基于参数激励的MEMS陀螺电馈通抑制方法

• 作者: 徐大诚 程梦梦 赵鹤鸣 郑奋 郭述文
• 来源期刊: 中国惯性技术学报
• 学科: 交通运输
• 关键词: 硅微陀螺仪 参数激励法 刚度系数 电馈通干扰
• 年，卷（期）: 2018,（6）
• 所属期刊栏目: 惯性仪表研究与设计
• 页码范围: 817-821,829
• 页数: 6页
• 分类号: U666.1|V241.5
• 字数: 4103字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13695/j.cnki.12-1222/o3.2018.06.019

摘要

由于硅微陀螺仪材料和加工工艺以及电路上的非理想因素,驱动信号会对敏感检测端产生串扰.为抑制此种串扰,降低驱动激励幅度,采用了基于参数激励法的陀螺驱动模态激励系统.在锁相环控制中新增一个压控振荡器模块,用于输出稳幅的二倍谐振频率激励信号,即参数激励信号.将此信号与驱动激励信号一同对驱动激励电极进行激励,达到了降低刚度系数来减小驱动对敏感电馈通干扰的目的.实验结果表明,参数激励法对陀螺仪进行激励,将陀螺仪敏感输出信号幅度从141.25 mV降至38.75 mV,Allan方差零偏不稳定性从6.864(°)/h降至4.316(°)/h.表明了参数激励法对陀螺仪性能具有一定的提升作用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵鹤鸣	苏州大学微纳传感技术研究中心	140	1024	17.0	23.0
2	徐大诚	苏州大学微纳传感技术研究中心	60	259	8.0	13.0
3	郭述文	苏州大学微纳传感技术研究中心	10	39	3.0	5.0
4	郑奋	苏州大学微纳传感技术研究中心	1	1	1.0	1.0
5	程梦梦	苏州大学微纳传感技术研究中心	2	1	1.0	1.0