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一种光刻胶专用树脂的生产方法及应用
光刻胶
专用树脂
生产工艺
应用
光刻胶级214-磺酰氯的生产方法及应用
光刻胶
214-磺酰氯
生产方法
应用
软紫外光压印光刻的模具制造研究
光刻胶
母版材料
软模具
先进光刻胶材料的研究进展
光刻胶
193 nm光刻
EUV光刻
化学放大光刻胶
分子玻璃
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 光刻胶发展在中国
来源期刊 电子工业专用设备 学科
关键词
年,卷(期) 2010,(3) 所属期刊栏目 领军人访谈
研究方向 页码范围 56-58,60
页数 4页 分类号
字数 3278字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1004-4507.2010.03.016
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1 陈昕 1 0 0.0 0.0
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期刊影响力
电子工业专用设备
双月刊
1004-4507
62-1077/TN
大16开
北京市朝阳区安贞里三区26号浙江大厦913室
1971
chi
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3731
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10002
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