MEMS刻蚀工艺仿真模型及研究进展

• 作者: 俞佳佳 夏晓娟 方玉明 王德波 蒋文涛
• 来源期刊: 微电子学
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 刻蚀工艺 工艺仿真 元胞自动机
• 年，卷（期）: 2015,（5）
• 所属期刊栏目: 半导体器件与工艺
• 页码范围: 661-665
• 分类号: TN05
• 语种: 中文

摘要

随着计算机技术和微机电系统发展的需要,微加工刻蚀工艺的计算机模拟得到了飞速发展.综述了微加工刻蚀工艺的研究现状以及几种典型的工艺刻蚀仿真方法,分析了各种方法的优势和不足;重点介绍了在基于各向异性刻蚀方面应用广泛的元胞自动机法(CA),分析其优势所在,并阐述了CA模型的基本原理、发展变化和研究应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	方玉明	南京邮电大学电子科学与工程学院	52	140	6.0	8.0
2	夏晓娟	南京邮电大学电子科学与工程学院	16	40	3.0	4.0
3	王德波	南京邮电大学电子科学与工程学院	19	23	3.0	4.0
4	俞佳佳	南京邮电大学电子科学与工程学院	2	4	2.0	2.0
5	蒋文涛	南京邮电大学电子科学与工程学院	2	4	2.0	2.0