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真空科学与技术学报期刊
出版文献量（篇）
4084
总下载数（次）
3
总被引数（次）
19905

真空科学与技术学报

Chinese Journal of Vacuum Science and Technology
曾用名： 真空科学与技术

CACSCDJSTCSTPCD

影响因子 0.3586
本刊是全国中文核心期刊，长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录，已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅，有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿，已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。
主办单位：
中国真空学会
ISSN：
1672-7126
CN：
11-5177/TB
出版周期：
月刊
邮编：
100022
地址：
北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室
出版文献量（篇）
4084
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3
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19905
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  • 1. 用FEM/FIM研究单壁碳纳米管束
    作者： 侯士敏 刘惟敏 张兆祥 张耿民 薛增泉 赵兴钰 金新喜 顾镇南
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2003年1期
    页码:  1-4
    摘要： 利用范氏力将单壁碳纳米管样品组装到钨针尖上,用FEM/FIM对同一碳纳米管样品用热处理方法和场脱附方法进行了研究.场离子显微镜是具有原子级分辨能力的尖端表面分析工具,由场离子像推测这次组装的...
  • 2. 直流反应磁控溅射生长p型ZnO薄膜及其特性的研究
    作者： 叶志镇 吕建国 张银珠 汪雷 赵炳辉 陈汉鸿
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2003年1期
    页码:  5-8
    摘要： 本文报道了利用直流反应磁控技术生长p型ZnO薄膜.ZnO薄膜在不同的衬底温度沉积于α-Al2O3(0001)衬底上,生长气氛为NH3-O2中.利用X射线衍射、Hall试验和透射光谱对其性能进...
  • 3. 透明导电ZnO∶Al(ZAO)纳米薄膜的性能分析
    作者： 孙超 徐成海 曹洪涛 裴志亮 闻立时 陆峰
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2003年1期
    页码:  9-11,15
    摘要： 用直流反应磁控溅射法制备ZAO纳米薄膜,对这种薄膜进行了XRD分析,并对其光、电性能作了详细的研究.结果表明:ZAO薄膜的结构为标准的ZnO纤锌矿相,没有Al2O3相出现;其最低电阻率为4....
  • 4. 基体温度对磁控溅射沉积ZAO薄膜性能的影响
    作者： 付恩刚 吴敏生 庄大明 张弓 方玲 杨伟方 梁展鸿
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2003年1期
    页码:  12-15
    摘要： 利用中频交流磁控溅射方法,采用氧化锌铝陶瓷靶材[w(ZnO)=98%、w(Al2O3)=2%]制备了ZAO(ZnO∶Al)薄膜,观察了基体温度对ZAO薄膜的晶体结构、电学和光学性能的影响,采...
  • 5. 磁过滤阴极真空弧沉积装置研究中的等效电路方法
    作者： 张荟星 王广甫
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2003年1期
    页码:  16-18
    摘要： 提出了模拟磁过滤阴极真空弧放电等离子体沉积装置阴极弧放电过程的等效电路,并用此电路定性研究了各参数对弧放电的影响,结果同实验符合的很好.
  • 6. 彩显平面荫罩振动的实验研究
    作者： 胡章芳
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2003年1期
    页码:  19-21,32
    摘要： 纯平阴极射线管中荫罩的振动会影响图像的色纯度,本文提出了一种新的测试荫罩振动方法,介绍了彩显荫罩振动测试系统.该系统采用光电转换和计算机信息处理技术,对荫罩的振动进行了非接触式实时测量,给出...
  • 7. 脉冲激光沉积(PLD)薄膜技术的研究现状与展望
    作者： 宋全胜 戢明 曾晓雁
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2003年1期
    页码:  22-26
    摘要： 综述了脉冲激光沉积(PLD)薄膜技术的研究现状,并按照研究方向将整个研究领域分为三个部分:PLD法沉积薄膜的机理,PLD的工艺研究以及PLD法沉积的主要薄膜材料,分别进行了阐述,对相关的研究...
  • 8. 碳纳米管的薄膜场发射
    作者： 侯士敏 刘惟敏 张兆祥 张耿民 薛增泉 赵兴钰
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2003年1期
    页码:  27-32
    摘要： 薄膜场发射特性是碳纳米管(CNT)研究的重要课题之一,它直接关系到CNT场发射阴极在将来的实际应用.本文就CNT的场发射做一综合评述,主要涉及性能指标、结构模型、图形化方法和工艺等.
  • 9. 用Bessel-Box型能量分析器的离子规和四极质谱计的性能
    作者：
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2003年1期
    页码:  33-39
    摘要：
  • 10. Si基n型GaN的欧姆接触研究
    作者： 何乐年 叶志镇 李嘉炜 陈忠景
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2003年1期
    页码:  40-42
    摘要： GaN材料在光电子器件领域的广泛应用前景使得金属与其欧姆接触的研究成为必然.本文对Si基n型GaN上的Al单层及Ti/Al双层电极进行了研究.通过对不同退火条件下的I-U特性曲线,X射线衍射...
  • 11. 单壁碳纳米管的制备及生长特性研究
    作者： 侯士敏 刘惟敏 申自勇 薛增泉 陈瑞松
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2003年1期
    页码:  43-46
    摘要： 采用Fe/MgO作为催化剂,催化裂解CH4制备了较纯的单壁碳纳米管,用TEM和Raman对碳纳米管进行了表征,对不同生长温度下制备的碳纳米管Raman径向呼吸振动峰(RBM)进行了分析,研究...
  • 12. 氮原子离子束源的设计研制与应用
    作者： 应萱同 沈宏 王培元 王培南 秦宗益
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2003年1期
    页码:  47-49
    摘要： 本文介绍了一种采用直流辉光放电的氮原子离子束源的设计,对放电参数进行了分析,根据离子束流的质谱测量可知,氮离子束中N+与N+2之比可高达5∶1,大大优于其他的一些离子束源.对这个离子束源的应...
  • 13. 减小磁滞损耗的偏转磁芯设计
    作者： 尹涵春 张晓兵
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2003年1期
    页码:  50-52
    摘要： 本文通过对偏转磁芯用的铁氧体材料的磁滞损耗特性的分析,提出了通过改变偏转磁芯外表面形状以减小磁滞损耗的方法.优化计算结果表明,对于Philips 17″ CMT的3C2材料5 mm壁厚的磁芯...
  • 14. 光点与会聚测试系统的设备需求与配置
    作者： Gerard van Veldhoven 李晓华 杨晓伟 王琦龙 陈福朝
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2003年1期
    页码:  53-56
    摘要： 光点测试和会聚测试是验证CPT电子枪偏转线圈性能的重要手段之一.本文提出基于合理的测试方法、有效适当的测试设备,建立最佳的测试系统.针对光点测试和会聚测试系统中的各种设备,介绍它们的应用原理...
  • 15. 端部霍尔离子源工作特性及等离子体特性研究
    作者： 朱昌 杭凌侠 潘永强 陈智利
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2003年1期
    页码:  57-60
    摘要： 研制了一种用于离子束辅助沉积光学薄膜的端部霍尔等离子体离子源,论述了该源的工作 原理以及伏安特性.着重研究了用五栅网探针测试该源所发射的离子能量的原理和方法,并对测量结果进行了分析、比较.对...
  • 16. 五氧化二钽薄膜的制备及其I-U特性
    作者： 侯亚奇 刘家俊 吴敏生 庄大明 张弓 王超
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2003年1期
    页码:  61-63,67
    摘要： 本文利用脉冲直流反应磁控溅射的方法制备了五氧化二钽(Ta2O5)薄膜,俄歇电子能谱仪测试了薄膜的成分含量,椭偏仪测试了Ta2O5薄膜的厚度和折射率,XRD分析了薄膜的晶体结构,并且分别研究了...
  • 17. CVD金刚石膜在微波管中的应用
    作者： 刘盛纲 谢扩军
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2003年1期
    页码:  64-67
    摘要： 金刚石由于其低的介电常数、高的导热率和优良的机械性能,将其应用于微波管改善其散热性能取代传统有毒的氧化铍陶瓷,是微波管螺旋线优良的支撑材料.本文首次采用等离子体化学气相沉积法在行波管夹持杆上...
  • 18. 阴极真空弧沉积中靶室第二阳极作用对系统性能的影响
    作者： 张荟星 王广甫
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2003年1期
    页码:  68-70
    摘要： 介绍了阴极真空弧沉积中,弧源在阴极接地和阳极接地两种不同工作状态下的工作特性.发现阳极接地时,因沉积靶室入口法兰的第二阳极作用,聚焦磁场对弧源放电稳定性的影响不如阴极接地时明显.因此可以加较...
  • 19. 魔芋冻干粉保健食品研究
    作者： 周永安
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2003年1期
    页码:  71-72
    摘要： 本文介绍一种魔芋冻干保健食品技术.先将魔芋清洗处理后,切块,在-30 ℃以下快速冻结,用粉碎机进行加工成微细粉状(50 μm以下),用1%～3%石灰水溶液浸泡处理,然后再次冻结至-30 ℃以...

真空科学与技术学报基本信息

刊名 真空科学与技术学报 主编 吴锦雷
曾用名 真空科学与技术
主办单位 中国真空学会  主管单位 中国科学技术协会
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1672-7126 CN 11-5177/TB
邮编 100022 电子邮箱 vst@chinesevacuum.com
电话 010-58206280 网址
地址 北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室

真空科学与技术学报统计分析

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