磁悬浮微进给机构的PID控制

• 作者: 于国飞 何惠阳 宋文荣 王延风 韩红霞
• 来源期刊: 哈尔滨工业大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 磁悬浮 微进给机构 直线电机 PID控制 电磁阻尼 时变
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 页码范围: 28-31
• 页数: 4页
• 分类号: TP273|TM359
• 字数: 2192字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0367-6234.2004.01.008

摘要

利用磁悬浮技术实现了微进给机构的运动部件与运行导轨之间的无接触支撑,消除了摩擦与磨损,克服了摩擦产生的金属粉尘污染问题.采用主动可控电磁阻尼系统,控制线圈的电流即可控制系统的阻尼,可根据实际应用场合,确定采用恒定阻尼还是时变阻尼.对磁悬浮微进给机构实施PID控制,并进行了仿真试验.结果表明:当阻尼恒定不变时,应使C2=0.5～1.0,机构的位移控制超调量≤0.933%,绝对稳态误差值≤1.77～2.30 μm;当采用时变阻尼系统时,位移控制超调量≤3.617%,绝对稳态误差值≤0.033 μm,运动控制达到纳米级准确度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	宋文荣	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	13	285	10.0	13.0
2	于国飞	吉林大学机械科学与工程学院	12	243	8.0	12.0
3	王延风	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	16	310	12.0	16.0
4	何惠阳	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	21	469	12.0	21.0
5	韩红霞	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	12	183	8.0	12.0