微机械静电伺服加速度计

• 作者: 何晓平 彭勃 苏伟
• 来源期刊: 中国惯性技术学报
• 学科: 航空航天
• 关键词: 静电伺服 加速度计 微弱信号检测 阳极键合
• 年，卷（期）: 2000,（1）
• 所属期刊栏目: 仪表研究与设计
• 页码范围: 63-66
• 页数: 4页
• 分类号: V241.4+5
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-6734.2000.01.014

摘要

本文详细介绍了微机械静电伺服加速度计的系统工作原理、结构和线路设计特点,并对其封装样品作了简要的叙述.给出了用于±4g,线性度小于2%,分辨率低于5×10-3g的微加速度计实验结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	苏伟	中国工程物理研究院电子工程研究所	92	541	12.0	16.0
2	何晓平	中国工程物理研究院电子工程研究所	29	177	8.0	11.0
3	彭勃	中国工程物理研究院电子工程研究所	19	115	6.0	10.0