阻变存储阵列的自动化测试系统

• 作者: 余兆安 冯雪 吕杭炳 姚志宏 汪毓铎 董大年
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 阻变存储(RRAM)阵列 半导体参数分析仪 自动测试系统 可靠性 开关矩阵
• 年，卷（期）: 2017,（12）
• 所属期刊栏目: 半导体检测与设备
• 页码范围: 956-959
• 页数: 4页
• 分类号: TN407
• 语种: 中文
• DOI: 10.13290/j.cnki.bdtjs.2017.12.015

摘要

阻变存储器(RRAM)是一种新型的不挥发存储技术,研究阻变存储器阵列规模的存储性能以及可靠性问题是推进RRAM实用化的关键.目前通用的基于微控探针台的半导体参数分析的常规测量系统无法完成对阵列的自动化测试.利用半导体参数分析仪(4200-SCS)、开关矩阵以及相关外围电路搭建了一套针对阻变存储阵列的自动测试系统,实现了1MbitRRAM芯片的初始阻态分布的读取、初始化测试、存储单元的自动化编程/擦除操作.测试结果表明,该测试系统可以实现阻变存储阵列的自动化测试,为进一步工艺参数和编程算法的优化设计奠定基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	汪毓铎	北京信息科技大学信息与通信工程学院	35	118	6.0	10.0
2	冯雪	中国科学院微电子研究所微电子器件与集成技术重点实验室	10	27	4.0	4.0
3	余兆安	中国科学院微电子研究所微电子器件与集成技术重点实验室	3	2	1.0	1.0
4	吕杭炳	中国科学院微电子研究所微电子器件与集成技术重点实验室	7	7	2.0	2.0
5	姚志宏	中国科学院微电子研究所微电子器件与集成技术重点实验室	3	2	1.0	1.0
6	董大年	北京信息科技大学信息与通信工程学院	2	1	1.0	1.0