氧对铅锡碲薄膜电阻率的影响

• 作者: 张树人 杨成韬 杨邦朝 陈祝
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 电阻薄膜 铅锡碲合金 氧吸收
• 年，卷（期）: 2003,（7）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 11-13,16
• 页数: 4页
• 分类号: TN304.2+6
• 字数: 3807字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2003.07.004

摘要

氧吸收或氧化对金属电阻膜、合金电阻膜及金属陶瓷膜的影响及作用机理差别很大.淀积不同厚度的铅锡碲合金膜暴露在氧气或大气中, 其电阻随时间发生明显的变化,电阻的变化是随着膜厚的增加、基片温度的增加呈下降趋势,比较了金属氧化膜、合金电阻膜及金属陶瓷膜中的氧对电阻值的不同影响.铅锡碲氧吸收模型解释了其电阻变化机理,并进一步得到XPS光电子色谱分析的支持.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张树人	电子科技大学微电子与固体电子学院	187	1176	16.0	24.0
2	杨邦朝	电子科技大学微电子与固体电子学院	253	3422	31.0	49.0
3	陈祝	电子科技大学微电子与固体电子学院	15	74	6.0	8.0
4	杨成韬	电子科技大学微电子与固体电子学院	67	255	8.0	12.0