多线切割张力控制系统研究

• 作者: 王学军 王成武 田燕林 贺敬良
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 张力:扭矩:张力检测 张力控制 多线切割机
• 年，卷（期）: 2011,（11）
• 所属期刊栏目: 封装、检测与设备
• 页码范围: 885-889
• 分类号: TN305.1|TP273
• 字数: 2955字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353x.2011.11.016

摘要

对多线切割张力控制技术进行论述,分析了多线切割机中张力控制技术的特点,在此基础上,提出了一种多线张力的控制方法.该方法基于对张力信号变化的实时检测,将检测张力的变化转变为电机扭矩的变化,通过控制扭矩电机的扭矩来调整切割线张力,由控制软件来实现对切割线张力的检测、分析与控制.控制精度高,成功实现了在双主辊系统驱动下的多线切割机张力控制.实验证明,该方法可靠、稳定,能很好地检测并控制多线切割系统张力精度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	贺敬良		62	228	8.0	12.0
2	王学军	中国电子科技集团公司第四十五研究所	13	64	5.0	7.0
3	田燕林		4	21	3.0	4.0
4	王成武		2	10	2.0	2.0