化学机械抛光后板刷撩洗清洗

• 作者: 赵岳星
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 化学机械抛光 板刷擦洗 晶圆表面
• 年，卷（期）: 2004,（2）
• 所属期刊栏目: 制造与工艺
• 页码范围: 66-69,86
• 页数: 5页
• 分类号: TN305.47
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2004.02.016

摘要

板刷擦洗是一种在化学机械抛光后清洗中常用的方法.它可以非常有效地把研磨剂颗粒从已抛光的晶圆表面去除掉.在氧化硅化学机械抛光的清洗工艺中,去离子水(或者稀释的氢氧化氨)是刷洗过程中常用的化学品起到的作用及刷洗的机械力对去除氧化硅研磨剂颗粒时所起的作用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵岳星		1	1	1.0	1.0