论文降重
免费查重- 钛学术文献服务平台 \
- 学术期刊 \
- 工业技术期刊 \
- 一般工业技术期刊 \
- 真空科学与技术学报期刊 >
真空科学与技术学报2012年出版文献
出版文献量（篇）
4084
总下载数（次）
3
总被引数（次）
19905
真空科学与技术学报
分享
投稿
本刊是全国中文核心期刊，长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录，已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅，有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿，已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。
主办单位：
中国真空学会
ISSN：
1672-7126
CN：
11-5177/TB
出版周期：
月刊
邮编：
100022
地址：
出版文献量（篇）
4084
总下载数（次）
3
总被引数（次）
19905
分享
文章浏览
目录
-
刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2012年1期页码:摘要： 利用大气压低温等离子体射流技术,以空气为放电气体,四氯化钛为钛源,在玻璃载玻片基底上制备了二氧化钛薄膜.利用扫描电镜及椭圆偏振仪分析测量了薄膜的表面形貌与沉积速率.利用紫外光照射硬脂酸分解速...
-
刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2012年1期页码:摘要： 采用中频孪生靶非平衡磁控溅射技术在AZ31镁合金基底上制备出氮化硅薄膜.利用傅里叶变换红外光谱仪、电子探针、X射线衍射仪等研究了氮气流量比率对氮化硅薄膜的成分、微观结构的影响.通过对薄膜力学...
-
刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2012年1期页码:摘要： 研究了使用非平衡测控溅射技术沉积的类金刚石(DLC)薄膜其抗激光损伤能力；通过对比施加偏置电场前后薄膜的损伤情况,发现:DLC薄膜施加偏置电场后,薄膜的激光损伤区域内有大量丝状薄膜,损伤形貌...
-
刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2012年1期页码:摘要： 采用室温磁控溅射技术成功地在钢(Cr12MoV)基材表面制备出TB2/SC双层薄膜及掺碳TB2 (TB2-C)/SiC双层薄膜,SiC薄膜为中间层.研究了掺碳对TiB2薄膜组织结构和摩擦磨损...
-
刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2012年1期页码:摘要： 采用空心阴极电子束辅助多弧离子镀的方式在WC基体上制备了TiAlN薄膜,讨论了电子柬能量的大小对膜层组织形貌及摩擦学性能的影响.利用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、表面轮廓测试仪及材料表面微纳...
-
刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2012年1期页码:摘要： 利用真空蒸发方法在液相基底(硅油)上成功制备出具有自由支撑边界和界面条件的金属铝薄膜系统,研究了薄膜的开裂和折叠行为.结果表明:沉积过程中,硅油基底的受热膨胀使铝薄膜处于较大张应力状态,伴随...
-
刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2012年1期页码:摘要： 采用电化学腐蚀法在n型单晶Si基底上制备多孔硅(PS)膜,利用场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)分析其微结构特征,研究了硅基底材料、腐蚀电流密度和腐蚀时间等制备条件和工艺参数对PS微结构的...
-
刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2012年1期页码:摘要： 研究了在FFS-TFT制作工艺中,沉积非晶氮化硅薄膜对透明金属ITO的影响.结果表明沉积氮化硅薄膜的硅烷流量对ITO的透过率有着很大影响,降低硅烷的流量可以阻止薄雾状姆拉的产生.通过优化氮化...
-
刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2012年1期页码:摘要： 根据微波电路及谐振腔电磁场基础理论,建立了双间隙耦合输入腔的等效电路模型,模型考虑了频率偏谐,外观品质因数失配以及电子注电导的影响.推导出间隙电压计算公式和输入端口匹配时腔体外观品质因数与腔...
-
刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2012年1期页码:摘要： 研究短间隙真空开关电弧扩散运动特性对促进真空开关向高电压等级、大容量及智能化发展具有重要的意义.本文利用高速摄像机CMOS对真空开关电弧图像进行了采集并获得了序列电弧图像；分析了真空电弧燃烧...
-
刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2012年1期页码:摘要： 采用脉冲偏压电弧离子沉积技术在玻璃基片上制备了透明的、具有择优取向的MgO薄膜.针对绝缘性薄膜表面的荷电效应,比较了脉冲偏压作用下鞘层对离子的加速时间(即鞘层的寿命)与脉冲宽度的大小以及偏压...
-
刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2012年1期页码:摘要： 采用分子动力学方法模拟了F原子与Si表面相互作用,F原子入射能量分别为0.3,1,3,5,7和9eV.在模拟过程中,F原子的沉积率与Si表面悬键密度有关,而Si原子的刻蚀率与表面晶格结构破坏...
-
13. 束流终端大尺寸膜窗的研制刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2012年1期页码:摘要： 膜窗系统是重离子束流治癌装置中隔离大气和真空的重要系统.通过应力分析,选择高强度膜(Hostaphon)和加强纤维衬底(Kevlar)联合使用,既可以使束流通过,同时中子产额少,还可以承受大...
-
刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2012年1期页码:摘要： 在扩散限制凝聚模型基础上引入粒子的自旋自由度(包括自旋向上和向下),将自旋耦合系数扩展为随粒子间距离幂次变化的非常数项J/ra,采用Monte Carlo方法研究了在二维三角点阵基底上不同幂...
-
刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2012年1期页码:摘要： 电子散射和电子透过率是影响厚膜样品扫描透射电镜成像及其检测应用的重要因素.本文根据样品材料中电子的弹性散射和非弹性散射模型,采用蒙特卡罗方法模拟了能量为100～ 300 keV的电子在微米级...
-
刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2012年1期页码:摘要： 当用气相色谱/质谱(GC/MS)分析样品时,如果样品中包含保留时间接近的成分,将导致总离子流图中信号峰的重叠,最终影响样品成分的鉴定.为了解决这个问题,首先讨论了GC/MS数据的性质,用矩阵...
-
刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2012年1期页码:摘要： 采用固源分子束外延技术,以Al2O3为衬底,在1100℃下制备SiC薄膜.利用同步辐射X射线掠入射(GID)实验技术对生长的样品的界面结构进行了研究.结果表明,薄膜面内存在压应变,同时发现薄...
-
刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2012年2期页码:摘要： 采用射频磁控溅射技术在表面微结构纳米化316L不锈钢和粗晶粒316L不锈钢基体上制备掺钽TiO2薄膜.采用扫描电镜和X射线衍射仪分析薄膜形貌和晶体结构,用体外模拟人体体液浸泡实验研究薄膜的生...
-
刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2012年2期页码:摘要： 采用室温直流磁控溅射技术在纳米晶体钛表面制备TiO2薄膜,并用Ar等离子体对TiO2薄膜进行表面改性,体外模拟体液浸泡实验考察薄膜的生物活性.系统研究了Ar等离子体处理对TiO2薄膜结构、形...
-
刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2012年2期页码:摘要： 高分子功能薄膜因质量轻、柔韧性好及易于加工等特点而在新型微纳光电器件上有很好的潜在应用前景.由于存在高温热致烧蚀或分解,常规的蒸发镀膜和溅射镀膜等方法无法用来制备高分子聚合物薄膜,而一般的溶...
-
21. 基于印刷工艺的介质层绝缘特性研究刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2012年2期页码:摘要： 绝缘介质层是三极场致发射显示器的重要组成部分,本文通过丝网印刷技术与一次烧结和重复烧结两种烧结工艺制备不同膜厚的介质层,利用台阶仪和扫描电子显微镜分别对介质层膜厚和形貌进行表征,并对介质层的...
-
刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2012年2期页码:摘要： 利用脉冲激光沉积法在石英衬底上制备出了可见光透过率高、电阻率极低的Ga,Mo共掺杂TTO基InSnGaMo复合氧化物薄膜.研究了衬底温度对薄膜结构、表面形貌、光电性能的影响.实验结果表明:衬...
-
刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2012年2期页码:摘要： TiZrV合金在180℃下加热24h即可激活,是迄今发现的激活温度最低的非蒸散型吸气剂,已在粒子加速器领域得到应用.采用直流磁控溅射法在不锈钢管道内壁获得了TiZrV薄膜,并研究了薄膜对CO...
-
刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2012年2期页码:摘要： 氦质谱非真空积累检漏法被广泛应用于航天器的总漏率测试中,因此研究氦质谱非真空检漏法具有重要的工程实际意义.本文首次详细给出了氦质谱非真空积累检漏法计算公式的详细推导过程,同时讨论了采用柔性收...
-
刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2012年2期页码:摘要： 当空气绝对压力小于40kPa时,目前尚无简便有效的气流质量流量测量手段,为此本文设计了一套新颖的流量标定装置,并提出一种了流量测量方法.在流量调节过程中,调节阀必不可少.真空状态下,流经调节...
-
刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2012年2期页码:摘要： 中子屏蔽块分布于国际热核聚变实验堆(TTER)超导托卡马克真空室双层壳体内部,由多个组件装配而成,用于屏蔽核聚变产生的中子.在烘烤工况下,承受螺栓预紧力作用的中子屏蔽块受200℃烘烤温度的影...
-
27. 芯片级原子钟的气密性能分析刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2012年2期页码:摘要： 基于相干布居囚禁(CPT)原理芯片级原子钟(CSAC)原子腔体积小、采用微电子机械系统硅.玻璃键合工艺制造,其气密性是决定CSAC寿命的关键因素.本文提出了“多层缓冲原子腔”方案大幅度提高原...
-
刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2012年2期页码:摘要： 采用直流磁控溅射技术,首先在玻璃衬底上制备Mo薄膜,然后制备CuIn预制层.以固态硒粉为硒源,采用硒薄膜法和硒蒸气法两种硒化工艺,经过三步升温硒化方式对CuIn预制膜进行硒化制备CuInSe...
-
刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2012年2期页码:摘要： 采用电化学沉积的方法在SnO2透明导电玻璃基底上沉积CuZnSnS4(CZTS)薄膜,在氮气保护下对其进行进一步硫化,研究了溶液中不同Na2S2O3浓度对沉积薄膜性质的影响.运用X射线衍射、...
-
刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2012年2期页码:摘要： 为确定电真空器件内热阴极区域的温度分布,以热阴极的热电子发射机理为基础,针对传统闸流管的经典热阴极构型,利用Comsol软件对一定几何结构的热阴极进行了物理建模,依据热传导的相关理论,合理地...
真空科学与技术学报基本信息
| 刊名 | 真空科学与技术学报 | 主编 | 吴锦雷 |
| 曾用名 | 真空科学与技术 | ||
| 主办单位 | 中国真空学会 | 主管单位 | 中国科学技术协会 |
| 出版周期 | 月刊 | 语种 |
chi
|
| ISSN | 1672-7126 | CN | 11-5177/TB |
| 邮编 | 100022 | 电子邮箱 | vst@chinesevacuum.com |
| 电话 | 010-58206280 | 网址 | |
| 地址 | 北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室 |
真空科学与技术学报评价信息
该刊被以下数据库收录
| 1. | 化学文摘(美) |
| 2. | 中国科学引文数据库 |
| 3. | 日本科学技术振兴机构数据库(日) |
| 4. | 中国科技论文统计与引文分析数据库 |
真空科学与技术学报统计分析
被引趋势
(/次)
(/年)
学科分布
研究主题
推荐期刊
- 期刊分类
- 最新期刊
- 期刊推荐
- 相关期刊
一般工业技术
交通运输
军事科技
冶金工业
动力工程
化学工业
原子能技术
大学学报
建筑科学
无线电电子学与电信技术
机械与仪表工业
水利工程
环境科学与安全科学
电工技术
石油与天然气工业
矿业工程
自动化技术与计算机技术
航空航天
轻工业与手工业
金属学与金属工艺
北京勘察设计
爆破
巴蜀质量跟踪
包装工程
包装世界
包装与设计
材料保护
材料导报
材料工程
材料开发与应用
材料科学技术(英文版)
材料科学与工程学报
材料科学与工艺
材料研究学报
CT理论与应用研究
磁性材料及器件
影视制作
低温工程
低温与超导
低温与特气
大众标准化
复合材料学报
福建分析测试
福建质量管理
福建质量技术监督
