论文降重
免费查重- 钛学术文献服务平台 \
- 学术期刊 \
- 工业技术期刊 \
- 一般工业技术期刊 \
- 真空科学与技术学报期刊 >
真空科学与技术学报2005年出版文献
出版文献量（篇）
4084
总下载数（次）
3
总被引数（次）
19905
真空科学与技术学报
分享
投稿
本刊是全国中文核心期刊，长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录，已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅，有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿，已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。
主办单位：
中国真空学会
ISSN：
1672-7126
CN：
11-5177/TB
出版周期：
月刊
邮编：
100022
地址：
出版文献量（篇）
4084
总下载数（次）
3
总被引数（次）
19905
分享
文章浏览
目录
-
刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2005年2期页码:摘要： 建立了多级串联密封系统的数学模型,通过理论分析和数值计算,揭示了多级串联密封结构正压泄漏的漏率、漏量与泄漏时间关系的一般规律.给出了三级密封系统泄漏的仿真计算实例.通过三级串联密封泄漏实验验...
-
32. 非平衡磁控溅射类金刚石薄膜的特性刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2005年2期页码:摘要： 非平衡磁控溅射(UBMS)结合了普通磁控溅射(MS)和离子束辅助沉积的优势,易于实现离子镀,近年来得到了广泛的应用.采用该技术制备的类金刚石薄膜(DLC)具有许多独特的性质.本文研究了非平衡...
-
刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2005年2期页码:摘要： 在双等离子体实验装置中,采用单边放电的方式在源区产生等离子体,通过扩散和电子碰撞电离可以在实验区产生密度分布不均匀的等离子体.利用静电探针测量了实验区等离子体的状态参数及其空间分布,结果显示...
-
刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2005年2期页码:摘要： 用直流磁控溅射法成功制备了高价态差掺钼氧化铟(IMO)透明导电薄膜.研究了氧分压,基板温度以及溅射电流对IMO薄膜结构和性能的影响.获得的IMO薄膜的最低电阻率为3.65×10-4 Ω·cm...
-
刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2005年2期页码:摘要： 为了解并优化在微波ECR等离子体增强化学气相沉积制备类金刚石膜工艺研究中的等离子体特性,利用朗缪尔探针法系统地测量了等离子体密度(Ne)、电子温度(Te)随工作气压(p)变化的关系.DLC膜...
-
刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2005年2期页码:摘要： 用直流磁控溅射法在室温Si基片上制备了溅射时间分别为5 min和10 min,氩气压强分别为0.7、3、6 Pa的6种Al膜,用光学相移法和X射线衍射法对Al膜的应力和微结构随着压强的变化进...
-
刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2005年2期页码:摘要： 随着中性束注入器研究的深入开展,我们在成功地设计了一台真空室用的400 000 L/s低温泵的基础上又对漂移管道用的20 000 L/s的低温泵进行研制.本文在详细分析漂移管道特点及其对低温...
-
刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2005年3期页码:摘要： 弄清化学气相沉积金刚石膜的机理对优化工艺参数具有指导意义.在前期工作中,作者辨析了氢原子、甲基和乙炔在金刚石膜沉积中的作用.本文建立了两个微观指标,即甲基浓度和氢原子与乙炔浓度的比值,分别对...
-
刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2005年3期页码:摘要： 本文报道了利用脉冲激光沉积技术在热氧化p型硅衬底上生长ZnO外延薄膜.引入高阻非晶SiO2缓冲层,有效地降低了检测过程中单晶衬底对ZnO薄膜的电学性能影响.利用XRD,SEM,Hall和PL...
-
刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2005年3期页码:摘要： 针对单个碳纳米管的场发射特性参数与几何结构之间的复杂非线性关系,构造了一种多输入多输出的小波神经网络结构来预测单个碳纳米管的场发射增强因子和开启电压,并采用BP算法和自适应的学习速率加快网络...
-
刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2005年3期页码:摘要： 本文探讨采用小电极与大面积基片相对移动的方法来制造大面积薄膜的可行性,提出了采用小电极等离子体源在大面积基片上移动工作的新方法,可用于沉积(或刻蚀)均匀大面积薄膜或根据需求设计的大面积上非均...
-
刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2005年3期页码:摘要： 本文采用锆钛酸铅、钛酸铋钠和钛酸钡三种不同铁电阴极材料,进行了电子发射试验,测定了电子发射电流密度,并对其在电子发射试验时的波形进行了分析讨论.结果认为:锆钛酸铅材料的电子发射电流密度略优于...
-
刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2005年3期页码:摘要： 本文用磁控溅射法制备了一系列不同厚度Fe层的FePt/Fe多层膜,经过热处理后成功地制备出具有fct结构的FePt有序相和exchange-spring型永磁体.研究了不同热处理条件下多种膜...
-
刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2005年3期页码:摘要： 利用溶液化学反应法制备了准一维微/纳米结构的金属有机配合物Ag(TCNQ);X射线衍射(XRD)表明所制备的Ag(TCNQ)为晶态结构;扫描电子显微镜(SEM)的观察表明Ag(TCNQ)为准...
-
45. STM"接触"式测量中的整流效应刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2005年3期页码:摘要： 在利用扫描隧道显微镜(STM)对Ag-TCNQ薄膜进行"接触"式的I-V特性测量中,发现由于接触势垒引起的整流效应.这为有机分子在电子学的应用方面,提供一种新的思路,从而设计新的有机电子器件...
-
刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2005年3期页码:摘要： a-Si1-xCx:H的禁带宽度能随着薄膜中碳和氢的含量的变化而发生改变.深入了解薄膜中的键合情况及其对薄膜光学带隙的影响尤为重要.本文采用PECVD法,以硅烷(SiH4)和甲烷(CH4)为...
-
刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2005年3期页码:摘要： 采用脉冲激光分子束外延(PLMBE)方法,通过优化的工艺参数,在SrTiO3(100)单晶基片上外延结构为(8/8)的BaTiO3/SrTiO3超晶格薄膜.综合利用反射式高能电子衍射系统(R...
-
刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2005年3期页码:摘要： 在大气压、较低温度下合成碳纳米管(CNTs),对于大规模的工业生产具有重要的意义.本文介绍了一种介质阻挡放电等离子体增强化学气相沉积(DBD-PECVD)的方法,并利用该方法制备碳纳米管.实...
-
49. 溅射沉积技术的发展及其现状刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2005年3期页码:摘要： 论述了溅射沉积薄膜技术的发展历程及其目前的研究应用状况.二极溅射应用于薄膜制备,揭开了溅射沉积技术的序幕,磁控溅射促使溅射沉积技术进入实质的工业化应用,并通过控制磁控靶磁场的分布方式和增加磁...
-
刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2005年3期页码:摘要： 在氧压20Pa,衬底温度600℃,靶材与衬底距离4cm的最优化条件下,利用脉冲激光沉积(PLD)技术首次在无诱导电压和任何缓冲层的情况下,在单晶Si(111)衬底上生长具有优良结晶品质和高c...
-
刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2005年3期页码:摘要： 随着微机电系统(MEMS)技术的发展,促进了半导体硅压阻式压力传感器低成本和集成化,使其得到了广泛应用;在压阻式压力传感器无应力封装工艺中,硅芯片/PYREX7740玻璃环静电键合起着重要的...
-
52. 恒压式气体微流量计的性能测试刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2005年3期页码:摘要： 介绍了恒压式气体微流量计的组成及性能实验.实验结果表明,气体流量的测量范围为(2.96×10-9～4.76×10-4)Pa·m3/s,不确定度小于4%.标准漏孔的校准结果与德国PTB校准结果...
-
刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2005年3期页码:摘要： 利用中频磁控溅射方法,溅射Ga2O3含量为6.7wt%的氧化锌镓陶瓷靶材,在低温下(约40℃)制备了ZGO薄膜.考察了溅射功率密度对ZGO薄膜的晶体结构、电学和光学性能的影响.结果表明:溅射...
-
54. 环境敏感水凝胶的环境扫描电镜观察刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2005年3期页码:摘要： 采用环境扫描电镜(ESEM),观察环境敏感水凝胶在自然状态下微观结构.对环境参数进行了优化,观察到温敏水凝胶的真实形貌和多孔结构.改变ESEM成像条件组合包括压力、温度和相对湿度等环境条件,...
-
55. 化学气相沉积制备钼钨合金刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2005年3期页码:摘要： 以MoF6、WF6以及H2为原料,用化学气相共沉积的方法,成功地在铜基片表面沉积出钼钨合金.实验分析表明:沉积层结构为单相均匀固溶体.在钼含量高时沉积层显微组织呈细晶层状结构,在钼含量较低时...
-
刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2005年3期页码:摘要： 采用磁控双靶反应共溅射技术制备出了(Ti0.5Al0.5)N耐磨硬质薄膜,其显微硬度高于35GPa,摩擦系数小于0.18.实验结果表明当N2流量较低时,(Ti,Al)N薄膜结构和性能随N2流...
-
刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2005年3期页码:摘要： 本文从实验和数值分析两个方面比较了对称型和非对称型两种磁性液体旋转密封结构的耐压能力大小.分析了导致这种结果的原因,指出非对称结构是更为有效的一种密封结构.
-
刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2005年4期页码:摘要： 本文的目的是确定接地电极转动对介质阻挡放电的影响.采用不对称电极结构来降低外加的工作电压.实验的结果表明:接地电极静止或转动介质阻挡放电将呈现不同的放电形式和电流波形.文中对其原因进行了讨论...
-
刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2005年4期页码:摘要： 利用脉冲激光沉积技术在硅衬底上生长高c轴取向LiNbO3薄膜.研究了衬底温度对薄膜质量的影响,发现衬底温度在600 ℃时获得了具有优异结晶质量的高c轴取向LiNbO3薄膜.采用扫描电镜和透射...
-
刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2005年4期页码:摘要： 在金属基底上,以铁为催化剂,硅做过镀层,乙烯为源气体,通过普通的化学气相沉积方法生长出垂直基底排列的碳纳米管(CNT)阵列.扫描电子显微镜和透射电镜观察表明,生长的CNT具有阵列形貌和多缺陷...
真空科学与技术学报基本信息
| 刊名 | 真空科学与技术学报 | 主编 | 吴锦雷 |
| 曾用名 | 真空科学与技术 | ||
| 主办单位 | 中国真空学会 | 主管单位 | 中国科学技术协会 |
| 出版周期 | 月刊 | 语种 |
chi
|
| ISSN | 1672-7126 | CN | 11-5177/TB |
| 邮编 | 100022 | 电子邮箱 | vst@chinesevacuum.com |
| 电话 | 010-58206280 | 网址 | |
| 地址 | 北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室 |
真空科学与技术学报评价信息
该刊被以下数据库收录
| 1. | 化学文摘(美) |
| 2. | 中国科学引文数据库 |
| 3. | 日本科学技术振兴机构数据库(日) |
| 4. | 中国科技论文统计与引文分析数据库 |
真空科学与技术学报统计分析
被引趋势
(/次)
(/年)
学科分布
研究主题
推荐期刊
- 期刊分类
- 最新期刊
- 期刊推荐
- 相关期刊
一般工业技术
交通运输
军事科技
冶金工业
动力工程
化学工业
原子能技术
大学学报
建筑科学
无线电电子学与电信技术
机械与仪表工业
水利工程
环境科学与安全科学
电工技术
石油与天然气工业
矿业工程
自动化技术与计算机技术
航空航天
轻工业与手工业
金属学与金属工艺
北京勘察设计
爆破
巴蜀质量跟踪
包装工程
包装世界
包装与设计
材料保护
材料导报
材料工程
材料开发与应用
材料科学技术(英文版)
材料科学与工程学报
材料科学与工艺
材料研究学报
CT理论与应用研究
磁性材料及器件
影视制作
低温工程
低温与超导
低温与特气
大众标准化
复合材料学报
福建分析测试
福建质量管理
福建质量技术监督
