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真空科学与技术学报期刊
出版文献量（篇）
4084
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真空科学与技术学报

Chinese Journal of Vacuum Science and Technology
曾用名： 真空科学与技术

CACSCDJSTCSTPCD

影响因子 0.3586
本刊是全国中文核心期刊，长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录，已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅，有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿，已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。
主办单位：
中国真空学会
ISSN：
1672-7126
CN：
11-5177/TB
出版周期：
月刊
邮编：
100022
地址：
北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室
出版文献量（篇）
4084
总下载数（次）
3
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  • 1. 螺旋线行波管中慢波系统散热性能的研究进展
    作者： 丁耀根 刘濮鲲 刘燕文 韩勇
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2012年3期
    页码:  181-187
    摘要： 研究慢波系统的散热性能对改善螺旋线行波管的各项特性具有十分重要的意义.综合叙述了在慢波系统的散热性能影响因素和改进手段方面的研究结果.介绍了新型装配方法和金刚石材料在慢波系统制备中的应用,对...
  • 2. 后栅结构SnO2场致发射显示器件的研制
    作者： 叶芸 杨尊先 林金阳 游玉香 王灵婕 郭太良
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2012年3期
    页码:  188-191
    摘要： 采用高温气相法生长SnO2纳米线,扫描电子显微镜和X射线衍射仪分析表明所生长的SnO2纳米线大小均匀,直径约为150 nm,长可达10 μm.结合丝网印刷法转移SnO2,制备成阴极阵列.封接...
  • 3. 新型前栅场发射器件的研究
    作者： 杨帆 林贺 胡利勤 郑隆武 郭太良
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2012年3期
    页码:  192-195
    摘要： 采用刻蚀型介质制作前栅场发射器件.该器件中阴栅结构的形成是利用刻蚀工艺刻蚀介质层,一次性实现栅孔和阴极电极的连通,最后利用电泳沉积工艺转移碳纳米管制备成阴极发射点阵.该工艺避免了对准或套印,...
  • 4. H2O+O2气氛下电子束蒸镀制备MgO介质保护膜特性研究
    作者： 段冰 王鹏年 陈富贵 黄友兰
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2012年3期
    页码:  196-200
    摘要： 采用电子束蒸镀法在H2O+O2气氛下制备了MgO介质保护膜,通过扫描电镜、X射线衍射(XRD)等方法分析了MgO薄膜的表面、截面形貌与晶体结构,研究了不同H2O流量下得到的MgO薄膜对等离子...
  • 5. 真空灭弧室与SF6灭弧室串联的混合断路器开断容量增益特性分析
    作者： 廖敏夫 段雄英 程显 邹积岩 陈建华
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2012年3期
    页码:  201-207
    摘要： 基于真空和SF6气体两种不同灭弧介质的灭弧特点,分析真空灭弧室与SF6灭弧室串联组成的混合断路器可获得更大开断能力的机理.根据混合断路器开断能力提高机理提出对其操动控制机构的要求,并将额定电...
  • 6. Ka波段TE01模回旋行波管宽带输入耦合器的设计
    作者： 徐勇 李宏福 熊彩东 王建勋 王晖 罗勇 蒲友雷 鄢然
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2012年3期
    页码:  208-213
    摘要： Ka波段TK01模回旋行波管的输入耦合器将矩形波导中输入的TE10模转化为圆波导中TE01模的行波场,以实现对回旋电子注角向速度的调制.本文首先对Ka波段TE01模回旋行波管的输入耦合器进行...
  • 7. SiO2/聚酰亚胺/SiO2复合薄膜绝缘性能及基于聚酰亚胺复合薄膜的后栅型场致发射性能的研究
    作者： 于光龙 张志坚 张永爱 郑灼勇 郭太良 陈景水
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2012年3期
    页码:  214-218
    摘要： 要使用射频磁控溅射和化学溶液法制备了SiO2/聚酰亚胺(PI)/SO绝缘膜.分别使用X射线衍射、扫描电镜对薄膜结构和薄膜表面形貌进行了表征；利用超高阻微电流测试仪测试了SiO2/PI/SiO...
  • 8. 双间隙谐振腔耦合缝调谐结构的分析与模拟
    作者： 丁耀根 刘濮鲲 谢兴娟 高冬平 黄传禄
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2012年3期
    页码:  219-224
    摘要： 根据双间隙耦合腔等效电路和电磁场理论,设计了加载在谐振腔耦合缝上的调谐结构.建立了加载此调谐结构的谐振腔等效电路模型,通过理论分析得此结构能够对工作在π模式的双间隙耦合腔进行频率调谐,改变重...
  • 9. 基于溶胶凝胶法的二氧化锡复合薄膜的制备及表征
    作者： 单麟婷 姜永辉 巴德纯 李建昌 王博锋 韩小波
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2012年3期
    页码:  225-231
    摘要： 以金属无机盐SnCl2·2H2O、CuCl2·2H2O和无水乙醇为原料,用溶胶凝胶法制备了SnO2和CuO掺杂的CuO-SnO2薄膜,并用X射线衍射、扫描电镜、透射电镜和电化学工作站对样品进...
  • 10. 脉冲激光沉积法制备立方焦绿石结构的Bi1.5ZnNb1.5O7薄膜
    作者： 张效华 曾庆明 杨丰 胡跃辉 范跃农 辛凤 陈义川
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2012年3期
    页码:  232-235
    摘要： 采用固相反应法合成具有焦绿石立方结构的Bi1.5ZnNb1.5O7(BZN)陶瓷靶材,采用脉冲激光沉积法在Pt/SiO2/Si(100)基片制备立方BZN薄膜.研究了随衬底温度的变化,薄膜的...
  • 11. 溶胶凝胶法制备Cu掺杂ZnO纳米薄膜及其表征
    作者： 姜永辉 巴德纯 李建昌 王博锋
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2012年3期
    页码:  236-239
    摘要： 采用溶胶-凝胶法制备了不同Cu掺杂浓度的ZnO薄膜,并通过X射线衍射仪、扫描电子显微镜、紫外可见分光光度计和伏安特性测试等研究了Cu掺杂量对薄膜微观结构、表面形貌及光电特性的影响.结果表明:...
  • 12. 铀表面非平衡磁控溅射离子镀Ti基薄膜的组织结构与腐蚀性能
    作者： 刘天伟 吴艳萍 唐凯 朱生发 江帆 魏强 黄河
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2012年3期
    页码:  240-243
    摘要： 金属铀的化学性质十分活泼,极易发生氧化腐蚀.本文采用磁过滤多弧离子镀在金属铀表面制备Ti过渡层,然后采用非平衡磁控溅射离子镀技术制备了Ti、TiN单层膜及Ti/TN多层薄膜,以期改善基体的抗...
  • 13. 时变等离子体覆盖导体圆柱的双站散射特性分析
    作者： 党可征 吴小坡 时家明 杜石明 高永芳
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2012年3期
    页码:  244-247
    摘要： 研究时变等离子体覆盖导体圆柱的双站散射特性对等离子体隐身技术和太空再入体的跟踪识别技术具有重要的意义.以非磁化不均匀等离子体覆盖导体圆柱的模型为基础,采用分段线性电流密度递归卷积时域有限差分...
  • 14. p型微晶硅膜的研究及其在异质结太阳电池中的应用
    作者： 卢景霄 吴晨阳 杨仕娥 谷锦华 赵会娟 陈永生
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2012年3期
    页码:  248-251
    摘要： 首先采用射频等离子体增强化学气相沉积技术制备了电导率为0.13 S/cm、晶化率为50％的p型微晶硅,然后制备了μc-Si:H( p)/c-Si(n)异质结太阳电池.初步研究了硼掺杂比、辉光...
  • 15. 双真空主动型氢脉泽真空系统设计
    作者： 张为群 张燕军 杨浩 王文明
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2012年3期
    页码:  252-255
    摘要： 清洁、抽速稳定的高真空系统是氢脉泽工作必不可少的组成部分之一.文章详细介绍了双真空主动型氢脉泽真空系统的组成及各个组成部分的设计思路、方法.内容涉及真空的获得、真空泵的选择、氢脉泽物理部分双...
  • 16. In0.14Ga0.86As/GaAs(4×3)表面的RHEED及STM分析
    作者： 丁召 何浩 周勋 尚林涛 张毕禅 罗子江 贺业全 郭祥
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2012年3期
    页码:  256-262
    摘要： 以在UHV/MBE-STM联合系统上生长的19 ML的InGaAs/GaAs样品为研究对象,先在GaAs(001)衬底上外延生长0.37μm的GaAs缓冲层,再外延生长19 ML的InGaA...
  • 17. 基于差异进化算法的椭偏测量数据反演
    作者： 张建科 王党社 王海娇
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2012年3期
    页码:  263-267
    摘要： 为解决椭偏法测量薄膜厚度和折射率实验数据处理较为复杂的问题,采用一种新的基于群体智能的优化算法—差异进化算法处理实验数据；以单层吸收薄膜的测量为例,利用该算法进行数据处理,实验结果表明,三个...

真空科学与技术学报基本信息

刊名 真空科学与技术学报 主编 吴锦雷
曾用名 真空科学与技术
主办单位 中国真空学会  主管单位 中国科学技术协会
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1672-7126 CN 11-5177/TB
邮编 100022 电子邮箱 vst@chinesevacuum.com
电话 010-58206280 网址
地址 北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室

真空科学与技术学报统计分析

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