像素点的四步相位提取算法,该算法有效地消除了环境噪声,降低了相移误差的影响,同时具有广泛的实用性.为了验证该算法,首先检...
  • 作者: 冶银平 周惠娣 陈建敏
    发表期刊: 2005年1期
    页码:  19-21
    摘要: 采用溶胶-凝胶技术制备了纳米TiO2粉体,并对其热性能、相结构、颗粒大小和分布进行了表征.结果表明,TiO2干凝胶粉经300℃煅烧后已有锐钛矿相出现,经550℃煅烧后有金红石相出现,完全相转...
  • 作者: 前田龙太郎 单学传 池原毅
    发表期刊: 2005年1期
    页码:  22-28
    摘要: 利用自感应耦合等离子(ICP)蚀刻机进行硅深层反应离子刻蚀,得到了几微米宽的狭槽,其轮廓通常为正锥形,即蚀刻槽的宽度随着蚀刻深度的增大而减小.然而,对一个宽槽来说,由于等离子区内边界层的变形...
  • 作者: 张勇 李小海 李志勇 王振龙 赵万生
    发表期刊: 2005年1期
    页码:  29-35
    摘要: 电解加工在加工过程中因难以控制加工形状而很少应用在微细加工领域.为了对微细电解加工可行性进行探索,设计了多功能微细加工平台.利用多功能微细加工平台可为微细电解加工在线制作电极,采用低加工电压...
  • 作者: 连峰
    发表期刊: 2005年1期
    页码:  36-39
    摘要: 为探讨在金属喷射造型中气流对熔融球直径和形状误差的影响,利用光学显微镜测量每次放电形成的熔融球各个方向的直径,分析熔融球的形状误差.结果显示气流使熔融球直径和形状误差减小,金线的突出长度越短...
  • 作者: 李艳秋 黄国胜
    发表期刊: 2005年1期
    页码:  40-45
    摘要: 研究了交替型相移掩模及离轴照明对65 nm分辨率ArF浸没式光刻的影响.在3/4环形照明和3/4四极照明方式下,分别选用传统掩模和交替型相移掩模,研究65 nm线宽的密集线条、半密集线条、孤...
  • 作者:
    发表期刊: 2005年1期
    页码:  46-52
    摘要: 给出了3种多波长测量技术的应用实例.采用多波长二极管激光器干涉仪测量表面轮廓.3个二极管激光器分别发射780 nm、823 nm和825 nm 3种近红外光波,可以得到2个近似15μm和29...
  • 作者: 刘波 开桂云 杨亦飞 牛文成 董孝义
    发表期刊: 2005年1期
    页码:  53-55
    摘要: 首先对光纤布喇格光栅传感的基本原理进行了分析,并给出了光纤光栅位移传感的基本公式.在此基础上,设计制作了一种光纤光栅位移传感器.采用光纤光栅作为传感元件,利用多波长计进行波长检测,对位移量进...
  • 作者: 廖素引 费业泰 金施群
    发表期刊: 2005年1期
    页码:  56-59
    摘要: 为研究基于单幅二维图像不标定欧氏重构三维场景的理论,有效提取伪随机编码图像特征角点,介绍了一种角检测方法,该角检测方法是基于轮廓线曲率的测试.实验数据和重构结果验证了该检测方法的适用性和有效...
  • 作者: 周红秀 张振宇 李鸿琦
    发表期刊: 2005年1期
    页码:  60-63
    摘要: 根据扫描隧道显微镜(STM)的特点,阐述了将小波变换应用于扫描隧道显微镜的降噪、增强及融合的方法.对于STM扫描获得的石墨原子图像,选用不同的小波基函数和分解层数进行分解和重构,结果表明,利...
  • 作者: 吴波 崔宇明 张燕君 钟娟娟 陈才和
    发表期刊: 2005年1期
    页码:  64-67
    摘要: 提出了一种新型的光电集成加速度地震检波器,这是一种全新的微光机电系统(MOEMS).为实现硅基底上的光波导M-Z干涉仪的相位调制,采用了声光相位调制的方法.该相位调制器利用叉指换能器(IDT...
  • 作者: 杨元华 程凯 陈时锦
    发表期刊: 2005年1期
    页码:  68-73
    摘要: 介绍了微结构光学元件在很多领域的应用,比如军事、医药生物研究及其他民用行业等.这种微结构光学元件为光学设计者与制造者提供了更多的自由度.讨论了微结构光学元件的多种制造方法,包括光刻技术、LI...
  • 作者: 朱睿 肖松山 范世福
    发表期刊: 2005年1期
    页码:  74-79
    摘要: 对近年来用于微流控芯片的光学检测(包括荧光、吸收光度和电化学发光检测等)、电化学检测(电导检测、电位检测及安培检测)的发展和其他一些检测方法的研究成果进行了综述.随着微加工技术的不断发展,高...
  • 作者:
    发表期刊: 2005年2期
    页码:  81-91
    摘要: 当器件尺寸变得很小时,相对于弹力,惯性力就显得不重要.从理论上详细研究了两个小的接触运动体可以视为刚体时的极限情况下所出现的动力学现象.得出了一种新的基于运动学原理的运动接触机理,它有着与传...
  • 作者:
    发表期刊: 2005年2期
    页码:  91,121,145
    摘要:
  • 作者: 史铁林 来五星 白金鹏 谢勇君
    发表期刊: 2005年2期
    页码:  92-96
    摘要: 动态测试对MEMS的设计、制造和可靠性具有非常重要的意义.提出了快速高精度的综合亚像素定位匹配算法,应用于MEMS平面运动测量.该综合算法把标准化协方差相关法、亚像素步长相关法、曲面拟合法、...
  • 作者: 孟永钢 张向军 温诗铸
    发表期刊: 2005年2期
    页码:  97-100
    摘要: 微观黏滑和黏附失效是微机电系统中的常见现象,该现象主要是由于受包括静电力、范德华力及毛细力等各种表面力所起的主导作用而产生的.采用黏着接触理论和运动分析方法,得到了微观摩擦试验中黏滑出现的无...
  • 作者: 张国雄 李醒飞 王頔
    发表期刊: 2005年2期
    页码:  101-105
    摘要: 为了探讨一种用于神经信号测量的无源多通道硅微电极的设计方法,基于电板的结构和制造工艺,提出了硅微电极用于测量神经信号的电路模型.从大脑皮层及脑膜的结构、互连线的干扰噪声和探针的机械特性3个方...
  • 作者: 宗杨 崔梦 窦雁巍 胡明
    发表期刊: 2005年2期
    页码:  106-111
    摘要: 主要介绍了多孔硅的制备方法(化学法、电化学法及原电池法等)、多孔硅导热系数测试的几种常用手段(温度传感器法、显微拉曼散射法及光声法等)、导热系数的理论模型及影响因素.此外,采用不同方法制备了...
  • 作者: 刘连庆 席宁 李文荣 焦念东 王越超 田孝军 董再励
    发表期刊: 2005年2期
    页码:  112-116
    摘要: 当利用扫描隧道显微镜(SPM)作为一种纳米操作工具时,由于其缺乏实时的传感器信息反馈,而大大阻碍了它的广泛应用.利用超媒体人机交互接口可以解决这个问题.在纳米操作过程中,超媒体接口不但可以为...
  • 作者: 徐学锋 闫晶 雒建斌
    发表期刊: 2005年2期
    页码:  117-121
    摘要: 为实现对固液二相流中纳米颗粒运动的实时观测,选用荧光显微镜、CCD摄像机及注射泵等设计了一套纳米颗粒固液二相流观测设备.采用此设备对纳米颗粒尺寸为55 nm左右的小管道固液二相流动实现了实时...
  • 作者: 姚素英 张鑫慧 肖夏
    发表期刊: 2005年2期
    页码:  122-125
    摘要: 超声表面波方法表征薄膜材料机械特性的过程是将理论计算的色散曲线与实验所得的色散曲线进行拟合,获得所测薄膜样品的杨氏模量值.因此,实验信号的有效性是获得准确结果的最重要因素.双端压电传感探头的...
  • 作者: 戴一帆 李圣怡 陈善勇
    发表期刊: 2005年2期
    页码:  126-136
    摘要: 自由曲面光学器件尽管有其突出的优点,但还远不能进入到现代光学系统的主流中去,问题之一就是精密检测.自由曲面光学器件的检测对于其精密加工不可或缺,并且两者通常具有不可分割的联系.文中阐述了与不...
  • 作者: 周泽兵 岳金福 彭益武 王碧波
    发表期刊: 2005年2期
    页码:  137-141
    摘要: 设计并研制了一种结构小巧的纳米级精密定位平台.该系统采用正交簧片式设计,有效地抑制了正交运动的耦合,同时应用一个二维电容微位移传感器作为位移标准来对定位平台实行反馈控制,有效地克服了压电陶瓷...
  • 作者: 吴祖斌 张志刚 曹士英 朱晓农 李建萍 王勇刚 王清月 赵友博
    发表期刊: 2005年2期
    页码:  142-145
    摘要: 半导体可饱和吸收镜(SESAM)在飞秒脉冲激光器锁模中,是一种非常有潜力的锁模启动器.其损伤阈值的高低与连续锁模阈值比较相近,极易损伤,因而研究在飞秒激光作用下SESAM的损伤阈值很有必要....
  • 作者: RAMESH K 刘向东 刘玉婵 房丰洲 黄含
    发表期刊: 2005年2期
    页码:  146-150
    摘要: 提出了利用金刚石涂层的金属线对光纤定位器件上微小孔抛光的新方法.为验证该方法,设计并制造了一个微型样机,该机器采用了振动系统以提高加工效率.为优化加工参数进行了系统的工艺研究.实验结果表明,...
  • 作者: 张朝阳 明平美 朱荻 王明环
    发表期刊: 2005年2期
    页码:  151-155
    摘要: 开展了微细电化学加工技术的试验研究工作,内容包括微细电铸和微细电解加工.讨论了微细电化学加工的工艺特点和主要技术步骤.针对若干典型微结构,提出了相应的微细电化学加工方法和技术方案,采取了纳秒...
  • 作者: 刘娟 宋光德 栗大超
    发表期刊: 2005年2期
    页码:  156-159
    摘要: 与传统的压电传感器相比,电容式微加工超声传感器(cMUT)性能优良,有着广泛的应用前景.为此,介绍了cMUT的基本结构和工作原理,并提出了一种新型结构.利用有限元分析软件ANSYS对这种结构...

纳米技术与精密工程(英文)基本信息

刊名 纳米技术与精密工程(英文) 主编 胡小唐
曾用名 纳米技术与精密工程
主办单位 天津大学 中国微米纳米技术学会  主管单位 中华人民共和国教育部
出版周期 季刊 语种
eng
ISSN 1672-6030 CN 12-1458/03
邮编 300072 电子邮箱 namijishu@tju.edu.cn
电话 022-27892181 网址 http://nmjsyjmgc.tjujournals.com/
地址 天津市南开区卫津路92号

纳米技术与精密工程(英文)评价信息

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