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真空
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本杂志是中国真空界主要杂志之一。自1994年真空杂志转换经营机制以来，由我国真空企业界实力雄厚的厂家与杂志社联办成立董事会，并由真空学术界著名学者组成编委会。社会效益与经济效益与日俱增，在国内真空界享有盛誉。自1989年公开发行以来，被美国、英国、德国、日本、意大利、韩国以及港澳地区越来越多的海外学者所关注。
主办单位：
中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所
期刊荣誉：
中国期刊网、光盘国家工程中心用刊
工程技术类核心期刊
ISSN：
1002-0322
CN：
21-1174/TB
出版周期：
双月刊
邮编：
110042
地址：
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刊名： 真空发表期刊： 2006年3期页码:摘要： 近年来,各种工业生产规模的玻璃基片大平面磁控溅射生产线发展迅速,令人关注.本文针对这一领域,就主要膜系开发、设备结构、工艺、存在的问题及最新发展做了简单的归纳和介绍.
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刊名： 真空发表期刊： 2006年3期页码:摘要： 用多弧离子镀的方法在ZL201铝合金表面制备了Ti-Cr-N涂层,并在Ti-Cr-N涂层上制备了一层脂类薄膜.用扫描电镜和X射线衍射仪对涂层表面形貌和物相进行了分析.结果表明: Ti-Cr-...
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刊名： 真空发表期刊： 2006年3期页码:摘要： 最近我们在实验中发现:射频等离子体系统中的高电位可以引发微弧放电,这种微弧放电现象不是发生在射频系统的输入极上而是发生在接地极上.这种相对于电极呈非对称分布的微弧放电现象不是我们期待的结果,...
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4. 信息刊名： 真空发表期刊： 2006年3期页码:摘要：
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刊名： 真空发表期刊： 2006年3期页码:摘要： 类金刚石 (DLC)膜是含有sp3杂化态的亚稳态非晶碳膜,是具有极高的硬度、化学稳定性和光学透明性的半导体材料.这篇综述介绍了用等离子体化学气相沉积DLC膜的沉积方法、所制备薄膜的特性及应用...
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6. 新书预告刊名： 真空发表期刊： 2006年3期页码:摘要：
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刊名： 真空发表期刊： 2006年3期页码:摘要： 用真空蒸镀及自然氧化方法在玻璃基底上制备纳米量级的4、5、6、7对层的Cr/Cr2O3多层膜.采用称重法测定薄膜的厚度;在常温和低温下使用三点法测定多层膜的电特性;用扫描电镜(SEM)观察薄...
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刊名： 真空发表期刊： 2006年3期页码:摘要： 研究了MEVVA离子注入机在Fe/Si系薄膜制备过程中产生的颗粒污染问题以及颗粒污染对薄膜质量带来的影响.选取不同制备条件下的Fe/Si薄膜,采用电子探针、透射电镜等分析手段对颗粒污染给Fe...
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刊名： 真空发表期刊： 2006年3期页码:摘要： 利用磁控溅射方法在玻璃基片上制备了FeCoSiB薄膜,溅射过程中施加一横向静磁场,并在真空中退火.实验结果表明,FeCoSiB的应力阻抗效应与制备工艺(工作气压、溅射磁场)和退火条件(退火温...
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刊名： 真空发表期刊： 2006年3期页码:摘要： 介绍了真空感应CVI/CVD系统结构、功能.针对真空感应系统干扰强的特点,分析了对该系统进行控制的要点.根据操作工艺设计了基于分布式、模块化控制解决方案.实现了被控量的在线实时测控.开发了真...
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刊名： 真空发表期刊： 2006年3期页码:摘要： 对氧化铝碳热还原氯化法制低价氯化铝的反应进行了热力学研究,经过热力学计算得到:在常压下,该反应发生的起点温度为2121.21 K,而当系统压力下降时,该反应的起点温度也会下降;经过计算得到了...
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刊名： 真空发表期刊： 2006年3期页码:摘要： 真空垂熔烧结炉是粉末冶金法制取是金属钽、铌、钨、钼等难熔金属的主要设备,本文介绍了1000 kW真空垂熔烧结炉的设计和特点.
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13. 真空半连续热压炉控制系统的设计刊名： 真空发表期刊： 2006年3期页码:摘要： 介绍了真空半连续热压炉控制系统的设计方法,详细地论述了控制系统的硬件配置、软件设计.该控制系统实现如下功能:生产工艺设备运行状态工况显示及控制;现场实时监测数据显示及数字显示等.该方案具有硬...
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刊名： 真空发表期刊： 2006年3期页码:摘要： 介绍了2200℃片式钽电容器真空烧结炉的基本结构、工作原理及烧结试验数据,并对该设备在片式钽电容器制造行业的作用进行了阐述.
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15. 四极质谱计在真空检漏中的应用刊名： 真空发表期刊： 2006年3期页码:摘要： 介绍了使用四极质谱计进行真空检漏的原理和方法,分别对超高和极高真空系统做了检漏实验研究,并取到了满意的结果.四极质谱计检漏有检漏仪检漏无法比拟的优点,适合在真空工程中推广应用.
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刊名： 真空发表期刊： 2006年3期页码:摘要： 总结了放气研究在工业领域的各种应用,分析了真空环境下非金属材料放气的三种模型:Schram模型、扩散模型和基于马列夫理论吸附扩散模型.对国内外非金属材料放气的研究状况进行了论述.
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刊名： 真空发表期刊： 2006年3期页码:摘要： 分别对测试系统本底及经两种方法处理的Mn-Zn铁氧体样品进行了测试,分析其主要的出气成分,计算出处理后的样品材料出气率.通过测试与分析,得出了对置于超高真空环境内的Mn-Zn铁氧体材料表面的...
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刊名： 真空发表期刊： 2006年3期页码:摘要： 首先简单介绍了用于离子束辅助沉积的端部霍尔离子源的工作原理,然后分析了其性能对磁场的要求,据此介绍了磁路组件的设计.最后,采用ANSYS大型有限元分析软件对一个条形的端部霍尔离子源的磁场进行...
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19. 中子管充氚排气排风系统设计与使用刊名： 真空发表期刊： 2006年3期页码:摘要： 根据中子管生产的需要,设计一套充氚排气排风系统,经过长时间的使用效果相当好,提高了中子管生产效率和成品质量.
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20. 第十四讲:真空工程用焊接技术刊名： 真空发表期刊： 2006年3期页码:摘要：
真空基本信息
| 刊名 | 真空 | 主编 | 陆国柱 |
| 曾用名 | 真空技术报导 | ||
| 主办单位 | 中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所 | 主管单位 | 机械工业部期刊管理办公室 中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所 |
| 出版周期 | 双月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1002-0322 | CN | 21-1174/TB |
| 邮编 | 110042 | 电子邮箱 | zkzk@chinajournal.net.cn |
| 电话 | 024-24134406 | 网址 | www.vacjour.cm |
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