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真空科学与技术学报期刊
出版文献量（篇）
4084
总下载数（次）
3
总被引数（次）
19905

真空科学与技术学报

Chinese Journal of Vacuum Science and Technology
曾用名： 真空科学与技术

CACSCDJSTCSTPCD

影响因子 0.3586
本刊是全国中文核心期刊，长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录，已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅，有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿，已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。
主办单位：
中国真空学会
ISSN：
1672-7126
CN：
11-5177/TB
出版周期：
月刊
邮编：
100022
地址：
北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室
出版文献量（篇）
4084
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19905
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  • 1. Cs、O激活方式对GaAs光电阴极的影响
    作者： 常本康 杜晓晴 邹继军
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2006年1期
    页码:  1-3,7
    摘要： 利用自行研制的GaAs光电阴极多信息量测试与评估系统,比较了不同Cs、O激活方式下GaAs光电阴极的激活过程、光谱响应特性以及稳定性的差异,发现与传统的Cs源、O源交替断续激活方式相比,Cs...
  • 2. 电泳法制备碳纳米管场发射阴极的研究
    作者： 孙卓 王莉莉 陈奕卫 陈婷
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2006年1期
    页码:  4-7
    摘要： 利用传统的电泳方法,在玻璃基片上成功地制备了场发射用碳纳米管阴极薄膜.用扫描电子显微镜和拉曼光谱观察了薄膜的形貌和结构,并测试了所制备的薄膜阴极的场发射特性.实验结果表明在玻璃的银浆导电层上...
  • 3. 掺磷硅薄膜的微结构及光电特性研究
    作者： 卢景霄 杨仕娥 王生钊 郜小勇 陈永生
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2006年1期
    页码:  8-11
    摘要： 采用拉曼(Raman)散射谱、扫描电子显微镜(SEM)和X射线衍射(XRD)对掺磷硅薄膜的微结构进行了分析,并对掺杂前后薄膜的暗电导进行了测试,结果表明:掺P后导致薄膜的非晶化.与本征μc-...
  • 4. 基于分子自组装的单分子层整流器
    作者： 华中一 吕银祥 徐伟 沈淼 蓝碧健 蔡永挚
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2006年1期
    页码:  12-15
    摘要： 本文报道了一种含巯基的分子在金膜表面的自组装制备的单层分子整流器件Au/PPSC/Au,其中PPSC为取向整流分子膜.接触角、掠角反射红外光谱测量证明了单层分子膜存在;STM和电路测量都得到...
  • 5. 基于SPM的花生酸LB膜的拉膜工艺及结构表征的研究
    作者： 严学俭 华中一 张莉 曾志刚 朱国栋 沈淼 王闯 邱伟民 马世红
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2006年1期
    页码:  16-19,22
    摘要： 通过扫描探针显微镜(SPM)直接观察沉积在基片表面的花生酸LB(Langmuir-Blodgett)薄膜不同范围尺度下的微观结构.研究在经过表面两亲性(亲水性或疏水性)处理的基片上,在相同的...
  • 6. 热氧化复合薄膜制备针叶状纳米ZnO
    作者： 王书运
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2006年1期
    页码:  20-22
    摘要： 采用射频磁控复合溅射技术,在Si(111)衬底上制备Zn/SiO2复合薄膜,本文讨论了不同退火时间下形成的晶状氧化锌,并对其进行了X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)、透射电镜(TEM)...
  • 7. 螺旋慢波电路参数变化对行波管特性的影响
    作者： 朱兆君 罗正祥 贾宝富
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2006年1期
    页码:  23-27
    摘要： 借助于行波管CAD技术的发展,建立了螺旋线行波管三维电磁冷模型和注-波互作用大信号模型,就螺旋慢波电路参数在公差范围内外做细微变化时,所带来行波管冷热特性的影响进行了全面研究和讨论,得出了一...
  • 8. 射频反应磁控溅射制备低辐射薄膜
    作者： 王德苗 董树荣 金炯
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2006年1期
    页码:  28-31,56
    摘要： 采用射频反应磁控溅射法制备了低辐射薄膜.对低辐射膜的薄膜结构的设计和测试结果表明:较合适的膜层结构是空气/二氧化钛/钛/银/二氧化钛/玻璃基片的多层结构.用扫描电镜分析了保护层钛层的作用,研...
  • 9. 精铋的真空蒸馏硫化除铅
    作者： 何则强 刘文萍 戴永年 熊利芝 肖卓炳 麻成金
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2006年1期
    页码:  32-35
    摘要： 从理论上分析了用真空蒸馏分离精铋中各杂质和通过加硫除铅的可行性.在真空炉内进行了精铋加硫除铅的实验研究,考察了加硫量、蒸馏温度、残压和蒸馏时间以及加硫次数等因素对除铅效果的影响,得到了最佳工...
  • 10. a-C:F薄膜结构与电学性能研究
    作者： 吴振宇 杨银堂 汪家友
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2006年1期
    页码:  36-39,65
    摘要： 采用电子回旋共振等离子体化学气相沉积(ECR-CVD)方法,以C4F8和CH4为源气体,在不同气体流量比R(R=[CH4]/([CH4]+[C4F8]))条件下沉积氟化非晶碳(a-C:F)薄...
  • 11. 烧结温度对CaCu3Ti4O12巨介电性能的影响研究
    作者： 周小莉 杜丕一
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2006年1期
    页码:  40-42,47
    摘要： 制备CaCu3Ti4O12陶瓷,在50 K～300 K温区范围内测试试样介电性能.研究结果表明,CaCu3Ti4O12结晶完整性、晶界及缺陷对其巨介电常数的大小、出现低介电常数向高介电常数转...
  • 12. Si(111)7×7表面Gd@C82分子的STM研究
    作者： 侯士敏 刘宇 孙涛 施祖进 申自勇 薛增泉 赵兴钰 顾镇南
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2006年1期
    页码:  43-47
    摘要： 用超高真空扫描隧道显微镜(UHV-STM)研究了金属富勒烯分子Gd@C82在Si(111)7×7重构表面的吸附特性和电学特性.STM形貌像显示Gd@C82分子和Si基底之间相互作用较强,Gd...
  • 13. KZ-400离子束刻蚀装置的研制
    作者： 凤良杰 孙继武 徐德权 徐朝银 董晓浩 赵飞云 阎佐健 高飞
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2006年1期
    页码:  48-53
    摘要： 日前我室为制作大口径(400 mm×400 mm)衍射光学元件需要,成功研制了一台KZ-400离子束刻蚀装置.它是基于物理溅射效应,将基底匀速扫描条形离子束,连续铣削材料的原子层来实现大面积...
  • 14. 超灵敏检漏的实时校准
    作者： 查良镇 肖立波 陈旭 黄天斌
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2006年1期
    页码:  54-56
    摘要： 超灵敏检漏的实时校准是国际上尚未解决且未标准化的一个难题,本文利用自建的微流量参考漏率系统对商用检漏仪和超灵敏检漏系统进行了实时校准的实验研究,在10-14Pa·m3/s～10-10Pa·m...
  • 15. 双离子束溅射法制备SiOxNy薄膜的结构与发光
    作者： 刘义保 吴雪梅 李群 诸葛兰剑 邓玲娜 黎定国
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2006年1期
    页码:  57-60
    摘要： 本文采用双离子束溅射沉积法制备了SiOxNy复合薄膜,XRD、TEM测试表明薄膜呈非晶态,FTIR及XPS测试表明薄膜成分由Si、O、N组成,在室温下可观察到样品有400 nm(紫光)、47...
  • 16. 斜离子束辅助沉积对Co30Nb70薄膜结构及其热稳定性的影响
    作者： 丁宇清 曾飞 潘峰 耿魁伟 谷宇
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2006年1期
    页码:  61-65
    摘要： 本文研究了离子束辅助沉积(IBAD)Co30Nb70薄膜过程中离子束入射角对薄膜微结构及热稳定性的影响.实验结果表明,在0°到75°范围内改变离子束入射角均可得到Co30Nb70非晶薄膜,但...
  • 17. 磁过滤真空弧源沉积C/C多层复合膜的结构和力学性能研究
    作者： 冷永祥 孙鸿 张文英 沟引宁 黄楠
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2006年1期
    页码:  66-69,73
    摘要： 采用磁过滤直流阴极真空弧源沉积技术在不锈钢基体表面制备了C/C多层复合膜,通过X射线光电子能谱、Raman光谱对薄膜的结构进行表征;C/C多层膜大气下的摩擦损性能在销盘式摩擦磨损试验机上进行...
  • 18. 阴极蒸发动态测试研究
    作者： 丁耀根 刘燕文 张明晨 张洪来 李玉涛 王宇 田宏 阴生毅
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2006年1期
    页码:  70-73
    摘要： 为了实现阴极蒸发定量测量,本文发展了一种基于石英晶体振荡原理的动态测试方法.研究表明,在选用高质量石英晶振片和对其进行强制冷却的情况下,既使晶振片近距离承受阴极的高温热辐射,晶振片频率降低趋...
  • 19. CO在SrO表面吸附的热脱附
    作者： 汪洋
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2006年1期
    页码:  74-76,79
    摘要： 在真空条件下,利用程序升温热脱附方法测量CO吸附在SrO表面的脱附谱.实验结果表明,SrO吸附C18O后,在升温过程中可通过氧的同位素交换生成C16O而脱附,同时伴随少量C18O的直接脱附,...
  • 20. 低介电损耗微晶氧化铝陶瓷研究
    作者： 张巨先
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2006年1期
    页码:  77-79
    摘要： 本文将1000 ppm的MgO烧结添加剂以镁盐的形式均匀加入到超细Al2O3粉中,采用两次烧结方法,制备出剩余气孔率接近零,晶粒尺寸在3 μm～5 μm之间的微晶Al2O3陶瓷.其介电损耗为...

真空科学与技术学报基本信息

刊名 真空科学与技术学报 主编 吴锦雷
曾用名 真空科学与技术
主办单位 中国真空学会  主管单位 中国科学技术协会
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1672-7126 CN 11-5177/TB
邮编 100022 电子邮箱 vst@chinesevacuum.com
电话 010-58206280 网址
地址 北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室

真空科学与技术学报统计分析

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