基于制作COF精细线路的液态光致抗蚀液性能研究

• 作者: 何为 毛继美 王淞 莫芸绮 陈苑明
• 来源期刊: 印制电路信息
• 学科: 工学
• 关键词: 液态光致抗蚀液 丝网印刷 分辨率 芯片直接装在挠性板上或芯片直接装在薄膜上 精细线路
• 年，卷（期）: 2011,（8）
• 所属期刊栏目: 图形转移
• 页码范围: 31-34
• 分类号: TN41
• 字数: 1929字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-0096.2011.08.008

摘要

卷对卷丝网印刷机在超薄挠性覆铜箔层压板上丝网印刷液态光致抗蚀液,实现COF精细线路的制作。研究了液态光致抗蚀液的感光性能与分辨率力等性能,考察了制作出COF的线路效果。实验结果表明,液态光致抗蚀液网印的针孔数随厚度的减小而增加,液态光致抗蚀剂曝光级数随曝光能量的变化趋势与干膜是一致的,11μm厚液态光致抗蚀剂分辨的最小线路宽达到25μm,满足COF精细线路制作的要求。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	何为	电子科技大学微电子与固体电子学院应用化学系	200	994	12.0	23.0
2	莫芸绮		16	60	6.0	7.0
3	陈苑明	电子科技大学微电子与固体电子学院应用化学系	46	127	6.0	8.0
4	毛继美		6	16	2.0	3.0
5	王淞		6	22	2.0	4.0