真空科学与技术学报2011年第1期出版文献-钛学术文献服务平台

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真空科学与技术学报

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Chinese Journal of Vacuum Science and Technology

曾用名：真空科学与技术

CA CSCD JST CSTPCD

影响因子 0.3586

本刊是全国中文核心期刊，长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录，已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅，有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿，已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。

主办单位：

中国真空学会

ISSN：

1672-7126

CN：

11-5177/TB

出版周期：

月刊

邮编：

100022

地址：

北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室

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年度刊次

1. 基于宏单元实验的荫罩式PDP结构的优化

作者：仲雪飞屠彦张雄杨兰兰樊兆雯王保平

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2011年1期

页码: 1-5

摘要：本文分析了荫罩式等离子体显示板(SMPDP)的优点和存在的不足,以提高PDP放电效率为目的 ,提出了非对称SMPDP结构.用宏单元实验研究的方法,比较了两种SMPDP的放电特性,确认非对称...
2. 荫罩式PDP扫描电极和荫罩对阳极条纹的影响

作者：屠彦张盼盼杨兰兰

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2011年1期

页码: 6-11

摘要：本文采用基于动力学模型的OOPIC仿真软件模拟具有不同扫描电极宽度和荫罩结构的荫罩式等离子显示器(PDP)放电单元内的放电过程,分析单元内的条纹数量、分布状态和介质层表面壁电荷分布情况,...
3. 后栅型场发射显示器窜压现象的研究

作者：吴朝兴李昱胡利勤苏艺菁郭太良

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2011年1期

页码: 12-16

摘要：提出后栅型场发射显示器(FED)测试过程中的窜压现象,解释该现象的产生原因.阴极电极侧壁场发射电子轰击栅极导致电压表示数发生变化.针对此问题设计一种具有沟槽状介质层结构的后栅型FED从而...
4. 94 GHz TE02模回旋管Vlasov模式变换器的设计与模拟

作者：刘濮鲲徐寿喜杜朝海王斌耿志辉

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2011年1期

页码: 17-22

摘要：该文研究并设计了一个由Vlasov阶梯型开口辐射器、椭圆面反射器和抛物面反射器组成的TE02模回旋管准光模式变换器.首先采用几何光学研究了阶梯型开口辐射器、椭圆面反射器和抛物面反射器的具体形...
5. 非晶Ni-Al-N薄膜用作Cu互连阻挡层的研究

作者：刘保亭李晓红李曼杨林王宽冒赵冬月赵庆勋陈剑辉

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2011年1期

页码: 23-26

摘要：以一种新的三元非晶化合物薄膜作为Cu互连的阻挡层,采用射频磁控溅射法构架了Cu(120 nm )/ Ni-Al-N(10 nm)/ Si 的异质结.利用四探针测试仪、X 射线衍射仪和原子力显...
6. 改进2.5维多频大信号互作用程序模拟螺旋线行波管非线性交调互调特性

作者：刘濮鲲唐康淞李实肖刘郝保良黄明光

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2011年1期

页码: 27-31

摘要：改进稳态行波管场论大信号互作用模型,将工作频率考虑为最小公因子基波的整数倍,采用频域等效粒子模拟算法,求解离散化亥姆霍兹方程获得空间电荷场数值解,建立半解析半粒子的2.5维行波管多频互作用...
7. 氦质谱检漏仪入口压力与显示值的关系研究

作者：孙立臣王勇黄锡宁

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2011年1期

页码: 32-36

摘要：文中首先从理论上推导出检漏仪的入口压力与显示值的数学关系表达式,其次通过试验验证了该表达式的正确性.与此同时,提出了一种测试检漏仪线性性能的新方法.研究结果表明 :检漏仪的入口压力与显示值...
8. HT-7托卡马克中破裂等离子体放电对器壁放气的影响

作者：唐明左桂忠真空科学及壁处理组胡建生

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2011年1期

页码: 37-43

摘要：未来托卡马克聚变反应堆中,等离子体破裂放电会使器壁释放大量的吸附气体,对燃料恢复、抽气系统设计、等离子密度控制等存在重要影响,在HT-7装置上破裂等离子体放电占总放电次数的10%左右,因...
9. 真空卷绕镀膜机开卷张力控制系统研究

作者：孔令刚李彦哲范多旺赵阳

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2011年1期

页码: 44-49

摘要：阐述了在真空卷绕镀膜机中张力控制的必要性和复杂性.通过机理建模的方法建立了开卷区张力控制模型,从中得出影响张力的相关因素,并提出了一种利用间接控制方式设计卷绕镀膜机开卷张力控制系统的方法...
10. 基于有限元的单轴双销铰链式大门机构变形分析

作者：凌桂龙王文龙蔡国飙

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2011年1期

页码: 50-56

摘要：本文对单轴双销铰链式大门机构进行了有限元静态线性结构分析,得出该大门机构的应力场和位移场分布,讨论了弧形加强覆板、前立柱和远端弹性支撑装置等对大门机构强度破坏和位移变形的影响,并将分析讨...
11. 原子层沉积系统设计的研究

作者：叶位彬戴晋福朱建明黄光周

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2011年1期

页码: 57-60

摘要：本文介绍作者自行设计的原子层沉积(ALD)实验系统和所沉积薄膜的检测结果.为了研究ALD技术,作者设计了一套试验性的ALD沉积系统.该系统主要由反应腔、前驱体容器、真空泵、控制系统等部件构...
12. 掺硅类金刚石膜的摩擦学性能研究

作者：兰惠清加藤孝久崔俊豪

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2011年1期

页码: 61-66

摘要：以甲苯(C7H8)和四甲基硅烷(Si(CH3)4)的混合气体为反应气源,使用离子气相沉积技术制备了不同Si含量(原子比)(不超过20%)的掺硅类金刚石(Si-DLC)薄膜,用X射线光电子...
13. 直管磁过滤弧离子镀CrN涂层改善304不锈钢表面性能研究

作者：唐德礼杨作贵杨发展沈丽如王世庆金凡亚

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2011年1期

页码: 67-70

摘要：采用直管磁过滤弧离子镀在304 不锈钢表面沉积CrN单一涂层和Cr/CrN复合涂层,分别运用X射线衍射仪、光学显微镜、显微硬度计、摩擦磨损仪测试分析了其组成结构及复合涂层的表面机械性能.结...
14. 磁场对电弧离子镀深管内壁沉积TiN薄膜的影响

作者：刘琪林国强王文涛

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2011年1期

页码: 71-75

摘要：用电弧离子镀设备在一端封口的Φ50 mm×200 mm×5 mm不锈钢深管内壁上沉积TiN薄膜 ,镀膜前在管子上方布置一个0.4 T的永磁体,以考察附加磁场对深管内壁沉积TiN薄膜的影响.对...
15. 激光热处理对类金刚石薄膜结构的影响

作者：刘凡新车晓舟陈莲华马洪涛

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2011年1期

页码: 76-79

摘要：用真空阴极过滤电弧法沉积了厚度为2 nm的类金刚石(DLC)薄膜,研究了激光加热退火时薄膜结构和表面粗糙度的变化,分析了激光加热功率对薄膜结构的影响.结果表明,当激光功率小于200 mW时...
16. 偏压对CrAlTi(Ce)N薄膜的制备和性能的影响

作者：佟玉玲刘兆政刘耀辉狄驰

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2011年1期

页码: 80-84

摘要：本文通过使用Teer-UDP450磁控溅射设备制备CrAlTi(Ce)N薄膜,实验过程中改变偏压.使用了原子力显微镜、X射线衍射仪对CrAlTi(Ce)N薄膜进行分析和研究.试验结果表明:...
17. 电子辐照下氧化锌涂层光学特性变化的解析

作者：李丹明王骥田海薛玉雄贺德衍

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2011年1期

页码: 85-88

摘要：本文在分析以氧化锌为颜料的S781热控白漆电子辐照作用机理的基础上,结合材料的辐照剂量深度分布理论、材料对光子的吸收理论等,采用对材料分层解析的方法,建立了表达材料光谱吸收率变化与电子辐...
18. Sb掺杂Sn2S3薄膜的表征及电学特性

作者：卢建丽李健柴燕华

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2011年1期

页码: 89-94

摘要：真空蒸发制备Sb掺杂Sn2S3多晶薄膜.研究不同比例Sb掺杂对Sn2S3薄膜的电学、结构、表面形貌、化学组分的影响,实验给出掺Sb5%薄膜经380℃热处理30 min可获得结构良好正交晶系...
19. 衬底温度对直流磁控溅射法沉积ZnO:Ti薄膜性能的影响

作者：刘汉法史晓菲周爱萍张化福郭美霞

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2011年1期

页码: 95-99

摘要：利用直流磁控溅射工艺,在石英玻璃衬底上沉积出了具有高度C轴择优取向的掺Ti氧化锌(ZnO:Ti,TZO)透明导电薄膜.研究了衬底温度对TZO薄膜应力、结构和光电性能的影响.结果表明,衬底...
20. 多级罗茨干泵泵内传热与变形的计算和实验研究

作者：刘坤巴德纯张振厚杨乃恒王光玉

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2011年1期

页码: 100-104

摘要：间隙设计是多级罗茨干泵设计的重要参数之一.在多级罗茨干泵运转时,间隙受转子和泵腔热变形的影响较大.本文通过分析了多级罗茨干泵内部的传热过程,建立了工作过程的传热模型.通过接触式和非接触式...
21. 氦质谱背压检漏方法研究

作者：冯焱张涤新李慧娟肖祥正薛大同

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2011年1期

页码: 105-109

摘要：阐述了氦质谱背压检漏的特点及目前存在的问题,在此基础上提出了改进建议.深入探讨了预充氦背压法测得的测量漏率与等效标准漏率的关系,指出预充氦背压法可用于检测压氦背压法检测不到的小漏孔,给出...
22. FG型真空绝热板使用寿命评估

作者：温永刚王先荣陈光奇

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2011年1期

页码: 110-113

摘要：真空绝热板(VIP)的使用寿命是目前研究者和使用者最为关注的问题之一,如何有效保证其在长期使用过程中依然保持高性能热阻需要进行理论和试验研究.本文通过材料选择制作了VIP测试样板,对其热...
23. 用于微放电器的聚酰亚胺绝缘层的工艺和性能研究

作者：何利文向伟玮张秋萍文莉曾洪江褚家如

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2011年1期

页码: 114-118

摘要：研究了一种应用于微放电器的聚酰亚胺绝缘材料的工艺及性能.分析了聚酰亚胺制备过程中亚胺化程度以及图形化过程中反应离子刻蚀功率、气体流量、气体成分、清洗等因素对于薄膜质量、刻蚀速率和残留物的...
24. 多孔阳极氧化铝孔道形成的电化学反应探讨

作者：刘鹏姜元霞孙晨朱绪飞耿敏蔡宇武郑杰

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2011年1期

页码: 119-123

摘要：分析了多孔阳极氧化铝(PAA)形成过程中,传统"酸性场致溶解"的电化学反应及其局限性.同时,为验证氧气析出反应对PAA孔道产生和发展的影响,深入探讨PAA的形成机理,分别对比了在真空、高...
25. 金属屏蔽罩对柔性衬底微晶硅太阳电池特性的影响

作者：刘成叶晓军周丽华安其钱子勍陈鸣波

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2011年1期

页码: 124-127

摘要：通过改变硅烷浓度,采用等离子体增强化学气相沉积方法制备了在有无金属屏蔽罩两种情况下的系列微晶硅太阳电池,发现将金属屏蔽罩去除后,本征微晶硅材料的沉积速率提高约一倍,微晶相至非晶相的硅烷浓...
26. 《真空科学与技术学报》征稿说明

作者：

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2011年1期

页码: 后插1

摘要：

真空科学与技术学报基本信息

刊名	真空科学与技术学报	主编	吴锦雷
曾用名	真空科学与技术
主办单位	中国真空学会	主管单位	中国科学技术协会
出版周期	月刊	语种	chi
ISSN	1672-7126	CN	11-5177/TB
邮编	100022	电子邮箱	vst@chinesevacuum.com
电话	010-58206280	网址
地址	北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室