双多晶自对准NPN管的总剂量辐射效应研究

• 作者: 刘元 刘默寒 吴雪 孙静 张培健 李小龙 王信 贾金成 郭旗 陆妩
• 来源期刊: 微电子学
• 学科: 工学
• 关键词: 双多晶自动准 NPN管 60Co-γ辐射 辐射损伤
• 年，卷（期）: 2018,（1）
• 所属期刊栏目: 半导体器件与工艺
• 页码范围: 120-125
• 页数: 6页
• 分类号: TN322.8
• 字数: 3241字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13911/j.cnki.1004-3365.170142

摘要

对国产先进互补双极工艺制作的双多晶自对准(DPSA)结构的NPN管进行了高、低剂量率的60Co-γ源辐射实验.在总剂量辐射前后以及室温退火后,分别采用移位测试方法,研究了基极电流、集电极电流、电流增益等参数的变化规律.结果表明,DPSA NPN管比传统NPN管的抗辐射能力更强,但其低剂量率辐射损伤增强效应(ELDRS)改善不明显.最后,初步探讨了DPSANPN管的辐射损伤机制,讨论了DPSA NPN管的抗ELDRS效应的机制.