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真空
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本杂志是中国真空界主要杂志之一。自1994年真空杂志转换经营机制以来，由我国真空企业界实力雄厚的厂家与杂志社联办成立董事会，并由真空学术界著名学者组成编委会。社会效益与经济效益与日俱增，在国内真空界享有盛誉。自1989年公开发行以来，被美国、英国、德国、日本、意大利、韩国以及港澳地区越来越多的海外学者所关注。
主办单位：
中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所
期刊荣誉：
中国期刊网、光盘国家工程中心用刊
工程技术类核心期刊
ISSN：
1002-0322
CN：
21-1174/TB
出版周期：
双月刊
邮编：
110042
地址：
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刊名： 真空发表期刊： 2012年2期页码:摘要： 为计算航天器上两个密封舱内存在压差时相互进行压力平衡所需的平衡时间,通过压力平衡过 程的分析,建立了近似的数学模型,进行了分析计算,并通过容积缩比方法对计算结果进行了试验验证,得到了满意的...
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32. ITO靶材高温真空热压炉的研制刊名： 真空发表期刊： 2012年2期页码:摘要： 本文介绍了稀有金属行业ITO靶材高温真空热压炉的设备组成、主要技术参数和结构特点,并指出了该设备在稀有金属行业ITO靶材制造行业推广应用的前景.
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刊名： 真空发表期刊： 2012年2期页码:摘要： 本文从制造高性能钕铁硼永磁体的工艺和设备两个方面概述了真空速凝技术(SC)的发展历程以及目前的主流技术,提出了速凝工艺与先进的氢爆(HD)、气流磨(JM)、低氧操作工艺( LOP)相结合的理...
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刊名： 真空发表期刊： 2012年2期页码:摘要： 本文详细地研究了基片温度对磁控溅射沉积二氧化硅的影响,随着基片温度的增加,溅射沉积速率下降明显,薄膜的折射率也出现上升趋势,薄膜也由低温时的疏松粗糙发展为致密光滑.250℃时的溅射沉积速率仅...
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刊名： 真空发表期刊： 2012年2期页码:摘要： 利用四靶闭合场非平衡磁控溅射(CFUBMS)技术在石英玻璃和抛光不锈钢片两种基底上制备含有Cr、Ti和Al元素组合的各种氮化物涂层.采用摩擦磨损仪测试涂层摩擦系数,应用金相显微镜对各个涂层磨...
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刊名： 真空发表期刊： 2012年2期页码:摘要： 本文介绍了一种高真空低温环境下用于薄膜光电性能研究的小型液氮低温恒温器,它能提供稳定低温并与外界隔绝的真空环境,可广泛用于薄膜材料的光学、磁热、超导和电学性能研究领域.系统通过液氮杜瓦和基片...
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刊名： 真空发表期刊： 2012年2期页码:摘要： 采用真空磁控溅射沉积SS-AlN金属陶瓷太阳选择性吸收涂层.涂层光学功能层的制备,先采用铜靶溅射Cu红外反射层；再采用不锈钢(SS)和铝两金属靶在Ar和N2的混合气体中同时溅射沉积SS-Al...
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刊名： 真空发表期刊： 2012年2期页码:摘要： 介绍了ZnO透明导电薄膜的基本特性,制备技术,其中磁控溅射技术和MOCVD技术是制备太阳能电池用ZnO透明导电薄膜的主流生长技术,论述了这两种制备技术的原理、技术特点、制备绒面ZnO薄膜的研...
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刊名： 真空发表期刊： 2012年2期页码:摘要： 以Au薄膜为催化剂、ZnO与碳混合粉末为反应源,采用碳热还原法在单晶Si衬底上制备了ZnO纳米线阵列.通过扫描电子显微镜( SEM)、X射线衍射仪(XRD)、荧光分光光度计对样品的表征,研究...
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40. 溅射深度剖析的定量分析及其应用刊名： 真空发表期刊： 2012年2期页码:摘要： 本文对溅射深度剖析定量分析中广泛应用的MRI模型及其应用作了一个综述.MRI模型考虑了在深度剖析实验中,引起真实元素成分深度分布失真的三个主要因素:溅射导致的原子间混合(M),样品表面/界面...
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刊名： 真空发表期刊： 2012年2期页码:摘要： 本工作将阴极真空电弧沉积法和磁控溅射离子镀法结合形成复合镀膜工艺,即用电弧蒸发Ti靶的同时,用磁控溅射Al靶,并通入反应气体N2,以在高速钢基底上镀制AlTiN薄膜,考察了复合镀膜方法获得的...
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42. 二氧化钛薄膜亲水性恢复研究刊名： 真空发表期刊： 2012年2期页码:摘要： 新制备的锐钛矿TiO2薄膜具有超亲水性,在使用和储存过程中超亲水性会降低.本文探究恢复亲水性的方法,采用热处理、等离子体辐照、紫外光照射等技术恢复锐钛矿TiO2薄膜亲水性,三种方法均能够有效...
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刊名： 真空发表期刊： 2012年2期页码:摘要： 本文在平行平板脉冲调制容性耦合射频放电装置中,采用光学发射谱线诊断的方法,研究了低气压(30 Pa～65 Pa)不同磁场强度条件下氩气(Ar)放电时产生等离子体过程中电子激发温度以及Ar离子...
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刊名： 真空发表期刊： 2012年2期页码:摘要： 环氧树脂浇注干式变压器由于其免维护、高可靠性、无污染、难燃防火及寿命终结后可回收利用等特征而受到重视和推广,在工矿企业、电站、机场、地铁、海洋钻井平台等领域获得广泛应用.由于生产厂坐落的位置...
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刊名： 真空发表期刊： 2012年2期页码:摘要： 以等离子体放电理论为基础,依据电子密度连续性方程,电子通量方程,电子能密度连续性方程,以及电子能通量表达式,分别运用有限元法和有限时域差分法,针对氢气直流放电过程的21种碰撞反应类型进行模拟...
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刊名： 真空发表期刊： 2012年2期页码:摘要： 本文通过改变小功率红光LED的正向驱动电流,对其光谱,色品坐标,红色比等色度学参数测试,并对半高宽,主波长,色纯度进行了计算.实验表明,这些色度学参数与电流有着密切关系.红光LED随着正向电...
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47. 第十七讲 薄膜与表面技术基础刊名： 真空发表期刊： 2012年2期页码:摘要：
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48. 信息动态刊名： 真空发表期刊： 2012年2期页码:摘要：
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刊名： 真空发表期刊： 2012年3期页码:摘要： 本文简述了前苏联20世纪40年代以来,对于蒸汽的凝结和真空冷冻干燥技术及设备的研究与应用情况,还详细介绍了几种升华干燥设备及其计算方法和实例.
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50. 真空冷冻干燥机节能途径浅析刊名： 真空发表期刊： 2012年3期页码:摘要： 真空冷冻干燥机在运行时产生较高的能耗.本文在概述真空冷冻干燥技术的基本原理和干燥过程的基础上,分析了影响真空冷冻干燥速率的主要因素,提出有效降低真空冷冻干燥机能耗的途径为:改变物料的形态和浓...
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刊名： 真空发表期刊： 2012年3期页码:摘要： 为实现电冰箱整机、空调器及蒸发器和冷凝器等部件在流水线上焊接工序后进行快速检漏和氦气的循环利用,研发了真空检漏回收装置监控系统.该系统采用上下位机控制模式,上位机采用工控机+组态软件,下位机...
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刊名： 真空发表期刊： 2012年3期页码:摘要： 航天器推进系统的单机产品的漏率测试往往采用氦质谱真空室检漏法,研究该方法测量结果的不确定度评定具有重要的工程应用价值.本文首先对真空室检漏法的原理进行了分析探讨,并从不确定的基础理论出发系统...
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刊名： 真空发表期刊： 2012年3期页码:摘要： 大型真空系统检漏往往耗时长、效率低.本文分析了氦气通过漏孔进入氦质谱检漏仪形成检漏信号的规律,并据此建立检漏信号数学模型,确定漏孔的最终稳态泄漏信号.基于上述分析,提出漏孔漏率的一种快速预测...
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54. 真空压力浸漆的自动化研究刊名： 真空发表期刊： 2012年3期页码:摘要： 通过对现有真空浸漆工艺的研究,发现浸漆的过程中有一部分可以按程式化进行.其操作工艺相对固定,这一部分浸漆过程可以实现程序的自动运行.为了实现这一目的,更加方便而有效率的完成生产任务,通过运用...
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刊名： 真空发表期刊： 2012年3期页码:摘要： 本文提出卷对卷纳米压印脱模的两种形式并分析了脱模过程中的阻力.选取垂直于光栅形微结构的截面作为研究对象,忽略脱模过程中旋转角度的影响,将模板上微结构当作竖直平移脱离胶层的方式来处理,利用AN...
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56. 真空热处理炉现场检漏的理论分析法刊名： 真空发表期刊： 2012年3期页码:摘要： 本文以我公司首台进口的油淬气冷多用真空热处理炉的现场检漏分析为例,介绍了在没有专用检漏仪器的情况下,以理论分析判断为主的检漏方法,以及对真空热处理炉现场检漏的相关理论和注意事项进行了论述.
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刊名： 真空发表期刊： 2012年3期页码:摘要： 0Cr15Ni5Cu2Ti不锈钢基材表面多弧离子镀方法制备TiN硬质涂层.工件表面镀膜处理技术的关键是膜/基结合强度.分析预热温度和工作偏压对膜层的膜/基结合强度、膜层结构及表面硬度的影响,...
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58. PECVD反应室的气流场模拟分析刊名： 真空发表期刊： 2012年3期页码:摘要： 本文利用计算流体力学(CFD)方法对某等离子增强化学气相沉积(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition,PECVD)反应室流场进行了数值模拟研究,通...
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刊名： 真空发表期刊： 2012年3期页码:摘要： 利用电感耦合等离子体辅助中频直流脉冲磁控溅射技术在200℃成功制备出多晶硅薄膜.详细介绍了等离子体源辅助磁控溅射技术制备多晶硅的工艺过程,并对辅助等离子体源放电功率对硅薄膜结晶度的影响进行了...
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刊名： 真空发表期刊： 2012年3期页码:摘要： 采用溶胶-凝胶法,通过调整氯化锂和氯化铜的摩尔比在不同基片上制备了不同Li-Cu共掺杂浓度的ZnO薄膜.利用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、透射电子显微镜、紫外可见光分光光度计和伏安特性测试等...
真空基本信息
| 刊名 | 真空 | 主编 | 陆国柱 |
| 曾用名 | 真空技术报导 | ||
| 主办单位 | 中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所 | 主管单位 | 机械工业部期刊管理办公室 中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所 |
| 出版周期 | 双月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1002-0322 | CN | 21-1174/TB |
| 邮编 | 110042 | 电子邮箱 | zkzk@chinajournal.net.cn |
| 电话 | 024-24134406 | 网址 | www.vacjour.cm |
| 地址 | 辽宁省沈阳市万柳塘路2号 |
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